Εσωτερικός οδηγός σωλήνας

Το Semicorex Inner Guide Tube είναι κατασκευασμένο με ακρίβειασυστατικό άνθρακα/άνθρακα (C/C).σχεδιασμένο για προηγμένες εφαρμογές θερμικών πεδίων υψηλής θερμοκρασίας, ιδιαίτερα στην ανάπτυξη κρυστάλλων πυριτίου υψηλής καθαρότητας. Ως κρίσιμο στοιχείο στους κλιβάνους ανάπτυξης κρυστάλλων, αυτό το συστατικό παίζει κεντρικό ρόλο στη διαμόρφωση και σταθεροποίηση της θερμικής κλίσης, εξασφαλίζοντας βέλτιστο σχηματισμό κρυστάλλων και σταθερή ποιότητα υλικού.

Κατασκευασμένο από σύνθετο υλικό άνθρακα ενισχυμένο με ίνες άνθρακα υψηλής πυκνότητας, το Inner Guide Tube προσφέρει εξαιρετική δομική ακεραιότητα και θερμική σταθερότητα κάτω από ακραίες συνθήκες. Με πυκνότητα ≥1,35 g/cm³ και αντοχή σε κάμψη ≥110 MPa, διατηρεί μηχανική στιβαρότητα ακόμη και κατά την παρατεταμένη έκθεση σε υψηλές θερμοκρασίες. Αυτές οι ιδιότητες είναι απαραίτητες για την παραγωγή πυριτίου ημιαγωγού, όπου ακόμη και μικρές διακυμάνσεις στις θερμικές συνθήκες μπορούν να επηρεάσουν σημαντικά την ομοιομορφία των κρυστάλλων και τους ρυθμούς ελαττωμάτων.

Βασική Λειτουργικότητα: Έλεγχος κλίσης ακριβείας

Ο πρωταρχικός ρόλος του C/C Inner Guide Tube είναι να κατασκευάζει ένα ακριβές πεδίο θερμοκρασίας κλίσης. Κατά τη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων πυριτίου, τοποθετείται ακριβώς πάνω από το τήγμα για:

Άμεση ροή αερίου: Καθοδηγεί τη ροή του αδρανούς αερίου αργού, διασφαλίζοντας ότι οι ατμοί του οξειδίου του πυριτίου (SiO) παρασύρονται αποτελεσματικά από την επιφάνεια του τήγματος, αποτρέποντας τη μόλυνση με οξυγόνο στον κρύσταλλο.

Θερμική θωράκιση: Προστατεύει τον αναπτυσσόμενο κρύσταλλο από την άμεση ακτινοβολία θερμότητας από τα τοιχώματα του χωνευτηρίου, καθιερώνοντας την απότομη αξονική κλίση θερμοκρασίας που είναι απαραίτητη για υψηλής ταχύτητας, υψηλής ποιότητας τράβηγμα κρυστάλλων.

Ενεργειακή απόδοση: Με τη συγκέντρωση της θερμότητας στη ζώνη τήξης και τη μόνωση των άνω εξαρτημάτων του κλιβάνου, μειώνει σημαντικά τη συνολική κατανάλωση ενέργειας.

Τεχνικές Προδιαγραφές & Υλική Αριστεία

Οι σωλήνες εσωτερικού οδηγού μας κατασκευάζονται με χρήση υψηλής πυκνότηταςΣύνθετα άνθρακα/άνθρακα, παρέχοντας μια ανώτερη εναλλακτική στον παραδοσιακό γραφίτη. Οι ιδιότητες του υλικού είναι βελτιστοποιημένες για τις ακραίες συνθήκες των κλιβάνων κενού ημιαγωγών:

Πυκνότητα: ≥ 1,35 g/cm³

Αντοχή κάμψης: ≥ 110 MPa

Συντελεστής θερμικής διαστολής (CTE): ≤ 1,0 × 10-6 /K

Θερμική αγωγιμότητα (Θερμοκρασία δωματίου): ≤ 10 W/(m·K)

Βιομηχανία

Καθώς η βιομηχανία κινείται προς μεγαλύτερα μεγέθη πλακιδίων (300mm και 450mm), οι απαιτήσεις στο θερμικό πεδίο αυξάνονται εκθετικά. Οι σωλήνες εσωτερικού οδηγού μας είναι συμβατοί με μεγάλες μάρκες κλιβάνων CZ και μπορούν να προσαρμοστούν όσον αφορά τη γεωμετρία και την επίστρωση.