Ηλεκτροστατικό τσοκ PBN

Υλικές Ιδιότητες τουPBNΗλεκτροστατικό τσοκ

Αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και διηλεκτρική αντοχή

ΟPBNΤο ηλεκτροστατικό τσοκ είναι γνωστό για την εξαιρετική του αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, ένα χαρακτηριστικό που είναι καίριο στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών. Το πυρολυτικό νιτρίδιο του βορίου (PBN), το υλικό που χρησιμοποιείται στην κατασκευή του τσοκ, εμφανίζει ειδική αντίσταση υψηλότερη από τα πιο συχνά χρησιμοποιούμενα κεραμικά, η οποία είναι ζωτικής σημασίας για τη διατήρηση της δύναμης τσοκ Johnsen-Rahbek (J-R) μέχρι θερμοκρασίες 1050°C. Αυτή η υψηλή ειδική αντίσταση, σε συνδυασμό με την υψηλή διηλεκτρική του αντοχή, διασφαλίζει ότι η ηλεκτρική βλάβη αποτρέπεται αποτελεσματικά ακόμη και κάτω από έντονη θερμότητα, ενισχύοντας έτσι τη λειτουργική αξιοπιστία του τσοκ.

Θερμική ομοιομορφία και αντίσταση κραδασμών

Η εξαγωνική δικτυωτή δομή του PBN, που παρασκευάζεται μέσω εναπόθεσης χημικών ατμών σε θερμοκρασίες άνω των 1500°C, συμβάλλει στην εξαιρετική θερμική ομοιομορφία και αντοχή του σε κραδασμούς. Τα θερμαντικά στοιχεία υψηλής πυκνότητας εντός τουPBNΤο ηλεκτροστατικό τσοκ του επιτρέπει να επιτύχει ένα σταθερό θερμικό προφίλ γκοφρέτας με καλή ομοιομορφία 1,1–1,5% σε θερμοκρασίες 600–800°C. Επιπλέον, το τσοκ με βάση το PBN επιδεικνύει αξιοσημείωτη αντοχή σε θερμικό σοκ και χαμηλότερη θερμική μάζα, επιτρέποντάς του να φτάσει τους 600°C με ταχεία ταχύτητα ανύψωσης 23°C/sec χωρίς κίνδυνο ρωγμής ή αποκόλλησης.

Προσαρμόσιμη θέρμανση πολλαπλών ζωνών

Το ηλεκτροστατικό τσοκ PBN είναι εξαιρετικά προσαρμόσιμο, με δυνατότητες θέρμανσης πολλαπλών ζωνών που επιτρέπουν μέγιστο έλεγχο θερμοκρασίας. Αυτό το επίπεδο προσαρμογής διασφαλίζει ότι κάθε τσοκ μπορεί να προσαρμοστεί ώστε να ανταποκρίνεται στις συγκεκριμένες απαιτήσεις των μεμονωμένων πελατών, παρέχοντας μια ευέλικτη λύση για διάφορες εφαρμογές επεξεργασίας ημιαγωγών.

Εφαρμογές τουPBNΗλεκτροστατικό τσοκ

Εμφύτευση ιόντων και χειρισμός γκοφρέτας

Το ηλεκτροστατικό τσοκ PBN είναι η προτιμώμενη συσκευή χειρισμού γκοφρέτας στις διαδικασίες εμφύτευσης ιόντων. Η ικανότητά του να συγκρατεί γκοφρέτες σε θερμοκρασίες άνω των 1000°C το καθιστά ένα από τα πιο ευέλικτα ηλεκτροστατικά τσοκ στην αγορά. Αυτή η ευελιξία ενισχύεται περαιτέρω από την ικανότητά του να διατηρεί τις γκοφρέτες σε πολύ στενά εύρη θερμοκρασιών, χάρη στα θερμαντικά στοιχεία υψηλής πυκνότητας πολλαπλών ζωνών.

Εμφύτευση ιόντων καρβιδίου πυριτίου

Στη συγκεκριμένη εφαρμογή της εμφύτευσης ιόντων SiC, ηPBNΤο ηλεκτροστατικό τσοκ προσφέρει μια βιώσιμη λύση στις προκλήσεις της θέρμανσης και του χειρισμού των πλακιδίων. Οι δυνατότητές του διπλής λειτουργίας, οι οποίες περιλαμβάνουν υψηλή δύναμη τσοκ, υψηλή θερμαντική ισχύ, καλή θερμική ομοιομορφία και γρήγορη απόκριση, το καθιστούν ιδανική επιλογή για την αντιμετώπιση των πολύπλοκων απαιτήσεων της εμφύτευσης ιόντων SiC.

Κατασκευή Ημιαγωγών

Το ηλεκτροστατικό τσοκ PBN διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο στην κατασκευή ημιαγωγών, όπου ο ακριβής χειρισμός της πλακέτας και ο έλεγχος της θερμοκρασίας είναι απαραίτητοι. Η υψηλή αντοχή σε θερμικό σοκ και οι δυνατότητες ταχείας αύξησης της θερμοκρασίας το καθιστούν κατάλληλο για προηγμένες διεργασίες ημιαγωγών που απαιτούν αυστηρή διαχείριση θερμοκρασίας και γρήγορο θερμικό κύκλο.