Σκάφος πλακιδίου πυριτίου

Πίσω από κάθε διαδικασία υψηλής θερμοκρασίας στην κατασκευή πλακιδίων βρίσκεται ένας σιωπηλός αλλά κρίσιμος παίκτης: το σκάφος του πλακιδίου. Ως φορέας πυρήνα που έρχεται σε επαφή άμεσα το δισκίο πυριτίου κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας δίσκων, το υλικό, η σταθερότητα και η καθαριότητα του σχετίζονται άμεσα με την τελική απόδοση των τσιπ και τη σταθερότητα της διαδικασίας. Μεταξύ διαφόρων υλικών μεταφορών,καρβίδιο πυριτίου (sic)Τα σκάφη αντικαθιστούν σταδιακά τις παραδοσιακές λύσεις χαλαζία, καθιστώντας την προτιμώμενη λύση για προηγμένες διαδικασίες και εξοπλισμό υψηλής τεχνολογίας.

Γιατί τα σκάφη Sic Wafer;

Με την πρόοδο των κόμβων διεργασιών κάτω από 7nm και την επέκταση των παραθύρων διεργασίας υψηλής θερμοκρασίας, τα παραδοσιακά σκάφη χαλαζία πλακιδίων αγωνίζονται ολοένα και περισσότερο όσον αφορά τη θερμική σταθερότητα, τον έλεγχο των σωματιδίων και τη διαχείριση της ζωής.

Ωστόσο, τα σκάφη πλακιδίων του πυριτίου, ωστόσο, κερδίζουν σταδιακά την προεξοχή λόγω των ακόλουθων πλεονεκτημάτων:

1. Σταθερό σε υψηλές θερμοκρασίες:

Προσφέρουν μακροπρόθεσμες θερμοκρασίες λειτουργίας 1350-1600 ° C, χειρίζοντας εύκολα τις επικρατούσες διεργασίες όπως η CVD, η διάχυση και η ανόπτηση. Ακόμη και η σύντομη έκθεση σε θερμοκρασίες 1800 ° C δεν δείχνει μαλάκυνση ή παραμόρφωση, καθιστώντας τους κατάλληλους για εξοπλισμό υψηλότερου βαθμού, όπως φούρνους καρβιδίου σιλικόνων με μονή κρυστάλλινη.

2. Επέκταση και σταθερότητα υψηλής θερμικής σοκ:

Με χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, μπορούν να αντέξουν τις ταχείες αυξήσεις και μειώσεις της θερμοκρασίας, ελαχιστοποιώντας τη δομική ρωγμή που προκαλείται από θερμική τάση. Διατηρούν εξαιρετική μορφολογία και απόδοση σε πολύπλοκες ατμόσφαιρες υψηλής θερμοκρασίας (όπως υδρογόνο, άζωτο, αμμωνία και φθορίδια).

3. Επιφάνεια και εξαιρετικά χαμηλή μόλυνση:

Υψηλή καθαρότητα υλικών με ελάχιστες μεταλλικές ακαθαρσίες. Χαμηλή τραχύτητα επιφάνειας, εμποδίζοντας τη δευτερογενή μόλυνση των δισκίων πυριτίου. Εξαιρετικός έλεγχος τραχύτητας επιφάνειας, με RA κάτω από 0,1 μm, καταστέλλει την απόρριψη σωματιδίων και πληροί τις απαιτήσεις καθαρού χώρου των προηγμένων διεργασιών.

4. Χύτευση ενός τεμαχίου, οι δομές σκάφους με ακρίβεια μπορεί να σχηματίζονται απευθείας μέσω μούχλα χωρίς μούχλα3D εκτύπωση, εξαλείφοντας την ανάγκη για καλούπια, βελτιώνοντας σημαντικά την αποτελεσματικότητα προσαρμογής. Σε συνδυασμό με την τεχνολογία μηχανικής κατεργασίας και κοπής πέντε αξόνων, τα δ

5. Υψηλή δύναμη και μεγάλη διάρκεια ζωής: 

Ένα μόνο σκάφος διαθέτει υψηλή αντοχή φορτίου και μπορεί να υποστηρίξει ταυτόχρονα δεκάδες σε εκατοντάδες από πλακίδια 12 ιντσών. Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά σκάφη χαλαζία, η μέση διάρκεια ζωής του σκάφους είναι 5-10 φορές μεγαλύτερη, μειώνοντας τη συχνότητα μετάβασης του εξοπλισμού και το συνολικό κόστος ιδιοκτησίας.

Σενάριο εφαρμογής

Την ευρεία προσαρμοστικότητα τουσκάφη πλακιδίων πυριτίουεπεκτείνει την εφαρμογή τους πέρα ​​από το πεδίο ημιαγωγών σε μια ποικιλία σεναρίων διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας, συμπεριλαμβανομένων νέων ενεργειακών υλικών, παραγωγής LED και έρευνας πυρηνικής ενέργειας.

Βιομηχανία ημιαγωγών

Είναι κατάλληλο για βασικές διαδικασίες όπως η οξείδωση, η διάχυση, η εναπόθεση CVD και η εμφύτευση ιόντων, καθιστώντας τον απαραίτητο φορέα υψηλής θερμοκρασίας για γραμμές διεργασίας υπο-7NM.

Φωτοβολταϊκή βιομηχανία

Στις αναδυόμενες τεχνολογίες μπαταριών όπως το TopCon και το HJT, τα σκάφη με πλακίδια χρησιμοποιούνται σε διαδικασίες φούρνου υψηλής θερμοκρασίας, όπως το LPCVD και η ανόπτηση, συμβάλλοντας στη βελτίωση της ενεργειακής απόδοσης και των ποσοστών μετατροπής.

Ημιαγωγοί τρίτης γενιάς

Για τις διεργασίες επιταξιακής ανάπτυξης GAN και SIC σε LED, υποστηρίζουν υποστρώματα ζαφείρι ή πυριτίου καρβιδίου. Αντέχουν τα διαβρωτικά αέρια όπως το NH₃ και το HCL, υποστηρίζοντας την κατασκευή συσκευών ισχύος υψηλής συχνότητας.

Νέα ενεργειακά υλικά και πλατφόρμα υψηλής θερμοκρασίας έρευνας

Υποστηρίζει την αντίδραση πυροσυσσωμάτωσης των υλικών καθόδου της μπαταρίας λιθίου και τη θερμική επεξεργασία των υλικών της πυρηνικής βιομηχανίας, συνδυάζοντας την αντοχή στη θερμότητα, την αντίσταση στη διάβρωση και την καθαριότητα.

Το Semicorex προσφέρει υψηλή καθαρότηταΠροσαρμοσμένα σκάφη Sic Sic. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε επιπλέον λεπτομέρειες, μην διστάσετε να έρθετε σε επαφή μαζί μας.

Επικοινωνήστε με το τηλέφωνο # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com