Το Semicorex άκαμπτο γραφίτη είναι ένα υλικό θερμικής μόνωσης υψηλής απόδοσης που παρασκευάζεται από ίνες άνθρακα με βάση το PAN και βισκόζη, που χρησιμοποιείται ευρέως σε βιομηχανικούς φούρνους υψηλής θερμοκρασίας. Επιλέξτε Semicorex για τις προηγμένες διαδικασίες παραγωγής και αποδεδειγμένη τεχνογνωσία για την παροχή ανθεκτικών και αξιόπιστων λύσεων για απαιτητικές εφαρμογές ημιαγωγών.*
Ο άκαμπτος γραφίτης που αισθάνεται μπορεί να σχηματιστεί από τη σκλήρυνση από μαλακό αίσθημα λάσπης και το υγρό σχηματισμό. Η κοινή μέθοδος πλαστικοποίησης για την κατασκευή του γραφίτη από άνθρακα Graphite Hard Felt χρησιμοποιεί μαλακό αισθητή ως πρώτη ύλη. Η διαδικασία παραγωγής ξεκινά με την κοπή: κοπή πολλαπλά κομμάτια κενών ελαφρώς μεγαλύτερα από το τελικό σκληρό μέγεθος από το μαλακό αισθητήρα. Μετά την κοπή, εμποτίζεται με ρητίνη και άλλα υλικά συγκόλλησης και τα εμποτισμένα κενά στοιβάζονται σε πολλαπλά στρώματα σύμφωνα με το απαιτούμενο σκληρό πάχος.
Ο εμποτισμός στην παραγωγή μαλακών αισθήσεων είναι κυρίως εμποτισμός με καταλύτες για να καταστούν οι ίνες βισκόζης πιο σταθερές σε επακόλουθη θερμική επεξεργασία. Ενώ η εμποτισμό του άκαμπτου γραφίτη αισθάνθηκε είναι κυρίως εμποτισμός με ρητίνη θερμοσκληρυντικής. Στην επακόλουθη διαδικασία θέρμανσης και σκλήρυνσης, η υγρή ρητίνη στερεοποιείται και τα πολλαπλά στρώματα της μαλακής πνιγμού συνδυάζονται στενά με τη ρητίνη για σχηματισμό.
Η μαλακή αίσθηση ρητίνης + ίνας άνθρακα επιτρέπει στο υλικό να επιτύχει την επίδραση του "1 + 1> 2" σε ορισμένες ιδιότητες. Μετά τη θέρμανση και τη σκλήρυνση, η πολυεπίπεδη μαλακή αίσθηση που εμποτίζεται με ρητίνη δεν μπορεί πλέον να κυλιστεί σαν μαλακό αισθητήρα και η πυκνότητα και η συμπιεστική αντοχή του υλικού αυξάνονται επίσης.
Κατά τη διάρκεια της ανάπτυξης PVT των μεμονωμένων κρυστάλλων, η αίσθηση των ινών άνθρακα παίζει ρόλο στη διατήρηση της θερμότητας. Η καθαρότητα του άκαμπτου γραφίτη είναι ζωτικής σημασίας για την επιτυχή ανάπτυξη των κρυστάλλων SIC. Οι ακαθαρσίες στο υλικό της μόνωσης είναι μία από τις πηγές μόλυνσης των ακαθαρσιών κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ανάπτυξης. Το περιεχόμενο των βασικών στοιχείων ακαθαρσίας σε αισθητήρες από ίνες άνθρακα ελέγχεται κάτω από 10-6 και η συνολική περιεκτικότητα σε τέφρα πρέπει να ελέγχεται αυστηρά. Σύμφωνα με το δίπλωμα ευρεσιτεχνίας, υιοθετεί διαφορετικές μεθόδους θεραπείας καθαρισμού πολλαπλών σταδίων υψηλής θερμοκρασίας, χρησιμοποιώντας πολλαπλά βήματα κυκλοφορίας αερίου σε κάθε στάδιο για να μετατρέψουν τις ακαθαρσίες σημείου υψηλού επιπέδου σε ενώσεις χαμηλής περιεκτικότητας σε σημεία χαμηλής περιεκτικότητας σε 0,1 mg · kg.
Το άκαμπτο γραφίτη αισθάνθηκε επίσης βασικές τεχνολογίες για τον έλεγχο ομοιομορφίας πεδίου ροής, συμπεριλαμβανομένου του πεδίου θερμοκρασίας και του ελέγχου ομοιομορφίας πεδίου ροής αερίου. Το πεδίο θερμοκρασίας είναι ομοιόμορφη στον ενιαίο κρυστάλλινο κλίβανο σχεδιάζοντας περιοχές αντιστάθμισης θερμοκρασίας, ανεξάρτητο έλεγχο θερμοκρασίας πολλαπλών ζωνών και αλλαγή του σχήματος και της διάταξης του θερμαντήρα.