Κεραμικά εξαρτήματα ακριβείας στο ημιαγωγό

Κεραμικός ακριβείαςΤα μέρη αποτελούν βασικά συστατικά του πυρήνα εξοπλισμού σε βασικές διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, όπως η φωτολιθογραφία, η χάραξη, η εναπόθεση λεπτού φιλμ, η εμφύτευση ιόντων, η CMP κ.λπ.

Σε μηχανές λιθογραφίας υψηλού επιπέδου, προκειμένου να επιτευχθεί υψηλή ακρίβεια διεργασιών, είναι απαραίτητο να χρησιμοποιηθούν ευρέως κεραμικά συστατικά με καλή λειτουργική πολυπλοκότητα, δομική σταθερότητα, θερμική σταθερότητα και ακρίβεια διαστάσεων, όπωςηλεκτροστατικός τσοκ, Κενού, Μπλοκ, μαγνητικό χάλυβα σκελετό πλάκα ψύξης νερού, καθρέφτη, σιδηροτροχιά, τραπέζι εργασίας, τραπέζι μάσκας, κλπ.

1. Ηλεκτροστατικός τσοκ

Το ηλεκτροστατικό τσοκ είναι ένα ευρέως χρησιμοποιούμενο εργαλείο σύσφιξης και μεταφοράς πλακιδίων πυριτίου στην κατασκευή εξαρτημάτων ημιαγωγών. Χρησιμοποιείται ευρέως σε διαδικασίες ημιαγωγών πλάσματος και κενού όπως χάραξη, εναπόθεση χημικών ατμών και εμφύτευση ιόντων. Τα κύρια κεραμικά υλικά είναι τα κεραμικά αλουμίνας και τα κεραμικά νιτριδίου πυριτίου. Οι δυσκολίες παραγωγής είναι πολύπλοκο δομικό σχεδιασμό, επιλογή πρώτων υλών και πυροσυσσωμάτωση, έλεγχος θερμοκρασίας και τεχνολογία επεξεργασίας υψηλής ακρίβειας.

2. Κινητή πλατφόρμα

Ο σχεδιασμός του συστήματος υλικού της κινητής πλατφόρμας της μηχανής λιθογραφίας είναι το κλειδί για την υψηλή ακρίβεια και την υψηλή ταχύτητα της μηχανής λιθογραφίας. Προκειμένου να αντισταθεί αποτελεσματικά στην παραμόρφωση της κινητής πλατφόρμας λόγω κίνησης υψηλής ταχύτητας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας σάρωσης, το υλικό της πλατφόρμας θα πρέπει να περιλαμβάνει υλικά χαμηλής θερμικής επέκτασης με υψηλή ειδική ακαμψία, δηλαδή τέτοια υλικά θα πρέπει να έχουν υψηλό μέτρο και απαιτήσεις χαμηλής πυκνότητας. Επιπλέον, το υλικό χρειάζεται επίσης μια υψηλή ειδική ακαμψία, η οποία επιτρέπει σε ολόκληρη την πλατφόρμα να διατηρεί το ίδιο επίπεδο παραμόρφωσης ενώ αντέχει υψηλότερη επιτάχυνση και ταχύτητα. Με τη μετατροπή των μάσλων σε υψηλότερη ταχύτητα χωρίς να αυξάνεται η παραμόρφωση, η απόδοση αυξάνεται και η απόδοση της εργασίας βελτιώνεται ενώ εξασφαλίζει υψηλή ακρίβεια.

Προκειμένου να μεταφερθεί το διάγραμμα κυκλώματος τσιπ από τη μάσκα στο δίσκο για να επιτευχθεί η προκαθορισμένη λειτουργία τσιπ, η διαδικασία χάραξης αποτελεί σημαντικό μέρος. Τα εξαρτήματα που κατασκευάζονται από κεραμικά υλικά στον εξοπλισμό χάραξης περιλαμβάνουν κυρίως το θάλαμο, τον καθρέφτη παραθύρου, την πλάκα διασποράς αερίου, το ακροφύσιο, τον δακτύλιο μόνωσης, την πλάκα κάλυψης, τον δακτύλιο εστίασης και τον ηλεκτροστατικό τσοκ.

3 θάλαμος

Καθώς το ελάχιστο μέγεθος χαρακτηριστικών των συσκευών ημιαγωγών συνεχίζει να συρρικνώνεται, οι απαιτήσεις για ελαττώματα πλακιδίων έχουν γίνει πιο αυστηρές. Προκειμένου να αποφευχθεί η μόλυνση από μεταλλικές ακαθαρσίες και σωματίδια, έχουν υποβληθεί αυστηρότερες απαιτήσεις για τα υλικά των κοιλοτήτων και των συστατικών εξοπλισμού ημιαγωγών στις κοιλότητες. Επί του παρόντος, τα κεραμικά υλικά έχουν γίνει τα κύρια υλικά για τις κοιλότητες της μηχανής χάραξης.

Απαιτήσεις υλικού (1) περιεκτικότητα σε υψηλή καθαρότητα και χαμηλή μέταλλα. (2) σταθερές χημικές ιδιότητες των κύριων συστατικών, ιδιαίτερα χαμηλό ρυθμό χημικής αντίδρασης με διαβρωτικά αέρια αλογόνου. (3) υψηλή πυκνότητα και λίγοι ανοιχτοί πόροι. (4) μικροί κόκκοι και περιεχόμενο χαμηλής οριακής φάσης. (5) εξαιρετικές μηχανικές ιδιότητες και εύκολη παραγωγή και επεξεργασία · (6) Ορισμένα εξαρτήματα ενδέχεται να έχουν άλλες απαιτήσεις απόδοσης, όπως καλές διηλεκτρικές ιδιότητες, ηλεκτρική αγωγιμότητα ή θερμική αγωγιμότητα.

4. Κεφαλή ντους

Η επιφάνεια του διανέμεται πυκνά με εκατοντάδες ή χιλιάδες μικροσκοπικές τρύπες, όπως ένα ακριβώς υφαντό νευρωνικό δίκτυο, το οποίο μπορεί να ελέγξει με ακρίβεια τη ροή του αερίου και τη γωνία έγχυσης για να εξασφαλίσει ότι κάθε ίντσα της επεξεργασίας των δισκίων είναι ομοιόμορφα "λουσμένο" σε αέριο επεξεργασίας, βελτιώνοντας την αποτελεσματικότητα της παραγωγής και την ποιότητα του προϊόντος.

Τεχνικές δυσκολίες Εκτός από τις εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις για την καθαριότητα και την αντίσταση στη διάβρωση, η πλάκα διανομής αερίου έχει αυστηρές απαιτήσεις σχετικά με τη συνοχή του ανοίγματος των μικρών οπών στην πλάκα διανομής αερίου και των burrs στο εσωτερικό τοίχωμα των μικρών οπών. Εάν η τυπική απόκλιση μεγέθους μεγέθους ανοίγματος και η τυπική απόκλιση είναι πολύ μεγάλες ή υπάρχουν burr σε οποιοδήποτε εσωτερικό τοίχωμα, το πάχος του εναποτιθέμενου στρώματος φιλμ θα είναι διαφορετικό, γεγονός που θα επηρεάσει άμεσα την απόδοση της διαδικασίας εξοπλισμού.

5. Δακτύλιος εστίασης

Η λειτουργία του δακτυλίου εστίασης είναι η παροχή ισορροπημένου πλάσματος, το οποίο απαιτεί παρόμοια αγωγιμότητα με το δίσκο πυριτίου. Στο παρελθόν, το χρησιμοποιούμενο υλικό ήταν κυρίως αγώγιμο πυρίτιο, αλλά το πλάσμα που περιέχει φθορίου θα αντιδράσει με πυρίτιο για να παράγει πτητικό φθόριο πυριτίου, γεγονός που μειώνει σημαντικά τη διάρκεια ζωής του, με αποτέλεσμα τη συχνή αντικατάσταση των συστατικών και τη μειωμένη απόδοση παραγωγής. Το SIC έχει παρόμοια αγωγιμότητα με το SI ενός κρυστάλλου και έχει καλύτερη αντίσταση στη χάραξη στο πλάσμα, έτσι ώστε να μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως υλικό για εστίαση δακτυλίων.

Το Semicorex προσφέρει υψηλής ποιότηταςκεραμικά μέρηστη βιομηχανία ημιαγωγών. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε επιπλέον λεπτομέρειες, μην διστάσετε να έρθετε σε επαφή μαζί μας.

Επικοινωνήστε με το τηλέφωνο # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com