περιγραφή προϊόντος

Ο σωλήνας κλιβάνου χαλαζία Semicorex, οι βάρκες γκοφρέτας, τα χωνευτήρια χαλαζία για την ανάπτυξη μονού κρυστάλλου πυριτίου είναι όλα κατασκευασμένα από υψηλής καθαρότηταςυλικό χαλαζίαμεγάλο. Ο χαλαζίας χρησιμοποιείται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών, ο υψηλής καθαρότητας χαλαζίας είναι το σημαντικό αναλώσιμο στην κατασκευή γκοφρετών. Η κύρια αγορά-στόχος εξαρτημάτων χαλαζία στον τομέα ημιαγωγών είναι η διαδικασία διάχυσης και χάραξης στην κατασκευή πλακιδίων, μπορεί να χωριστεί σε δύο κύριες κατηγορίες: μέρη υψηλής θερμοκρασίας και μέρη χαμηλής θερμοκρασίας.

1. Τα εξαρτήματα υψηλής θερμοκρασίας είναι σωλήνας φούρνου χαλαζία, βάρκα γκοφρέτας, θήκη βάρκας, κ.λπ. Πρέπει να έρθουν σε άμεση ή έμμεση επαφή με γκοφρέτα πυριτίου σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας, είναι κυρίως κατασκευασμένα από λιωμένο γυαλί χαλαζία, που παράγεται μέσω θερμικής επεξεργασίας.

2. Τα εξαρτήματα χαμηλής θερμοκρασίας είναι δακτύλιοι χαλαζία στη διαδικασία χάραξης, και συμπεριλαμβανομένων των κασετών, των δεξαμενών καθαρισμού στη διαδικασία καθαρισμού. Χρησιμοποιούνται κυρίως σε περιβάλλον χαμηλών θερμοκρασιών, τα οποία κατασκευάζονται κυρίως από λιωμένο γυαλί χαλαζία, που παράγεται με ψυχρή επεξεργασία.

Τα εξαρτήματα στη ζώνη υψηλής θερμοκρασίας καταναλώνονται πιο γρήγορα, αλλά συνήθως χρησιμοποιούνται σε συστήματα πολλαπλών πλακιδίων (ένας φορέας που συγκρατεί πολλαπλές γκοφρέτες πυριτίου), ενώ τα εξαρτήματα στη ζώνη χαμηλής θερμοκρασίας καταναλώνονται πιο αργά, αλλά χρησιμοποιούνται σε συστήματα μονής γκοφρέτας (ένας φορέας που κρατά μια γκοφρέτα πυριτίου). Επομένως, το συνολικό μέγεθος της αγοράς και για τα δύο είναι σχετικά παρόμοιο.

Ο κλίβανος είναι η περιοχή στην οποία οι γκοφρέτες υποβάλλονται σε διαδικασία θέρμανσης υψηλής θερμοκρασίας, αποτελείται από σωλήνα κλιβάνου χαλαζία, αντιδραστήρα και αρκετούς θερμαντήρες, εφαρμόζεται ευρέως σε διαδικασίες διάχυσης, οξείδωσης, RTP στην επεξεργασία ημιαγωγών. Ο κλίβανος χωρίζεται κυρίως σε οριζόντιους και κάθετους τύπους:. Σε έναν οριζόντιο κλίβανο, οι γκοφρέτες τοποθετούνται σε ένα σκάφος χαλαζία, το οποίο με τη σειρά του τοποθετείται σε έναν φορέα SiC. Υπάρχουν επίσης προσαρμοζόμενα διαφράγματα μπροστά και πίσω. Ο φορέας ωθείται στον σωλήνα του κλιβάνου χαλαζία και οι γκοφρέτες υφίστανται την αντίδραση σε μια ζώνη σταθερής θερμοκρασίας. Σε έναν κατακόρυφο κλίβανο, οι γκοφρέτες τοποθετούνται σε έναν πύργο χαλαζία και στη συνέχεια ανυψώνονται αργά στον σωλήνα του κλιβάνου χαλαζία για επεξεργασία.

Λόγω των υψηλών θερμοκρασιών που εμπλέκονται στις παραπάνω διεργασίες, για την αποφυγή σοβαρής παραμόρφωσης και κατάρρευσης του σωλήνα κλιβάνου χαλαζία μετά από επαναλαμβανόμενη και παρατεταμένη χρήση, θα πρέπει να χρησιμοποιείται ένας σωλήνας κλιβάνου χαλαζία που είναι ανθεκτικός σε παραμόρφωση και κατάρρευση και έχει μεγάλη διάρκεια ζωής κατά την παραγωγή.

Εδώ είναι τα πλεονεκτήματα τουχαλαζίαςσωλήνας κλιβάνου:

1. Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία. Το γυαλί χαλαζία έχει σημείο μαλάκυνσης περίπου 1730℃ και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για παρατεταμένες περιόδους στους 1150℃, με βραχυπρόθεσμη μέγιστη θερμοκρασία που φτάνει τους 1450℃.

4. Καλή απόδοση μετάδοσης φωτός. Ο χαλαζίας υψηλής καθαρότητας έχει καλή απόδοση μετάδοσης φωτός σε όλο το φάσμα από το υπεριώδες έως το υπέρυθρο. Η μετάδοση του ορατού φωτός είναι πάνω από 93%, και στο υπεριώδες φάσμα, η μέγιστη διαπερατότητα μπορεί να φτάσει πάνω από 80%.

3. Καλή θερμική σταθερότητα. Ο χαλαζίας υψηλής καθαρότητας έχει εξαιρετικά χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και μπορεί να αντέξει δραστικές αλλαγές θερμοκρασίας. Η θέρμανση του χαλαζία υψηλής καθαρότητας στους περίπου 1100℃ και στη συνέχεια η βύθισή του σε νερό σε θερμοκρασία δωματίου δεν θα προκαλέσει τη θραύση του.

4. Καλή απόδοση μετάδοσης φωτός. Ο χαλαζίας υψηλής καθαρότητας έχει καλή απόδοση μετάδοσης φωτός σε όλο το φάσμα από το υπεριώδες έως το υπέρυθρο. Η μετάδοση του ορατού φωτός είναι πάνω από 93%, και στο υπεριώδες φάσμα, η μέγιστη διαπερατότητα μπορεί να φτάσει πάνω από 80%.

5. Καλή απόδοση ηλεκτρικής μόνωσης. Η ειδική αντίσταση του χαλαζία υψηλής καθαρότητας είναι δέκα χιλιάδες φορές μεγαλύτερη από αυτή του συνηθισμένου γυαλιού χαλαζία, καθιστώντας τον ένα εξαιρετικό ηλεκτρικό μονωτικό υλικό, με καλές ηλεκτρικές ιδιότητες ακόμη και σε υψηλές θερμοκρασίες.