Μεταφορείς PFA Wafer

Semicorex PFAΜεταφορείςείναι φορείς υψηλής απόδοσης που έχουν σχεδιαστεί για τον ασφαλή χειρισμό, αποθήκευση και μεταφορά των πλακιδίων ημιαγωγών σε ένα εξαιρετικά καθαρό περιβάλλον. Η κατασκευή προηγμένων ημιαγωγών εξασφαλίζει ότι οι φορείς PFA δίσκων προσφέρουν απαράμιλλη χημική αντοχή, θερμική σταθερότητα και έλεγχο σωματιδίων από την ακεραιότητα και την καθαριότητα των πλακιδίων κατά τη διάρκεια της κατασκευής έως τις τελικές δοκιμές.

Κατασκευασμένα από νέα PFA, αυτοί οι μεταφορείς πλακιδίων δείχνουν μεγάλη αντίσταση σε σκληρές χημικές ουσίες όπως ισχυρά οξέα, βάσεις και διαλύτες που χρησιμοποιούνται συνήθως στον καθαρισμό και τη χάραξη πλακιδίων. Οι πολύ χαμηλές ιδιότητες έκπλυσης και εξάπλωσης ιόντων του PFA καθιστούν το προτιμώμενο υλικό για σημαντικές εργασίες καθαρού χώρου, όπου ακόμη και μικροσκοπικές ποσότητες μολυντών μπορούν να επηρεάσουν τις αποδόσεις των συσκευών.

Οι μεταφορείς PFA Wafer κατασκευάζονται σε καθαρά δωμάτια και εργάζονται με τα πρότυπα καθαρού δωματίου της κατηγορίας 1 (ISO Class 3). Η ομαλή, μη κολλητική επιφάνεια του PFA ελαχιστοποιεί την παραγωγή σωματιδίων και την προσκόλληση, εμποδίζοντας τη μόλυνση από υπολείμματα ή σωματίδια. Επιπλέον, η υδρόφοβη φύση της PFA διευκολύνει την ολοκληρωμένη έκπλυση και τη γρήγορη ξήρανση, μειώνοντας περαιτέρω τον κίνδυνο διασταυρούμενης μόλυνσης κατά τη διάρκεια υγρών σταδίων επεξεργασίας.

Κάθε φορέας πλακιδίων PFA είναι ακριβώς φτιαγμένο για να βεβαιωθείτε ότι είναι ασφαλής και ακόμη και υποστήριξη των πλακιδίων κατά τη διάρκεια της μετακίνησης και της διατήρησης. Οι αυλακωτές υποδοχές βοηθούν τις πλακικές επιφάνειες με μικρή επαφή, μειώνοντας το στρες και το τσίμπημα στις άκρες των πλακών. Οι μεταφορείς έρχονται σε πολλά σχήματα για να ταιριάζουν σε διάφορα μεγέθη πλακών που περιλαμβάνουν διαμέτρους 100 mm, 150 mm, 200 mm και 300 mm. Οι προαιρετικές κορυφές και οι σφιχτοί τρόποι ασφάλισης δίνουν επιπλέον ασφάλεια ενάντια σε σοκ στα εμπορεύματα, τους κραδασμούς και την έκθεση στο περιβάλλον.

Λόγω της εξαιρετικής θερμικής αντίστασης της PFA έως 260 ° C, είναι συμβατή με διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας όπως η διάχυση, η οξείδωση και η CVD χημικής εναπόθεσης ατμών. Ο μεταφορέας διατηρεί τη δομική ακεραιότητά του υπό επαναλαμβανόμενη θερμική κύκλιση και ως εκ τούτου είναι κατάλληλος τόσο για παρτίδα όσο και για αυτοματοποιημένα περιβάλλοντα επεξεργασίας.

Οι μεταφορείς PFA Wafer έχουν ευρείες εφαρμογές σε καθαρισμό πλακιδίων, υγρή χάραξη, CMP φωτολιθογραφίας και άλλες διαδικασίες εμπρός και back-end στην κατασκευή IC. Ο ισχυρός σχεδιασμός και η καθαρότητά τους τους καθιστούν ιδανικά για χρήση σε εργαστήρια FABS, Ε & Α και εξοπλισμό OEM που απαιτούν αυστηρά πρωτόκολλα ελέγχου μόλυνσης.

ΠροσαρμοσμένοςΜεταφορείς PFA WaferΜπορεί να αναπτυχθεί για να ικανοποιήσει συγκεκριμένες απαιτήσεις αυτοματισμού, συμπεριλαμβανομένου του ρομποτικού χειρισμού, των συστημάτων παρακολούθησης και της κατακόρυφης/οριζόντιας μεταφοράς. Οι μεταφορείς είναι πλήρως συμβατοί με τον τυπικό εξοπλισμό χειρισμού πλακιδίων και τα εργαλεία παραγωγής ημιαγωγών.