Θερμαντήρας PBN

Ο θερμαντήρας PBN του πυριολυτικού βόδιου ημι-πυολυτικού βορίου είναι ένα συστατικό θέρμανσης υψηλής ποιότητας, υψηλής απόδοσης που έχει σχεδιαστεί για απαιτητικές εφαρμογές όπου είναι απαραίτητα τα υλικά με υπερ-καθαρές, χημικά σταθερά και θερμικά αποδοτικά. Κατασκευασμένη μέσω μιας διαδικασίας χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), το PBN παρουσιάζει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και εξαιρετική χημική αδράνεια, καθιστώντας την ιδανική επιλογή για την επεξεργασία ημιαγωγών, την ανάπτυξη κρυστάλλων και τις εφαρμογές κενού.

Ο θερμαντήρας PBN είναι ένας θερμαντήρας που χρησιμοποιεί εξαιρετικά μονωτικό PBN ως υπόστρωμα και χρησιμοποιεί θερμική αποσύνθεση χαμηλής πίεσης χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) για να επικαλύψει την αγώγιμη PG σε χαμηλή πίεση (κάτω από 10Torr) και την υψηλή θερμοκρασία. Τα κύρια συστατικά αυτού του σύνθετου θερμαντήρα είναι το πυολυτικό νιτρίδιο βορίου (PBN) και ο πυολυτικός γραφίτης (PG). Λόγω της εξαιρετικής αντοχής της διάβρωσης και της αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, χρησιμοποιείται κυρίως για θέρμανση υποστρώματος ημιαγωγού (που χρησιμοποιείται σε MBE, MOCVD, επικάλυψη κ.λπ.). θέρμανση υποστρώματος υπεραγωγού. θέρμανση δείγματος κατά τη διάρκεια της ανάλυσης δείγματος. Θέρμανση δείγματος ηλεκτρονικού μικροσκοπίου. μεταλλική θέρμανση · Πηγή θέρμανσης εξάτμισης μετάλλων, κλπ.

Το PBN είναι αδρανές σε διαβρωτικά αέρια. έχει υψηλή καθαρότητα (μεγαλύτερη από 99,99%). δεν βρέχει ή αντιδρά με τα περισσότερα τετηγμένα μέταλλα (έχει τα χαρακτηριστικά ενός μη κολλητικού τηγανιού και το μέταλλο μπορεί να χρησιμοποιηθεί 100%). έχει καλή αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία (η μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας είναι 2000 ℃). καλή πυκνότητα Η καλή αντοχή σε θερμικό σοκ και άλλες εξαιρετικές ιδιότητες καθιστούν το ιδανικό υλικό για την προετοιμασία σύνθετων θερμαντήρων PBN-PG. Το PG μπορεί να θερμαίνεται γρήγορα στα 1600 ℃ (σε αδρανή ατμόσφαιρα και υπό κενό) σε θερμαντήρα PBN. Ταυτόχρονα, σε συνδυασμό με την καλή θερμική αγωγιμότητα του PBN, η επιφάνεια θέρμανσης έχει καλή ομοιομορφία θερμότητας. Με την ταχεία ανάπτυξη των σχετικών βιομηχανιών, η ζήτηση για σύνθετες θερμαντήρες PBN-PG έχει επίσης αυξηθεί γρήγορα.

Οι θερμαντήρες PBN μπορούν να κατασκευαστούν σε διάφορα σχήματα και διαμορφώσεις για να πληρούν συγκεκριμένες απαιτήσεις σχεδιασμού και ολοκλήρωσης. Τα τυπικά σχέδια περιλαμβάνουν επίπεδες θερμαντήρες, σωληνοειδείς θερμοσίφωνες και προσαρμοσμένες γεωμετρίες με ενσωματωμένα ή επιφανειακά στοιχεία θέρμανσης. Τα στοιχεία θέρμανσης είναι συνήθως κατασκευασμένα από πυολυτικό γραφίτη (PG) και ενθυλακωμένα σε PBN, παρέχοντας μια πλήρως σφραγισμένη, ηλεκτρικά μονωτική και θερμικά αποδοτική δομή.