Επίστρωση στο θερμικό πεδίο μονοκρυστάλλων ημιαγωγού πυριτίου

Τα επικαλυμμένα μέρη σε θερμό πεδίο μονοκρυστάλλου πυριτίου ημιαγωγού επικαλύπτονται γενικά με τη μέθοδο CVD, συμπεριλαμβανομένης της επίστρωσης με πυρολυτικό άνθρακα,Επικάλυψη καρβιδίου πυριτίουκαιΕπικάλυψη καρβιδίου τανταλίου, το καθένα με διαφορετικά χαρακτηριστικά.

Κοινά σημεία: το υπόστρωμα είναι ισοστατικός γραφίτης υψηλής καθαρότητας, γενικά λιγότερο από 5 ppm τέφρα. επικάλυψη χρησιμοποιούνται μέθοδος CVD? Η επίστρωση είναι βασικά 100% άνθρακας ή καρβίδιο του πυριτίου. Μετά την επίστρωση η επιφάνεια είναι σχετικά πυκνή, το αέριο, ειδικά ο ατμός πυριτίου του κλιβάνου ή το αέριο οξείδιο του πυριτίου μπορεί βασικά να μπλοκαριστεί. Η δική του εξάτμιση σκόνης είναι επίσης πολύ μικρή.

Διαφορές: το τυπικό πάχος της επίστρωσης, η επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα είναι γενικά περίπου 40um. Η επίστρωση καρβιδίου πυριτίου γίνεται γενικά περίπου 100um, αλλά σύμφωνα με τις διαφορετικές ανάγκες των πελατών, μπορεί να γίνει 30um~150um, συμπεριλαμβανομένης μιας επίστρωσης και δύο επικαλύψεων. Η επίστρωση καρβιδίου του τανταλίου είναι γενικά 35±15um.

Επικάλυψη πυρολυτικού άνθρακα, η πυκνότητά του είναι ισοδύναμη με αυτή του μη πορώδους γραφίτη, που είναι περίπου 2,2. Έχει χαμηλή ειδική αντίσταση και υψηλή θερμική αγωγιμότητα στην παράλληλη κατεύθυνση της επιφάνειας, ώστε να μπορεί να διατηρήσει τη συνοχή της θερμοκρασίας της επιφάνειας, και έχει επίσης χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και υψηλό μέτρο ελαστικότητας. Στην κάθετη κατεύθυνση της επιφάνειας, ο συντελεστής θερμικής διαστολής είναι μεγαλύτερος και η θερμική αγωγιμότητα μικρότερη.

Για προϊόντα επικαλυμμένα με καρβίδιο πυριτίου, ο συντελεστής ελαστικότητας της επίστρωσης είναι πολύ υψηλός, δεκάδες φορές υψηλότερος από το μέτρο ελαστικότητας του εσωτερικού υποστρώματος γραφίτη, επομένως για να αποφευχθεί η ρήξη του προϊόντος, πρέπει να χειριστείτε με ήπιο τρόπο.

Η επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα και η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου όλης της περιεκτικότητας σε ακαθαρσίες είναι μικρότερη από 5 ppm, όπου η περιεκτικότητα σε κύριο μεταλλικό στοιχείο είναι μικρότερη από 0,1 ή 0,01 ppm, τόσο πιο δύσκολο να αντιμετωπιστεί το στοιχείο βορίου είναι 0,01 ή 0,15 ppm.

Η Semicorex προσφέρει υψηλής ποιότητας προϊόν επίστρωσης CVD για ημιαγωγούς με εξατομικευμένη εξυπηρέτηση. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com