Dry Etching vs Wet Etching

Στην κατασκευή ημιαγωγών, η χάραξη είναι ένα από τα κύρια βήματα, μαζί με τη φωτολιθογραφία και την εναπόθεση λεπτής μεμβράνης. Περιλαμβάνει την αφαίρεση ανεπιθύμητων υλικών από την επιφάνεια μιας γκοφρέτας χρησιμοποιώντας χημικές ή φυσικές μεθόδους. Αυτό το βήμα πραγματοποιείται μετά την επίστρωση, τη φωτολιθογραφία και την ανάπτυξη. Χρησιμοποιείται για την αφαίρεση του εκτεθειμένου υλικού λεπτής μεμβράνης, αφήνοντας μόνο το επιθυμητό τμήμα της γκοφρέτας και στη συνέχεια αφαιρώντας την περίσσεια φωτοανθεκτικού υλικού. Αυτά τα βήματα επαναλαμβάνονται πολλές φορές για τη δημιουργία πολύπλοκων ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.

Η χάραξη ταξινομείται σε δύο κατηγορίες: ξηρή και υγρή χάραξη. Η ξηρή χάραξη περιλαμβάνει τη χρήση αντιδραστικών αερίων και τη χάραξη πλάσματος, ενώ η υγρή χάραξη περιλαμβάνει τη βύθιση του υλικού σε ένα διάλυμα διάβρωσης για τη διάβρωση του. Η ξηρή χάραξη επιτρέπει την ανισότροπη χάραξη, πράγμα που σημαίνει ότι μόνο η κατακόρυφη κατεύθυνση του υλικού χαράσσεται χωρίς να επηρεάζεται το εγκάρσιο υλικό. Αυτό εξασφαλίζει τη μεταφορά μικρών γραφικών με πιστότητα. Αντίθετα, η υγρή χάραξη δεν είναι ελεγχόμενη, γεγονός που μπορεί να μειώσει το πλάτος της γραμμής ή ακόμη και να καταστρέψει την ίδια τη γραμμή. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα κακής ποιότητας τσιπ παραγωγής.

Η ξηρή χάραξη ταξινομείται σε φυσική χάραξη, χημική χάραξη και φυσικοχημική χάραξη με βάση τον μηχανισμό χάραξης ιόντων που χρησιμοποιείται. Η φυσική χάραξη είναι εξαιρετικά κατευθυντική και μπορεί να είναι ανισότροπη χάραξη, αλλά όχι επιλεκτική χάραξη. Η χημική χάραξη χρησιμοποιεί πλάσμα στη χημική δραστηριότητα της ατομικής ομάδας και το υλικό που θα χαραχθεί για να επιτευχθεί ο σκοπός της χάραξης. Έχει καλή εκλεκτικότητα, αλλά η ανισοτροπία είναι κακή λόγω του πυρήνα της χάραξης ή της χημικής αντίδρασης.