Σωλήνες διάχυσης χαλαζία ημιαγωγών

Σκάφη χαλαζίαχρησιμοποιούνται συνήθως σε συνθήκες λειτουργίας υψηλής θερμοκρασίας, σκληρής χημικής διάβρωσης. Κατά τη διάρκεια της λειτουργίας, τοποθετούνται γκοφρέτες ημιαγωγών στο σκάφος χαλαζία και εισάγονται στον σωλήνα διάχυσης χαλαζία. Όταν ο σωλήνας διάχυσης φτάσει στην απαιτούμενη θερμοκρασία (πολλές εκατοντάδες έως αρκετές χιλιάδες βαθμούς Κελσίου), αέρια διεργασίας (π.χ. O2, N2, H2, Ar) και αέρια πρόσμιξης (π.χ. POCl3, BBr3) εισάγονται στον σωλήνα διάχυσης και διοχέτευσης του αερίου. γκοφρέτες ημιαγωγών. Επιπλέον, για να βελτιωθεί η ομοιομορφία και η ακρίβεια της διάχυσης, ορισμένες διαδικασίες διάχυσης πρέπει να εκτελούνται σε περιβάλλον χαμηλής πίεσης. 

Σε προηγμένες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, οποιοδήποτε ελαφρύ λάθος ή ανεπάρκεια σε αυτές τις διαδικασίες μπορεί να οδηγήσει σε αποτυχία επακόλουθων διεργασιών. Ως εκ τούτου, ως κρίσιμα μέρη της κατασκευής ημιαγωγών, η ποιότητα των σωλήνων διάχυσης χαλαζία είναι σημαντικά σημαντική και επηρεάζει άμεσα την απόδοση και την απόδοση των συσκευών ημιαγωγών.

Οι προδιαγραφές του Semicorex Ημιαγωγός-Βαθμός Χαλαζίας

Οι σωλήνες διάχυσης χαλαζία ποιότητας ημιαγωγών Semicorex κατασκευάζονται σχολαστικά από υψηλής ποιότηταςχαλαζία ημιαγωγούυλικό. Οι συγκεκριμένες παράμετροι του είναι οι εξής:

Οι παράμετροι μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη.

Η απόδοση των σωλήνων διάχυσης χαλαζία Semicorex Semiconductor-Grade

Βασιζόμενοι στην έμπειρη τεχνολογία επεξεργασίας μας και στην αξιόπιστη επιλογή υλικών, Semicorex ποιότητας ημιαγωγώνσωλήνες διάχυσης χαλαζίαεπιδεικνύουν ανώτερη απόδοση κάτω από δύσκολες συνθήκες λειτουργίας:

1. Απόδοση αντίστασης σε υψηλή θερμοκρασία

Οι σωλήνες διάχυσης χαλαζία ποιότητας ημιαγωγών Semicorex παρέχουν αξιοσημείωτη αντίσταση σε υψηλή θερμοκρασία, η οποία τους επιτρέπει να λειτουργούν σταθερά σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας έως και 1200 ℃ χωρίς καμία παραμόρφωση ή ζημιά.

2. Απόδοση θερμικής σταθερότητας

Διαθέτοντας εξαιρετικό συντελεστή θερμικής διαστολής, οι σωλήνες διάχυσης χαλαζία ποιότητας ημιαγωγών Semicorex είναι σε θέση να αντέχουν τη θερμική καταπόνηση κατά την ταχεία θέρμανση ή ψύξη χωρίς να ραγίζουν ή να παραμορφώνονται εύκολα.

3. Απόδοση χημικής αντίστασης

Οι σωλήνες διάχυσης χαλαζία ποιότητας ημιαγωγών Semicorex παρέχουν ανώτερη χημική αδράνεια σε υψηλής θερμοκρασίας, σκληρά διαβρωτικά περιβάλλοντα. Αυτή η απόδοση εμποδίζει σε μεγάλο βαθμό τους ρύπους που δημιουργούνται από την αντίδρασή τους με τα αέρια διεργασίας να επηρεάσουν την ποιότητα του πλακιδίου.