Το πιο βασικό στάδιο όλων των διεργασιών είναι η διαδικασία της οξείδωσης. Η διαδικασία οξείδωσης είναι η τοποθέτηση της γκοφρέτας πυριτίου σε μια ατμόσφαιρα οξειδωτικών όπως οξυγόνο ή υδρατμοί για θερμική επεξεργασία υψηλής θερμοκρασίας (800~1200℃) και εμφανίζεται μια χημική αντίδραση στην επιφάνει......
Διαβάστε περισσότεραΗ ανάπτυξη της επιταξίας GaN στο υπόστρωμα GaN παρουσιάζει μια μοναδική πρόκληση, παρά τις ανώτερες ιδιότητες του υλικού σε σύγκριση με το πυρίτιο. Η επιταξία GaN προσφέρει σημαντικά πλεονεκτήματα όσον αφορά το πλάτος του διακένου ζώνης, τη θερμική αγωγιμότητα και το ηλεκτρικό πεδίο διάσπασης σε σχέ......
Διαβάστε περισσότεραΟι ημιαγωγοί ευρείας ζώνης (WBG) όπως το καρβίδιο του πυριτίου (SiC) και το νιτρίδιο του γαλλίου (GaN) αναμένεται να διαδραματίσουν ολοένα σημαντικότερο ρόλο στις ηλεκτρονικές συσκευές ισχύος. Προσφέρουν πολλά πλεονεκτήματα σε σχέση με τις παραδοσιακές συσκευές πυριτίου (Si), όπως υψηλότερη απόδοση,......
Διαβάστε περισσότερα