Semiconductor ντους

Οπινακίδα διανομής αερίου, συχνά αναφέρεται ως "ντους", μπορεί να μοιάζει με ένα συμβατικό ντους, αλλά η τιμή του μπορεί να φτάσει στις εκατοντάδες χιλιάδες, σημαντικά υψηλότερη από ένα τυπικό ντους μπάνιου.

Η επιφάνεια της πλάκας διανομής αερίου διαθέτει εκατοντάδες ή ακόμα και χιλιάδες μικροσκοπικές, ακριβώς διατεταγμένες τρύπες, που μοιάζουν με ένα λεπτό υφαντικό νευρωνικό δίκτυο. Αυτός ο σχεδιασμός επιτρέπει τον ακριβή έλεγχο της ροής αερίου και των γωνιών έγχυσης, εξασφαλίζοντας ότι κάθε μέρος της περιοχής επεξεργασίας των δισκίων είναι ομοιόμορφα "λουσμένο" σε αέριο επεξεργασίας. Αυτό όχι μόνο ενισχύει την αποτελεσματικότητα της παραγωγής αλλά και βελτιώνει την ποιότητα του προϊόντος.

Η πλάκα διανομής αερίου είναι αναπόσπαστο μέρος των βασικών διεργασιών όπως ο καθαρισμός, η χάραξη και η εναπόθεση. Επηρεάζει άμεσα την ακρίβεια των διεργασιών ημιαγωγών και την ποιότητα των τελικών προϊόντων, καθιστώντας το κρίσιμο στοιχείο σε διάφορες εφαρμογές διανομής αερίου.

Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας αντίδρασης πλακιδίων, η επιφάνεια τουκεφαλήκαλύπτεται πυκνά με μικροπόρους (διάφραγμα 0,2-6 mm). Μέσω της δομής του καναλιού και της διαδρομής του αερίου, το ειδικό αέριο πρέπει να περάσει από χιλιάδες μικρές οπές στην ομοιόμορφη πλάκα αερίου και στη συνέχεια να εναποτίθεται ομοιόμορφα στην επιφάνεια του δίσκου. Το στρώμα φιλμ σε διαφορετικές περιοχές του δισκίου πρέπει να εξασφαλίσει υψηλή ομοιομορφία και συνέπεια. Ως εκ τούτου, εκτός από τις εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις για την καθαριότητα και την αντίσταση στη διάβρωση, η πλάκα διανομής αερίου έχει αυστηρές απαιτήσεις σχετικά με τη συνοχή του ανοίγματος των μικρών οπών στην πλάκα διανομής αερίου και των burrs στο εσωτερικό τοίχωμα των μικρών οπών. Εάν η τυπική απόκλιση μεγέθους μεγέθους ανοίγματος και η τυπική απόκλιση είναι πολύ μεγάλες ή υπάρχουν burr σε οποιοδήποτε εσωτερικό τοίχωμα, το πάχος του εναποτιθέμενου στρώματος φιλμ θα είναι διαφορετικό, γεγονός που θα επηρεάσει άμεσα την απόδοση της διαδικασίας του εξοπλισμού.

Το υλικό της πλάκας διανομής αερίου είναι μερικές φορές εύθραυστο υλικό (όπως πυρίτιο ενός κρυστάλλου, γυαλί χαλαζία, κεραμικά), το οποίο είναι εύκολο να σπάσει κάτω από τη δράση της εξωτερικής δύναμης. Είναι επίσης μια εξαιρετικά βαθιά τρύπα εντός 50 φορές της διαμέτρου του μικροπόρου και η κατάσταση κοπής δεν μπορεί να παρατηρηθεί άμεσα. Επιπλέον, η θερμότητα κοπής δεν είναι εύκολο να μεταδοθεί και η απομάκρυνση των τσιπ είναι δύσκολη και το τρυπάνι είναι εύκολα σπασμένο λόγω της απόφραξης των τσιπ. Ως εκ τούτου, η επεξεργασία και η προετοιμασία του είναι πολύ δύσκολη.

Επιπλέον, σε διεργασίες με τη βοήθεια στο πλάσμα (όπως το PECVD και το ξηρό χάραξη), η κεφαλή ντους, ως μέρος του ηλεκτροδίου, πρέπει επίσης να δημιουργήσει ένα ομοιόμορφο ηλεκτρικό πεδίο μέσω μιας τροφοδοσίας RF για την προώθηση της ομοιόμορφης κατανομής του πλάσματος, βελτιώνοντας έτσι την ομοιομορφία της χάραξης ή της εναπόθεσης.

Δεδομένου ότι τα αέρια που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών μπορεί να είναι υψηλή θερμοκρασία, υψηλή πίεση ή διαβρωτική, το ντους είναι συνήθως κατασκευασμένο από ανθεκτικά στη διάβρωση υλικά. Στην πραγματική παραγωγή, λόγω διαφορετικών σεναρίων χρήσης και πραγματικής απαιτούμενης ακρίβειας, η πλάκα διανομής αερίου μπορεί να χωριστεί στις ακόλουθες δύο κατηγορίες σύμφωνα με τη σύνθεση υλικού της:

(1) Πλάκα διανομής μεταλλικού αερίου

Τα υλικά των πλακών κατανομής του μεταλλικού αερίου περιλαμβάνουν κράμα αλουμινίου, ανοξείδωτο χάλυβα και μετάλλο νικελίου, μεταξύ των οποίων το πιο ευρέως χρησιμοποιούμενο υλικό πλάκας διανομής μεταλλικού αερίου είναι κράμα αλουμινίου, επειδή έχει καλή θερμική αγωγιμότητα και ισχυρή αντοχή στη διάβρωση. Είναι ευρέως διαθέσιμο και εύκολο στη διαδικασία.

(2) μη μεταλλική πλάκα διανομής αερίου

Τα υλικά των μη μεταλλικών πλακών κατανομής αερίου περιλαμβάνουν ένα πυρίτιο ενός κρυστάλλου, γυαλί χαλαζία και κεραμικά υλικά. Μεταξύ αυτών, τα συνήθως χρησιμοποιούμενα κεραμικά υλικά είναι CVD-SIC, κεραμικά αλουμίνας, κεραμικά νιτριδίου πυριτίου κ.λπ.

Το Semicorex προσφέρει υψηλής ποιότηταςΝτους CVD SICστη βιομηχανία ημιαγωγών. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε επιπλέον λεπτομέρειες, μην διστάσετε να έρθετε σε επαφή μαζί μας.

Επικοινωνήστε με το τηλέφωνο # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com