Διαδικασίες ανόπτησης στη σύγχρονη κατασκευή ημιαγωγών

Καθώς οι τεχνολογικοί κόμβοι συνεχίζουν να συρρικνώνονται, ο σχηματισμός εξαιρετικά ρηχών κόμβων παρουσιάζει σημαντικές προκλήσεις. Διαδικασίες θερμικής ανόπτησης συμπεριλαμβανομένωνΤαχεία θερμική ανόπτηση (RTA)και η ανόπτηση λαμπτήρων φλας (FLA) είναι ζωτικής σημασίας τεχνικές που διατηρούν υψηλούς ρυθμούς ενεργοποίησης ακαθαρσιών ενώ ελαχιστοποιούν τη διάχυση, διασφαλίζοντας τη βέλτιστη απόδοση της συσκευής.

1. Σχηματισμός εξαιρετικά ρηχού κόμβου:

Καθώς οι τεχνολογικοί κόμβοι συρρικνώνονται, ο σχηματισμός εξαιρετικά ρηχών κόμβων είναι όλο και πιο δύσκολος. Τεχνικές όπως η ταχεία θερμική ανόπτηση (RTA) και η ανόπτηση λαμπτήρων φλας (FLA) είναι ζωτικής σημασίας για την επίτευξη υψηλών ρυθμών ενεργοποίησης ακαθαρσιών, ελαχιστοποιώντας παράλληλα τη διάχυση, διασφαλίζοντας έτσι τη βέλτιστη απόδοση της συσκευής.

2. Τροποποίηση διηλεκτρικών πύλης High-k:

Η ανόπτηση μετά την εναπόθεση (PDA) ενισχύει σημαντικά τις ηλεκτρικές ιδιότητες των διηλεκτρικών πύλης υψηλής ποιότητας. Αυτή η διαδικασία μειώνει τα ρεύματα διαρροής πύλης και αυξάνει τις διηλεκτρικές σταθερές, οι οποίες είναι ζωτικής σημασίας για προηγμένες συσκευές λογικής και μνήμης.

3. Σχηματισμός πυριτικών μετάλλων:

Η βελτιστοποίηση μεταλλικών πυριτιδίων, όπως CoSi και NiSi, είναι απαραίτητη για τη βελτίωση της αντίστασης στην επαφή και του όγκου. Ο ακριβής έλεγχος στις συνθήκες ανόπτησης διευκολύνει τη δημιουργία ιδανικών φάσεων κράματος, ενισχύοντας τη συνολική απόδοση της συσκευής.

4. Τεχνολογίες 3D ολοκλήρωσης:

Σε τεχνολογίες όπως το 3D NAND και το 3D DRAM, οι διαδικασίες ανόπτησης πρέπει να εφαρμόζονται σε πολλαπλά επίπεδα. Οι τεχνικές ταχείας θερμότητας διαδραματίζουν βασικό ρόλο στη διασφάλιση της βέλτιστης απόδοσης κάθε στρώσης.

Η ανόπτηση είναι κρίσιμης σημασίας για την κατασκευή ημιαγωγών, επιτρέποντας την επιδιόρθωση ζημιών στο πλέγμα, την ενεργοποίηση ακαθαρσιών, την τροποποίηση μεμβράνης και το σχηματισμό μεταλλικού πυριτίου μέσω ακριβούς ελέγχου της θερμοκρασίας, του χρόνου και των θερμικών προϋπολογισμών. Καθώς οι τεχνολογικοί κόμβοι συρρικνώνονται, οι προηγμένες μέθοδοι ανόπτησης όπωςRTA, το FLA και η ανόπτηση ακίδων με λέιζερ έχουν γίνει κυρίαρχη ροή. Κοιτάζοντας το μέλλον, η διαδικασία ανόπτησης θα συνεχίσει να καινοτομεί για να καλύψει τις απαιτήσεις των αναδυόμενων υλικών και συσκευών.

Η Semicorex προσφέρει κορυφαία στον κλάδοδιαλύματα ανόπτησης, διασφαλίζοντας ότι οι συσκευές ημιαγωγών σας πληρούν τα υψηλότερα πρότυπα απόδοσης με ακρίβεια και αξιοπιστία.

Εάν έχετε οποιαδήποτε απορία ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com