Σύνθετες θερμαντήρες PBN

Οι θερμαντήρες σύνθετων PBN Semicorex συγχωνεύουν την εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα του πυολυτικού γραφίτη με τη χημική αδράνεια και την ηλεκτρική μόνωση του πυρολυτικού νιτριδίου βορίου. Αυτοί οι θερμαντήρες είναι κατασκευασμένοι από γραφίτη πολύ υψηλής καθαρότητας και PBN που εφαρμόζεται χρησιμοποιώντας μια διαδικασία υψηλής ποιότητας CVD (χημική εναπόθεση ατμών) υπό συνθήκες εναπόθεσης υψηλής καθαρότητας. Κάθε μεμονωμένο στρώμα ολοκλήρωσης έχει κατατεθεί με πολύ ακραία δυνατότητα ελέγχου για να εξασφαλίσει εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα και συνεπείς θερμικές ιδιότητες. Ο πυρήνας γραφίτη, ο οποίος παρέχει γρήγορη και ομοιόμορφη θέρμανση σε όλη την έκταση, προστατεύεται από την οξείδωση και τη μόλυνση από την κάψουλα PBN. Αυτό καθιστά τον θερμαντήρα ιδανικό για περιβάλλοντα αερίου κενού και περιβάλλοντα αδρανούς αερίου. Αυτοί οι θερμαντήρες PBN είναι σκόπιμα σχεδιασμένοι για χρήση σε αντιδραστήρες MBE (Epitaxy Beam), αντιδραστήρες CVD και άλλα συστήματα ανάπτυξης κρυστάλλων.

Ο σύνθετος θερμαντικός θερμαντήρας του πυρολυτικού βόδιου βόδιου (PBN-PG) είναι ένας θερμαντήρας που χρησιμοποιεί το PBN υψηλής μόνωσης ως υπόστρωμα και χρησιμοποιεί θερμική αποσύνθεση χαμηλής πίεσης (CVD) σε χαμηλή πίεση (κάτω από 10torr) και υψηλής θερμοκρασίας για να καλύψει τον αγώγιμο PG. Τα κύρια συστατικά αυτού του σύνθετου θερμαντήρα είναι το πυολυτικό νιτρίδιο βορίου (PBN) και ο πυολυτικός γραφίτης (PG). Λόγω της εξαιρετικής αντοχής της διάβρωσης και της αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, χρησιμοποιείται κυρίως για θέρμανση υποστρώματος ημιαγωγού (που χρησιμοποιείται σε MBE, MOCVD, επικάλυψη κ.λπ.). θέρμανση υποστρώματος υπεραγωγού. θέρμανση δείγματος κατά τη διάρκεια της ανάλυσης δείγματος. Θέρμανση δείγματος ηλεκτρονικού μικροσκοπίου. μεταλλική θέρμανση · Πηγή θέρμανσης εξάτμισης μετάλλων, κλπ.

Οι θερμαντήρες PBN μπορούν να αντέξουν τις θερμοκρασίες λειτουργίας μέχρι 1600 ° C σε κενό και να έχουν βελτιωμένη ικανότητα να αντέχουν θερμικό σοκ σε οποιεσδήποτε εναλλακτικές λύσεις με βάση το μέταλλο που θα βασίζεστε. Η επιφάνεια του θερμαντήρα είναι εξαιρετικά ομαλή και πυκνή και παράγει σημαντικά λιγότερα σωματίδια κατά τη διάρκεια της λειτουργίας που είναι κρίσιμες για εφαρμογές όπου η μόλυνση δεν μπορεί να γίνει ανεκτή, όπως η επεξεργασία του πλακιδίου ημιαγωγών.

Η σύνθετη δομή παρέχει εξαιρετική θερμική ομοιομορφία σε όλη την επιφάνεια του θερμαντήρα και οι διαδρομές της αντίστασης μπορούν να προσαρμοστούν ώστε να επιτρέπουν μια προσαρμοσμένη κατανομή θερμότητας. Αυτός ο σχεδιασμός επιτρέπει τους κύκλους ταχείας αύξησης και cooldown κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας χωρίς ρωγμές και αποκόλληση λόγω των ίδιων συντελεστών θερμικής διαστολής των χρησιμοποιημένων υλικών. Τα ηλεκτρόδια είναι ικανά να αντέχουν σε λειτουργία συνεχούς υψηλού ρεύματος και είναι επίσης συμβατά σε κενό.

Το Semicorex παρέχει απεριόριστη ευελιξία σχεδιασμού για μοναδικά σχήματα, μεγέθη και απαιτήσεις ισχύος όταν είναι απαραίτητο, για να ικανοποιήσει συγκεκριμένες ανάγκες εφαρμογής. Είτε πρόκειται για τυποποιημένα μεγέθη πλακιδίων, είτε για πιο σύνθετες γεωμετρίες, εγγυόμαστε την ακρίβεια διαστάσεων και τη θερμική ομοιομορφία σε κάθε μονάδα που παράγεται.

Οι θερμαντήρες PBN Composite είναι ιδανικοί για εξαιρετικά καθαρές εφαρμογές, συμπεριλαμβανομένων:

• Τα συστήματα MBE για επεξεργασία ημιαγωγών III-V και II-VI
• Συστήματα επικάλυψης κενού για οπτικά εξαρτήματα
• Συστήματα ανάπτυξης κρυστάλλων για ζαφείρι και SIC
• Θερμική επεξεργασία υψηλής καθαρότητας για περιβάλλοντα ερευνών και ανάπτυξης.