PECVD Solar Graphite Boat

SemicorexΗλιακά σκάφη από γραφίτη PECVDείναι κατασκευασμένα με ακρίβεια από υψηλής καθαρότηταςισοστατικός γραφίτης. Κάθε σκάφος ηλιακού γραφίτη PECVD από τη Semicorex υποβάλλεται σε ακριβή κατεργασία, επιθεώρηση διαστάσεων και δοκιμή ηλεκτρικής απόδοσης για να διασφαλιστεί σταθερή απόδοση σε περιβάλλοντα πλάσματος υψηλής θερμοκρασίας.

Κατά την επεξεργασία PECVD, το ηλιακό σκάφος γραφίτη PECVD μεταφέρει πλακίδια πυριτίου στον θάλαμο αντίδρασης PECVD και χρησιμεύει ως το ηλεκτρόδιο που συνδέεται με την τροφοδοσία ραδιοσυχνοτήτων. Όταν εφαρμόζεται εναλλασσόμενη τάση μεταξύ γειτονικών πλακών σκαφών, δημιουργείται ηλεκτρικό πεδίο. Υπό την επίδραση του ηλεκτρικού πεδίου, τα αντιδραστικά αέρια (όπως το σιλάνιο SiH4 και η αμμωνία NH3) υφίστανται εκκένωση λάμψης και δημιουργούν πλάσμα. Τα ιόντα και οι ελεύθερες ρίζες στο πλάσμα αποσυνθέτουν τα πρόδρομα αέρια, σχηματίζοντας ιόντα πυριτίου (Si) και αζώτου (Ν). Αυτά τα ιόντα συνδυάζονται για να σχηματίσουν μόρια νιτριδίου του πυριτίου (Si3N4), τα οποία στη συνέχεια εναποτίθενται στην επιφάνεια του πλακιδίου πυριτίου για να σχηματίσουν λεπτές μεμβράνες.

1. Εξαιρετική θερμική σταθερότητα

Με συντελεστή θερμικής διαστολής κοντά σε αυτόν των πλακών πυριτίου, SemicorxΗλιακό σκάφος γραφίτη PECVDυφίσταται αμελητέα αλλαγή διαστάσεων κατά τη θέρμανση, η οποία αποφεύγει αξιόπιστα τη ζημιά που προκαλείται από τη θερμική καταπόνηση στις γκοφρέτες.

2. Ανώτερη ηλεκτρική και θερμική αγωγιμότητα

Τα ηλιακά σκάφη γραφίτη Semicorex PECVD έχουν εξαιρετική ηλεκτρική αγωγιμότητα, εξασφαλίζοντας ταχεία αγωγιμότητα του ρεύματος ραδιοσυχνοτήτων και ομοιόμορφη κατανομή ηλεκτρικού πεδίου, η οποία είναι ευεργετική για σταθερή παραγωγή πλάσματος και ομοιόμορφη εναπόθεση πλακιδίων πυριτίου. Επιπλέον, η ανώτερη θερμική αγωγιμότητά του διευκολύνει την ταχεία ψύξη και θέρμανση, βελτιώνοντας την απόδοση της παραγωγής ενώ αποτρέπει την τοπική υπερθέρμανση από το να επηρεάσει την ποιότητα της εναπόθεσης.

3. Ισχυρή χημική σταθερότητα

Χάρη στη χρήση υλικού υψηλής ποιότητας, το ηλιακό σκάφος γραφίτη Semicorex PECVD είναι λιγότερο επιρρεπές σε αντίδραση με τα αντιδραστικά αέρια και το πλάσμα. Αυτό το χαρακτηριστικό εμποδίζει σημαντικά την ανομοιόμορφη κατανομή ηλεκτρικού πεδίου που προκαλείται από διάβρωση, παραμόρφωση ή εναπόθεση ακαθαρσιών στο σκάφος γραφίτη, διασφαλίζοντας έτσι τη σταθερότητα της διαδικασίας εναπόθεσης και την ποιότητα της επιφάνειας των πλακών πυριτίου.

4. Εξαιρετική μηχανική αντοχή

Με την εξαιρετική μηχανική του αντοχή, το ηλιακό σκάφος γραφίτη Semicorex PECVD μπορεί να χειριστεί εύκολα το βάρος φορτίων γκοφρέτας μεγάλου όγκου. Μπορούν να αντέξουν τη μηχανική καταπόνηση που δημιουργείται κατά τη φόρτωση και τη μεταφορά για μεγάλο χρονικό διάστημα χωρίς να παραμορφώνονται ή να σπάνε εύκολα.

5. Εξαιρετική συνοχή διαστάσεων

Το ηλιακό σκάφος γραφίτη Semicorex PECVD επιτυγχάνει εξαιρετική ακρίβεια διαστάσεων σε όλα τα εξαρτήματα μέσω μηχανικής κατεργασίας ακριβείας. Διατηρεί τη γκοφρέτα πυριτίου σε σταθερή θέση κατά την εναπόθεση, η οποία εξασφαλίζει ομοιόμορφη εναπόθεση και συμβατότητα με την αυτοματοποιημένη παραγωγή.