Οι κασέτες Semicorex PFA Wafer είναι μεταφορείς υψηλής καθαρότητας που έχουν σχεδιαστεί για να εξασφαλίζουν ασφαλή και χωρίς μόλυνση χειρισμό των ημιαγωγών με πλακιδίων κατά τη διάρκεια της υγρής επεξεργασίας, αποθήκευσης και μεταφοράς. Η επιλογή του Semicorex εγγυάται όχι μόνο την ανώτερη ποιότητα του υλικού PFA αλλά και την μηχανική ακρίβειας που προσφέρει αξιοπιστία, καθαριότητα και μακροπρόθεσμες επιδόσεις σε προηγμένα περιβάλλοντα κατασκευής.*
Οι κασέτες Semicorex PFA είναι κατασκευασμένοι μεταφορείς που έχουν σχεδιαστεί για να χειρίζονται με ασφάλεια, να αποθηκεύουν και να μεταφέρουν πλακίδια ημιαγωγών σε προηγμένες εφαρμογές κατασκευής. Αυτές οι κασέτες κατασκευάζονται από πολυμερές υψηλής καθαρότητας υπερφθοροαλλοξυ (PFA) και παρουσιάζουν τη χημική αντίσταση, τη θερμική σταθερότητα και τη μηχανική ανθεκτικότητα που απαιτούνται σε υγρό καθαρισμό, χημική επεξεργασία και εφαρμογές μεταφοράς πλακιδίων. Τα πλακίδια παραμένουν προστατευμένα από τη μόλυνση, τη μηχανική βλάβη και τη χημική επίθεση στα κρίσιμα βήματα μεταφοράς πλακιδίων στη διαδικασία παραγωγής ημιαγωγών.
Η χρήση του PFA ως πρωταρχικού υλικού για αυτές τις κασέτες πλακιδίων είναι μια σημαντική αλλαγή από τους παραδοσιακούς πολυμερούς φορείς. Το PFA έχει ανώτερη αντίσταση σε πολλά επιθετικά οξέα, βάσεις και διαλύτες που είναι κοινά στα στάδια καθαρισμού υγρών διεργασιών (δηλ. Καθαρισμός RCA, SC1, SC2) που συνήθως συνδέονται με την κατασκευή ημιαγωγών. Η χημική αδράνεια του PFA εξασφαλίζει ότι τα πλακίδια δεν θα εκτεθούν σε διαρροή μόλυνσης από τον ίδιο τον φορέα, επομένως τα ελαττώματα δεν προκύπτουν από την έλλειψη ακεραιότητας της διαδικασίας. Επιπλέον, η δυνατότητα να αντέχει υψηλές θερμοκρασίες επιτρέπει στις κασέτες να υποστηρίζουν διαδικασίες που περιλαμβάνουν καυτά χημικά λουτρά ή ζεστά εξαιρετικά ξεπλύματα νερού με σταθερή και αξιόπιστη απόδοση.
Κασέτες πλακιδίων PFAείναι κατασκευασμένες με ομαλές επιφάνειες ακρίβειας που είναι επίσης μη πορώδεις για να ελαχιστοποιήσουν την προσκόλληση των σωματιδίων και επιτρέπουν τον καθαρισμό. Οι κασέτες πλακιδίων επιτυγχάνουν υψηλά επίπεδα καθαριότητας στα σημερινά FAB, όπου ακόμη και η μόλυνση του υπο-μικροσκοπίου μπορεί να οδηγήσει σε απώλεια απόδοσης ή αποτυχία συσκευής. Ο τύπος των ομαλών εσωτερικών περιγραμμάτων μειώνει το ξύσιμο των επιφανειακών επιφανειών και επιτρέπει την τακτοποιημένη αποστράγγιση των υγρών μετά την υγρή επεξεργασία για να αποφευχθεί η παραμονή ενός ιλύου των χημικών υπολειμμάτων ή να αγγίξει τις πλακώσεις, ενώ αυξάνοντας τη συνεκτικότητα της διαδικασίας και τη μειωμένη ανάγκη για καθαρισμό για δεύτερη φορά.
Ένα πρόσθετο σημαντικό πλεονέκτημα των κασέτες PFA Wafer είναι η ακρίβεια διαστάσεων και η δομική σταθερότητα. Η διαδικασία κατασκευής της κασέτας απαιτεί αυστηρότερες ανοχές από ό, τι συνήθως αναμένεται, πράγμα που επιτρέπει στην κασέτα να κρατά σταθερά τα πλακίδια με τέτοιο τρόπο ώστε να μην υπάρχει ανεπιθύμητη μετατόπιση ή ανεπιθύμητη επαφή των πλακιδίων κατά τη μεταφορά. Οι κασέτες είναι θέση ή χαρακτηριστικές συνεπείς είτε πρόκειται για χειροκίνητο χειρισμό είτε κατά τη διάρκεια αυτοματοποιημένων συστημάτων μεταφοράς πλακιδίων. Οι κασέτες PFA Wafer θα συμμορφώνονται με ακρίβεια με τα τυπικά φυσικά breakouts που σχετίζονται με τα συστήματα χειρισμού και μεταφορών τυποποιημένων πλακιδίων της βιομηχανίας. Η μακρά και χρήσιμη αξιοπιστία των υπηρεσιών που σχετίζεται με τις κασέτες Wafer PFA αυξάνει την αξία των επενδύσεων, καθώς η PFA μπορεί να αντέξει να επαναχρησιμοποιηθεί μετά από επαναλαμβανόμενες χημικές, θερμικά ποδηλατικές και μηχανικές εκθέσεις.
Οι κασέτες PFA Wafer είναι πολύτιμα περιουσιακά στοιχεία όχι μόνο σε υγρή χημική επεξεργασία για την προστασία των πλακών αλλά για την αποθήκευση και τη μεταφορά. Είναι χτισμένα με αδρανή υλικά για να κρατήσουν τα πλακίδια καθαρή κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ψύξης και η ανθεκτικότητά τους θα πρέπει να περιορίζει τις τσιπς θραύσης και άκρων από τη συσκευασία και τη μεταφορά. Οι κασέτες PFA Wafer είναι σημαντικές για τα Fabs Semiconductor καθώς και τα ερευνητικά εργαστήρια, τη φωτοβολταϊκή κατασκευή και άλλες βιομηχανίες που χρειάζονται χειρισμό υψηλής καθαρότητας.
Κασέτες πλακιδίων PFAΦέρτε επίσης ευνοϊκή βιωσιμότητα και κόστος ανά χρήση. Τα δομικά υλικά είναι ανθεκτικά σε χημικές επίθεσης και είναι εύκολο να καθαριστούν έτσι ώστε να είναι επαναχρησιμοποιήσιμα, να μειώνουν τα απόβλητα και τα αναλώσιμα και να ενθαρρύνουν την επανειλημμένη χρήση για να μειώσουν τα μακροπρόθεσμα λειτουργικά έξοδα. Σημειώνοντας την κοινή κατανομή ενός δισκίου όταν υπάρχει μόλυνση, η μείωση των συμβάντων μόλυνσης και η απώλεια δισκίων θα αυξήσουν την απόδοση και θα μειώσουν την ατέλεια. Η απώλεια της απόδοσης και η αυξημένη βλάβη του καμβά αποτελούν σημαντικούς παράγοντες στην οντολογία στην ανταγωνιστικότητα μιας επιχείρησης παραγωγής ημιαγωγών.