Ημιαγωγός χαλαζία σταυροί

Τα Semicorex Semiconductor Quartz Crucibles είναι αναλώσιμα προϊόντα στη βιομηχανία ημιαγωγών ειδικά για τα χωνευτήρια χαλαζία που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία έλξης κρυστάλλου της μονής κατασκευής κρυστάλλων πυριτίου. Κατασκευάζονται από εξαιρετικά έντονο χαλαζία που ικανοποιούν την καθαριότητα, την ομοιογένεια και την αντοχή στη θερμότητα και κατασκευάζονται για να ανταποκριθούν στις υψηλές απαιτήσεις της σύγχρονης παραγωγής ημιαγωγών. Είναι ζωτικής σημασίας για τις προδιαγραφές του πυριτίου πυριτίου, επειδή τα χαρακτηριστικά τους επηρεάζουν άμεσα την απόδοση των δισκίων και την απόδοση στην ολοκληρωμένη επεξεργασία κυκλώματος.

Από θερμική και φυσική άποψη: τα χωνευτήρια χαλαζία μπορούν να αντέξουν τη θερμότητα πολύ καλά. Το σημείο παραμόρφωσης είναι περίπου 1100 ° C, το σημείο μαλάκυνσης είναι περίπου 1730 ° C και η μέγιστη συνεχή θερμοκρασία υπηρεσίας είναι 1100 ° C, [βραχυπρόθεσμη έκθεση μέχρι 1450 ° C]. Αυτές οι ιδιότητες επιτρέπουν τη χρηστικότητα σε υψηλές θερμοκρασίες, παρέχοντας ταυτόχρονα υψηλή καθαρότητα και θερμική ανθεκτικότητα και επομένως προάγουν τη σταθερότητα κατά τη διάρκεια των διεργασιών κρυστάλλων Czochralski (CZ), όπου πρέπει να ελαχιστοποιηθούν οι μόλυνσης και η παραμόρφωση και τα ακριβή θερμικά προφίλ είναι υψίστης από την απόκτηση ομοιογενούς ανάπτυξης κρυστάλλων.

Από μια δομική άποψη, τα χωνευτήρια χαλαζία ημιαγωγών αποτελούνται από μια στρώση σύνθετη δομή σχεδιασμένη για θερμικές ιδιότητες και μηχανική αντοχή. Το στρώμα εκκίνησης (που κινείται προς τα μέσα) είναι ένα διαφανές στρώμα χαλαζία, το οποίο είναι γενικά το ένα τρίτο του πάχους τοιχώματος (περίπου 3-5 mm) και έχει σχετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε φυσαλίδες (ανάλογα με την τεχνική επεξεργασίας) και επομένως μια ομαλή επιφάνεια χωρίς ελάττωμα θα έρχεται σε επαφή με την επιφάνεια του τελετουργικού τεταρτημορίου (αυτό συνεισφέρει στον έλεγχο των μόλυνσης και της επιφάνειας των κρυστάλλων).

Το εξωτερικό είναι στρωματοποιημένο με μεγαλύτερο επίπεδο φυσαλίδων που συμβάλλουν στην αντοχή παραμόρφωσης του Crucible, την υψηλότερη αντοχή στη θερμική καταπόνηση και τη θερμική μόνωση από την πηγή θερμότητας για ομοιομορφία ακτινοβολίας. Τα στρώματα του Crucible του επιτρέπουν να διατηρεί τη μορφή και την ακεραιότητα, παρά τις διαφορικές θερμικές κλίσεις που υπάρχουν στη διαδικασία έλξης κρυστάλλου.

Τα σύγχρονα χωνευτήρια χαλαζία έχουν αναπτυχθεί πέρα ​​από την παραδοσιακή δομή δύο επιπέδων λόγω της προόδου στην τεχνολογία κατασκευής. Πολλά χωνευτήρια χρησιμοποιούν μια δομή τριών στρωμάτων-ένα διαφανές εσωτερικό στρώμα, διαφανές μεσαίο στρώμα που έχει φυσαλίδες διασκορπισμένες μέσω του χαλαζία και ένα εξωτερικό λεπτό στρώμα από φυσαλίδες χαλαζία. Οι δομές τριών επιπέδων προσφέρουν καλύτερη μηχανική αντοχή, θερμική διαχείριση και οφέλη κόστους και βελτιώνουν τα χαρακτηριστικά μεταφοράς θερμότητας. Επίσης, ορισμένα χωνευτήρια εφαρμόζουν επικαλύψεις ιόντων αλκαλικών μετάλλων (π.χ. διαλύματα ιόντων βαρίου) στην εσωτερική επιφάνεια ή χρησιμοποιούν συνθετικό χαλαζία υψηλής καθαρότητας σε συγκεκριμένα στρώματα, για να βοηθήσουν στη μείωση της περιεκτικότητας σε οξυγόνο, στην εξάντληση των καθαρμών και στη βελτίωση της συνολικής ποιότητας των τραβηγμένων μεμονωμένων κρυστάλλων.

Η κατασκευή χαλαζία σταθμών για τους ημιαγωγούς προορίζεται να κρατηθεί σε αυστηρές ανοχές ελέγχου ποιότητας στις απαιτούμενες καθαρότητες, οι οποίες είναι συνήθως αρκετά μέρη ανά δισεκατομμύριο μεταλλικές ακαθαρσίες. Οι πρώτες ύλες επιλέγονται προσεκτικά και καθαριστούν για να αφαιρέσουν τυχόν μολυσματικές ουσίες. Σχηματίζονται σε ακατέργαστες διαστάσεις, με σωστή θερμική επεξεργασία, και επιφανειακή επιφάνεια για να αντιμετωπίσει την ακρίβεια διαστάσεων, τη μηχανική αντοχή και την καθαριότητα. Η διαδικασία είναι προσανατολισμένη προς τη διασφάλιση ότι τα χωνευτήρια θα παραμείνουν αξιόπιστα, ενώ υποβάλλονται σε παρατεταμένη έκθεση σε υψηλή θερμοκρασία σε σκληρά χημικά περιβάλλοντα.

Η απόδοση του χωνευτηρίου χαλαζία στην παραγωγή ημιαγωγών επηρεάζει την ομοιομορφία του κρυσταλλικού πλέγματος πυριτίου, της πυκνότητας ελαττωμάτων και του οξυγόνου στο Infot. Οι υψηλές καθαρότητες και τα χωνευτήρια χαλαζία χωρίς ελαττώματα, θα περιορίσουν την εξάρθρωση των κρυσταλλικών ελαττωμάτων, θα ενισχύσουν τον ρυθμό απόδοσης και θα καθορίσουν την ικανότητα δημιουργίας πλακιδίων για την προώθηση των γεωμετρικών συσκευών. Εάν είστε παραγωγός ICS-Performance, φωτοβολταϊκό πυρίτιο ή ηλεκτρονικά ισχύος, η επιλογή και η χρήση των χωνευτηρίων χαλαζία υψηλής ποιότητας αποτελεί κρίσιμο στοιχείο για την καθιέρωση και βελτιστοποίηση της απόδοσης κόστους.

ΗμικόρουΧαλαζία ημιαγωγούΤα χωνευτήρια είναι ένα ουσιαστικό βοηθητικό υλικό για οποιοδήποτε σύστημα έλξης κρυστάλλου πυριτίου. Τα μοναδικά χαρακτηριστικά της καθαρότητας, της σταθερότητας της υψηλής θερμοκρασίας και των ιδιόκτητων δομών πολλαπλών επιπέδων καθιστούν αυτό το κατάλληλο υλικό για την υποστήριξη των ακαμψίας της διαδικασίας έλξης CZ, παρέχοντας συνεπείς και αναπαραγώγιμες επιδόσεις. Καθώς η κατασκευή ημιαγωγών κινείται προς υψηλότερη ολοκλήρωση και αυστηρότερες ανοχές, τα σημαντικά οφέλη προστιθέμενης αξίας των μεταφορών χαλαζία που έχουν κατασκευαστεί με ακρίβεια θα δημιουργήσουν μεγαλύτερη σημασία για την ενεργοποίηση και την ανάπτυξη ηλεκτρονικών τεχνολογιών επόμενης γενιάς.