Οριζόντια σκάφη γκοφρέτας χαλαζία

Οριζόντιες βάρκες με γκοφρέτα χαλαζίασυνήθως κρατάτε γκοφρέτες ημιαγωγών οριζόντια μέσα στους σωλήνες κλιβάνου του εξοπλισμού θερμικής επεξεργασίας, που θερμαίνονται από εξωτερικές συσκευές θέρμανσης. Χρησιμοποιούνται ευρέως σε απαιτητικές διαδικασίες θερμικής επεξεργασίας διαβρωτικών ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, όπως θερμική οξείδωση, διάχυση σε υψηλή θερμοκρασία, ανόπτηση και εναπόθεση χημικών ατμών (CVD).

Οι λειτουργίες των οριζόντιων σκαφών γκοφρέτας χαλαζία Semicorex

1.Σταθερό κράτημα και ασφάλιση

Τα οριζόντια σκάφη γκοφρέτας χαλαζία Semicorex έχουν εξαιρετική φέρουσα ικανότητα και μπορούν να προσφέρουν συνεχώς σταθερή υποστήριξη για πολλαπλές γκοφρέτες ημιαγωγών. Και ο βελτιστοποιημένος εξωτερικός σχεδιασμός τους και η ακριβής δομή υποδοχής εξασφαλίζουν το καθέναόστιαΕφαρμόζεται τέλεια και στερεώνεται σταθερά στις οριζόντιες βάρκες γκοφρέτας χαλαζία, γεγονός που μειώνει σημαντικά τις γρατσουνιές και τις συγκρούσεις της γκοφρέτας που προκαλούνται από το τίναγμα, τη μετατόπιση και την κλίση κατά τη διάρκεια των διαδικασιών μεταφοράς και κατασκευής.

2.Βοήθεια ομοιομορφίας διαδικασίας

Η δομή υποδοχής ίσης απόστασης των οριζόντιων σκαφών γκοφρέτας χαλαζία επιτρέπει την ομαλή τοποθέτηση πλακών ημιαγωγών, δημιουργώντας έτσι ένα σταθερό και ομαλό πεδίο ροής αερίου στους κλιβάνους υψηλής θερμοκρασίας. Ο δομικός σχεδιασμός επιτυγχάνει σταθερή επαφή αερίου και ταχύτητα αντίδρασης σε κάθε επιφάνεια πλακιδίων, μειώνοντας έτσι αποτελεσματικά διάφορα ελαττώματα που προκαλούνται από την ανομοιόμορφη θέρμανση και τη διαφορική επαφή αερίου, όπως η ατελής οξείδωση του πλακιδίου, η ανομοιόμορφη εναπόθεση λεπτής μεμβράνης και η απόκλιση συγκέντρωσης ντόπινγκ.

3.Μεγάλη διάρκεια ζωής

Χάρη στην ανώτερη αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία του υλικού χαλαζία, τα οριζόντια σκάφη γκοφρέτας χαλαζία Semicorex μπορούν να αντέξουν σε υψηλές θερμοκρασίες 1100-1200℃ για μεγάλο χρονικό διάστημα χωρίς παραμόρφωση ή τήξη.Χαλαζίαςείναι χημικά αδρανές σε αέρια που χρησιμοποιούνται συνήθως σε διεργασίες ημιαγωγών, όπως το οξυγόνο, το άζωτο και το υδροχλώριο. Αυτή η εξαιρετική χημική αδράνεια μπορεί να ελαχιστοποιήσει τον κίνδυνο διάβρωσης από αέρια διεργασίας, παρατείνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής και μειώνοντας τον χρόνο και το κόστος αντικατάστασης του εξοπλισμού.