Ποια είναι η λειτουργία των δακτυλίων εστίασης;

Οι δακτύλιοι εστίασης είναι τα βασικά στοιχεία για τη διασφάλιση της ομοιομορφίας και της σταθερότητας των διαδικασιών χάραξης ημιαγωγών. Μέσω ακριβούς ελέγχου των ηλεκτρικών και θερμικών πεδίων, οι δακτύλιοι εστίασης μπορούν να συγκεντρώνουν το πλάσμα στην επιφάνεια του πλακιδίου, διασφαλίζοντας σταθερά αποτελέσματα χάραξης σε όλες τις θέσεις του πλακιδίου.

Οι λειτουργίες των δακτυλίων εστίασης

1. Βελτιώστε την ομοιομορφία χάραξης

Στη διαδικασία χάραξης, οι δακτύλιοι εστίασης μπορούν να συγκεντρώσουν το πλάσμα στοόστιαεπιφάνεια, η οποία εγγυάται αποτελεσματικά ομοιόμορφη πυκνότητα πλάσματος, γωνία βομβαρδισμού ιόντων και επίπεδα ενέργειας τόσο στις άκρες όσο και στις κεντρικές περιοχές του πλάσματος. Διορθώνουν την κατανομή του ηλεκτρικού πεδίου στην άκρη του πλακιδίου, μειώνοντας τον ρυθμό χάραξης, τις κρίσιμες διαστάσεις και τις μορφολογικές παραλλαγές που προκαλούνται από τα φαινόμενα των ακμών, διασφαλίζοντας έτσι τη συνέπεια χάραξης σε ολόκληρη την επιφάνεια του πλακιδίου. Εάν ο δακτύλιος εστίασης είναι υπερβολικά φθαρμένος ή δεν υπάρχει εστιακός δακτύλιος, το πλάσμα θα διαχέεται από την άκρη του πλακιδίου, προκαλώντας τελικά μη συμμορφούμενες αποκλίσεις στο πλάτος της γραμμής μεταξύ της ακμής και της κεντρικής περιοχής.

2. Προστατέψτε το ηλεκτροστατικό τσοκ

Οι δακτύλιοι εστίασης εγκαθίστανται συνήθως έξω από την επιφάνεια φέροντος πλακιδίων των ηλεκτροστατικών τσοκ, άμεσα εκτεθειμένοι σε βομβαρδισμό πλάσματος και διάβρωση. Αυτή η ρύθμιση δόσεων λειτουργεί ως το φυσικό εμπόδιο για την αποτροπή επαφής του πλάσματος με τα ηλεκτροστατικά τσοκ κατά τη διαδικασία χάραξης, μειώνοντας έτσι σημαντικά τον κίνδυνο βλάβης στο πλάσμα. Οι δακτύλιοι εστίασης μπορούν επίσης να εμποδίσουν τα υποπροϊόντα που δημιουργούνται κατά τη διαδικασία χάραξης να προσκολληθούν στα ηλεκτροστατικά τσοκ, αποφεύγοντας έτσι την υποβάθμιση της απόδοσης που προκαλείται από τη μόλυνση και το φράξιμο του τσοκ. Αυτό επεκτείνει σημαντικά τον κύκλο συντήρησης και τη διάρκεια ζωής των ηλεκτροστατικών τσοκ, μειώνοντας το κόστος συντήρησης και αντικατάστασης του εξοπλισμού.

Οι δακτύλιοι εστίασης κατασκευάζονται συνήθως από υψηλής καθαρότηταςχαλαζίας, πυρίτιοκαικαρβίδιο του πυριτίουυλικά. Χάρη στην εξαιρετική τους ολοκληρωμένη απόδοσή τους, τα υλικά καρβιδίου του πυριτίου γίνονται σταδιακά η κυρίαρχη επιλογή για διεργασίες χάραξης αιχμής. Ως αξιόπιστος προμηθευτής δακτυλίων εστίασης ημιαγωγών στην Κίνα, η Semicorex προσφέρει υψηλή ποιότηταδακτύλιοι εστίασης καρβιδίου του πυριτίουδιαφόρων μεγεθών για να ταιριάζουν με τις διαφορετικές απαιτήσεις του εξοπλισμού χάραξης. Η Semicorex καλωσορίζει τις ερωτήσεις και τις αγορές σας ανά πάσα στιγμή.