SiC Epitaxy

Υπάρχουν δύο είδη επιταξίας: η ομοιογενής και η ετερογενής. Προκειμένου να παραχθούν συσκευές SiC με ειδική αντίσταση και άλλες παραμέτρους για διαφορετικές εφαρμογές, το υπόστρωμα πρέπει να πληροί τις συνθήκες της επιταξίας πριν ξεκινήσει η παραγωγή. Η ποιότητα της επιταξίας επηρεάζει την απόδοση της συσκευής.

Σήμερα υπάρχουν δύο κύριες μέθοδοι επιταξίας. Το πρώτο είναι η ομοιογενής επιταξία, όπου το φιλμ SiC αναπτύσσεται σε ένα αγώγιμο υπόστρωμα SiC. Αυτό χρησιμοποιείται κυρίως για MOSFET, IGBT και άλλα πεδία ημιαγωγών ισχύος υψηλής τάσης. Το δεύτερο είναι η ετεροεπιταξιακή ανάπτυξη, όπου το φιλμ GaN αναπτύσσεται σε ένα ημιμονωτικό υπόστρωμα SiC. Αυτό χρησιμοποιείται για GaN HEMT και άλλους ημιαγωγούς χαμηλής και μέσης τάσης ισχύος, καθώς και ραδιοσυχνότητες και οπτοηλεκτρονικές συσκευές.

Οι επιταξιακές διεργασίες περιλαμβάνουν την εξάχνωση ή τη φυσική μεταφορά ατμών (PVT), την επιταξία μοριακής δέσμης (MBE), την επιταξία υγρής φάσης (LPE) και την επίταση φάσης χημικού ατμού (CVD). Η κύρια μέθοδος ομοιογενούς επιταξιακής παραγωγής SiC χρησιμοποιεί H2 ως φέρον αέριο, με σιλάνιο (SiH4) και προπάνιο (C3H8) ως πηγή Si και C. Τα μόρια SiC παράγονται μέσω μιας χημικής αντίδρασης στον θάλαμο καθίζησης και εναποτίθενται στο υπόστρωμα SiC .

Οι βασικές παράμετροι της επιτάξεως SiC περιλαμβάνουν το πάχος και την ομοιομορφία συγκέντρωσης ντόπινγκ. Καθώς αυξάνεται η τάση του σεναρίου εφαρμογής της συσκευής κατάντη, το πάχος της επιταξιακής στρώσης αυξάνεται σταδιακά και η συγκέντρωση ντόπινγκ μειώνεται.

Ένας περιοριστικός παράγοντας στην κατασκευή χωρητικότητας SiC είναι ο επιταξιακός εξοπλισμός. Ο εξοπλισμός επιταξιακής ανάπτυξης μονοπωλείται επί του παρόντος από την ιταλική LPE, τη γερμανική AIXTRON και την ιαπωνική Nuflare και TEL. Ο κύριος κύκλος παράδοσης επιταξιακού εξοπλισμού υψηλής θερμοκρασίας SiC έχει επιμηκυνθεί σε περίπου 1,5-2 χρόνια.

Η Semicorex παρέχει εξαρτήματα SiC για εξοπλισμό ημιαγωγών, όπως LPE, Aixtron κ.λπ. Εάν έχετε ερωτήσεις ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com