Χαλαζίας υψηλής καθαρότητας: Ένα απαραίτητο υλικό για τη βιομηχανία ημιαγωγών

Ο χαλαζίας υψηλής καθαρότητας έχει αξιοσημείωτες φυσικές και χημικές ιδιότητες. Η εγγενής κρυσταλλική δομή, το σχήμα και οι παραλλαγές του πλέγματος συμβάλλουν σε εξαιρετικά χαρακτηριστικά όπως αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη διάβρωση, αντοχή στην τριβή, χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, υψηλή μόνωση, πιεζοηλεκτρικά εφέ, εφέ συντονισμού και μοναδικές οπτικές ιδιότητες. Αυτά τα χαρακτηριστικά το καθιστούν αναντικατάστατο θεμελιώδες υλικό για την ανάπτυξη στρατηγικών και πυλώνων βιομηχανιών.

Η εφαρμογή του χαλαζία υψηλής καθαρότητας εκτείνεται σε διάφορα πεδία, συμπεριλαμβανομένων των ημιαγωγών, των φωτοβολταϊκών, των οπτικών ινών και των πηγών ηλεκτρικού φωτός. Μεταξύ αυτών, η βιομηχανία ημιαγωγών κατέχει το μεγαλύτερο μερίδιο, αντιπροσωπεύοντας το σημαντικό 50% της χρήσης της.

Στην καρδιά της κατασκευής ημιαγωγών βρίσκεται η κατασκευή τσιπ, που αντιπροσωπεύει το τμήμα με την υψηλότερη προστιθέμενη αξία στον κλάδο. Η κατασκευή τσιπ περιλαμβάνει κυρίως τέσσερα στάδια: ανάπτυξη μονού κρυστάλλου, επεξεργασία και κατασκευή πλακιδίων, παραγωγή ολοκληρωμένου κυκλώματος (IC) και συσκευασία. Τα πιο κρίσιμα, πολύπλοκα και απαιτητικά στάδια, ιδιαίτερα όσον αφορά τις απαιτήσεις υλικών, είναι η κατασκευή πλακιδίων πυριτίου και η επεξεργασία γκοφρέτας.

Τα υλικά χαλαζία υψηλής καθαρότητας, με την εξαιρετική τους θερμική σταθερότητα, την αντίσταση στα οξέα, τη χαμηλή θερμική διαστολή και την εξαιρετική φασματική μετάδοση, ανταποκρίνονται απόλυτα στις αυστηρές απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών σχετικά με την περιεκτικότητα σε αλκαλικά μέταλλα και βαρέα μέταλλα σε υλικά μεταφοράς. Η διαδικασία παραγωγής απαιτεί έναν σημαντικό όγκο εξαρτημάτων χαλαζία υψηλής ποιότητας, συμπεριλαμβανομένων των γκοφρετών, των δακτυλίων, των πλακών, των φλάντζες, των χαρακτικών σκαφών, των σωλήνων κλιβάνων διάχυσης και των δεξαμενών καθαρισμού.

Χαλαζίας υψηλής καθαρότητας που χρησιμοποιείται σε διάφορα στάδια προετοιμασίας ημιαγωγών

Εφαρμογή στην κατασκευή γκοφρέτας πυριτίου

Η κύρια εφαρμογή του γυαλιού χαλαζία σεκατασκευή γκοφρέτας πυριτίουέγκειται στην παραγωγή τουχωνευτήρια χαλαζία, απαραίτητη για τη διαδικασία Czochralski (CZ) που χρησιμοποιείται για την καλλιέργεια πλινθωμάτων μονοκρυστάλλου πυριτίου για την κατασκευή γκοφρετών. Επιπλέον, χρησιμοποιούνται επίσης δοχεία καθαρισμού χαλαζία.

Semicorex Χωνευτήριο λιωμένου χαλαζία

Εφαρμογή στην Επεξεργασία Γκοφρέτας

Κατά την επεξεργασία της γκοφρέτας, διάφορες θεραπείες όπωςοξείδωση, επιταξία, λιθογραφία, χάραξη, διάχυση, εναπόθεση χημικών ατμών (CVD), εμφύτευση ιόντων και στίλβωση εκτελούνται σε γκοφρέτες πυριτίου. Το γυαλί χαλαζία υψηλής καθαρότητας, λόγω της καθαρότητας, της αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, της χαμηλής θερμικής διαστολής και της αντοχής στη διάβρωση, παίζει καθοριστικό ρόλο σε αυτές τις διαδικασίες.

1)Διάχυση και οξείδωση: Σωλήνες διάχυσης από γυαλί χαλαζίαχρησιμοποιούνται εκτενώς σε αυτές τις διεργασίες, μαζί με τις συνοδευτικές φλάντζες χαλαζία. Άλλα βασικά στοιχεία περιλαμβάνουνσωλήνες κλιβάνου χαλαζία(για μεταφοράσκάφη χαλαζίαμέσα και έξω από τον κλίβανο), βάρκες χαλαζία (για τη μεταφορά πλακών πυριτίου) και σχάρες σκαφών από χαλαζία. Μεταξύ αυτών,σωλήνες διάχυσης από γυαλί χαλαζίαείναι υψίστης σημασίας, με την καθαρότητα, την αντίσταση παραμόρφωσης σε υψηλές θερμοκρασίες και την ακριβή γεωμετρία τους που επηρεάζουν άμεσα την ποιότητα, το κόστος και την απόδοση παραγωγής IC.

Σκάφη χαλαζίακαι τα ράφια χρησιμεύουν ως απαραίτητοι φορείς για γκοφρέτες πυριτίου κατά τη διάρκεια των διαδικασιών διάχυσης, οξείδωσης, CVD και ανόπτησης. Αυτά τα εξαρτήματα διατίθενται σε διάφορες προδιαγραφές και μεγέθη, συνήθως διαθέσιμα σε οριζόντιες και κάθετες διαμορφώσεις. Η άμεση επαφή με γκοφρέτες πυριτίου σε υψηλές θερμοκρασίες απαιτεί τη χρήση γυαλιού χαλαζία υψηλής καθαρότητας με εξαιρετική θερμική σταθερότητα και ακρίβεια διαστάσεων για αυτά τα εξαρτήματα.

Εξαρτήματα χαλαζία Semicorex για φούρνο διάχυσης

2)Χάραξη και καθαρισμός:Η διαδικασία χάραξης απαιτεί υλικά και εξαρτήματα από γυαλί χαλαζία ανθεκτικά στη διάβρωση, γεγονός που οδηγεί σε σημαντική ζήτηση για δακτυλίους χαλαζία, θαλάμους αντίδρασης γυαλιού χαλαζία και στηρίγματα γκοφρέτας. Επιπλέον, τα στάδια καθαρισμού με οξύ και καθαρισμού με υπερήχους χρησιμοποιούν καλάθια από γυαλί χαλαζία και δεξαμενές καθαρισμού, αντίστοιχα, αξιοποιώντας την εξαιρετική χημική σταθερότητα του υλικού. Τα βάζα με καμπάνες χαλαζία χρησιμοποιούνται επίσης κατά την επιταξιακή ανάπτυξη του πυριτίου.

3)Φωτολιθογραφία:Το γυαλί χαλαζία υψηλής καθαρότητας χρησιμεύει ως το κύριο υλικό υποστρώματος για φωτομάσκες, κρίσιμα συστατικά στη διαδικασία φωτολιθογραφίας. Το κόστος προμήθειας αυτών των υποστρωμάτων αποτελεί σημαντικό 90% του συνολικού κόστους πρώτων υλών για φωτομάσκες, όπως υποδεικνύεται από δεδομένα από το ενημερωτικό δελτίο της Qingyi Photomask. Ως εργαλεία υψηλής ακρίβειας για τη μεταφορά μοτίβων κυκλωμάτων κατά την κατασκευή οθονών LCD, ημιαγωγών και άλλων ηλεκτρονικών συσκευών, οι φωτομάσκες επηρεάζουν άμεσα την ακρίβεια και την ποιότητα του τελικού προϊόντος. Αυτό απαιτεί τη χρήση ράβδων από συνθετικό γυαλί χαλαζία εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας ως το βασικό υλικό για υποστρώματα φωτομάσκας.

Συμπερασματικά, ο μοναδικός συνδυασμός ιδιοτήτων που επιδεικνύει ο χαλαζίας υψηλής καθαρότητας έχει εδραιώσει τη θέση του ως απαραίτητο υλικό στη βιομηχανία ημιαγωγών. Καθώς η τεχνολογία προχωρά και οι απαιτήσεις για σμίκρυνση και απόδοση αυξάνονται, η εξάρτηση από υψηλής ποιότητας υλικά χαλαζία αναμένεται μόνο να αυξηθεί, ενισχύοντας περαιτέρω τον κρίσιμο ρόλο της στη διαμόρφωση του μέλλοντος των ηλεκτρονικών.**

Η Semicorex, ως έμπειρος κατασκευαστής και προμηθευτής, παρέχει υλικά Quartz υψηλής καθαρότητας για τη βιομηχανία ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com