Σε ποιους δείκτες πρέπει να δίνεται προσοχή κατά την επιλογή κατάλληλων γκοφρετών;

Η επιλογή γκοφρέτας έχει σημαντικό αντίκτυπο στην ανάπτυξη και την κατασκευή συσκευών ημιαγωγών.ΟστιαΗ διαφορά μεταξύ του μέγιστου και του ελάχιστου πάχους που μετράται σε όλη την επιφάνεια του πλακιδίου είναι γνωστή ως TTV.  Είναι μια σημαντική μέτρηση για τη μέτρηση της ομοιομορφίας του πάχους και η υψηλότερη απόδοση υποδεικνύεται από μικρότερες τιμές.

1.Παραλλαγή συνολικού πάχους:

Η διαφορά μεταξύ του μέγιστου και του ελάχιστου πάχους που μετράται σε όλη την επιφάνεια του πλακιδίου είναι γνωστή ως TTV.  Είναι μια σημαντική μέτρηση για τη μέτρηση της ομοιομορφίας του πάχους και η υψηλότερη απόδοση υποδεικνύεται από μικρότερες τιμές.

2. Τόξο και στημόνι:

Ο δείκτης πλώρης εστιάζει στην κατακόρυφη μετατόπιση της περιοχής του κέντρου της γκοφρέτας, η οποία αντικατοπτρίζει μόνο την τοπική κατάσταση κάμψης. Είναι κατάλληλο για την αξιολόγηση σεναρίων που είναι ευαίσθητα στην τοπική επιπεδότητα. Ο δείκτης στημονιού είναι χρήσιμος για την αξιολόγηση της συνολικής επιπεδότητας και παραμόρφωσης, επειδή λαμβάνει υπόψη την απόκλιση ολόκληρης της επιφάνειας του πλακιδίου και παρέχει πληροφορίες για τη συνολική επιπεδότητα για ολόκληρο το πλακίδιο.

3. Σωματίδιο:

Η μόλυνση από σωματίδια στην επιφάνεια του πλακιδίου μπορεί να επηρεάσει την κατασκευή και την απόδοση της συσκευής, επομένως είναι απαραίτητο να ελαχιστοποιηθεί η παραγωγή σωματιδίων κατά τη διαδικασία παραγωγής και να χρησιμοποιηθούν ειδικές διαδικασίες καθαρισμού για τη μείωση και την απομάκρυνση της επιφανειακής μόλυνσης από σωματίδια.

4. Τραχύτητα:

Η τραχύτητα αναφέρεται σε έναν δείκτη που μετρά την επιπεδότητα μιας επιφάνειας γκοφρέτας σε μικροσκοπική κλίμακα, η οποία είναι διαφορετική από τη μακροσκοπική επιπεδότητα. Όσο χαμηλότερη είναι η τραχύτητα της επιφάνειας, τόσο πιο λεία είναι η επιφάνεια. Ζητήματα όπως η ανομοιόμορφη εναπόθεση λεπτού φιλμ, οι θολές άκρες του φωτολιθογραφικού σχεδίου και η κακή ηλεκτρική απόδοση μπορεί να προκύψουν από υπερβολική τραχύτητα.

5.ελαττώματα:

Τα ελαττώματα του πλακιδίου αναφέρονται σε ελλιπείς ή ακανόνιστες δομές πλέγματος που προκαλούνται από μηχανική επεξεργασία, οι οποίες με τη σειρά τους σχηματίζουν στρώματα ζημιάς από κρυστάλλους που περιέχουν μικροσωλήνες, εξαρθρώσεις, γρατσουνιές. Θα καταστρέψει τις μηχανικές και ηλεκτρικές ιδιότητες της γκοφρέτας και τελικά μπορεί να οδηγήσει σε αστοχία του τσιπ.

6.Τύπος αγωγιμότητας/προσθετικό:

Οι δύο τύποι γκοφρέτες είναι τύπου n και τύπου p, ανάλογα με τα συστατικά του ντόπινγκ. Οι γκοφρέτες τύπου n είναι τυπικά ντοπαρισμένες με στοιχεία Ομάδας V για την επίτευξη αγωγιμότητας. Ο φώσφορος (P), το αρσενικό (As) και το αντιμόνιο (Sb) είναι κοινά στοιχεία ντόπινγκ. Οι γκοφρέτες τύπου Ρ είναι κυρίως ντοπαρισμένες με στοιχεία της Ομάδας III, τυπικά βόριο (Β). Το μη επιστρωμένο πυρίτιο ονομάζεται εγγενές πυρίτιο. Τα εσωτερικά του άτομα συνδέονται μεταξύ τους με ομοιοπολικούς δεσμούς για να σχηματίσουν μια στερεή δομή, καθιστώντας το ένα ηλεκτρικά σταθερό μονωτή. Ωστόσο, δεν υπάρχουν εγγενείς γκοφρέτες πυριτίου που να είναι εντελώς απαλλαγμένες από ακαθαρσίες στην πραγματική παραγωγή.

7. Αντίσταση:

Ο έλεγχος της ειδικής αντίστασης του πλακιδίου είναι απαραίτητος επειδή επηρεάζει άμεσα την απόδοση των συσκευών ημιαγωγών. Προκειμένου να τροποποιηθεί η ειδική αντίσταση των γκοφρετών, οι κατασκευαστές συνήθως τις ντοπάρουν. Οι υψηλότερες συγκεντρώσεις προσμίξεων έχουν ως αποτέλεσμα χαμηλότερη ειδική αντίσταση, ενώ οι χαμηλότερες συγκεντρώσεις προσμίξεων έχουν ως αποτέλεσμα υψηλότερη ειδική αντίσταση.

Συμπερασματικά, συνιστάται να διευκρινίσετε τις επακόλουθες συνθήκες διεργασίας και τους περιορισμούς του εξοπλισμού πριν επιλέξετε γκοφρέτες και στη συνέχεια να κάνετε την επιλογή σας με βάση τους παραπάνω δείκτες για να διασφαλίσετε τους διπλούς στόχους της συντόμευσης του κύκλου ανάπτυξης συσκευών ημιαγωγών και της βελτιστοποίησης του κόστους κατασκευής.