Ηλεκτρόδιο Γραφίτη

Το Semicorex Graphite Electrode είναι ένα υψηλής καθαρότητας, κατασκευασμένο εξάρτημα γραφίτη ακριβείας για χρήση σε θερμικές εφαρμογές ημιαγωγών, όπου η ηλεκτρική αγωγιμότητα, η θερμική σταθερότητα και η ακρίβεια διαστάσεων είναι πρωταρχικής σημασίας. Στην πραγματικότητα, αυτοί οι τύποι ηλεκτροδίων χρησιμοποιούνται σε κλιβάνους υψηλής θερμοκρασίας, αντιδραστήρες επιταξίας και θαλάμους θερμικής επεξεργασίας, διευκολύνοντας τη σταθερή αγωγιμότητα του ρεύματος, τη μεταφορά θερμότητας και τη σταθερότητα υπό επιθετικές συνθήκες θερμοκρασίας και ατμόσφαιρας. Λόγω της εξαιρετικής καθαρότητας, της ομοιομορφίας της στερεάς δομής και των υψηλών μηχανικών ιδιοτήτων των ηλεκτροδίων γραφίτη Semicorex, μπορούν να παρέχουν αξιόπιστη θερμική απόδοση ως θερμαντικά στοιχεία σε απαιτητικές εφαρμογές ημιαγωγών

Το ηλεκτροδιακό γραφίτη κατασκευάζεται από υψηλής ποιότητας λεπτόκοκκο υλικό γραφίτη, το καθένα κατασκευασμένο χρησιμοποιώντας μια προηγμένη ακολουθία εξώθησης, ενανθράκωσης σε υψηλή θερμοκρασία και γραφιτοποίησης. Η μικροδομή γραφίτη έχει σχεδιαστεί για περίπου σταθερή ηλεκτρική αντίσταση, υψηλή θερμική αγωγιμότητα και μηχανική σταθερότητα. Το τελικό προϊόν είναι ένας θερμικός αγωγός υψηλής καθαρότητας που διατηρεί φυσική κατάσταση και ομοιόμορφη κατανομή του ρεύματος σε περιβάλλοντα υψηλής ισχύος καθώς και γρήγορες διακυμάνσεις θερμοκρασίας.

Εξαιρετική απόδοση στο δικό μαςγραφίτης

Ο γραφίτης μας εγγυάται ανώτερη ομοιομορφία απόδοσης. Πρώτον, κατά τη διαδικασία της ενανθράκωσης, οι φούρνοι μας έχουν μόνο 115 κυβικά μέτρα. Η τεχνική μας ομάδα παρακολουθεί το πεδίο θερμοκρασίας των προϊόντων γραφίτη σε διαφορετικές περιοχές κάθε κλιβάνου. Στο αρχικό στάδιο χαμηλής θερμοκρασίας (0-200°C), ελέγχουμε τη θερμοκρασία εντός ±10°C και σε υψηλές θερμοκρασίες (πάνω από 600°C), εντός ±1°C. Δεν παρακολουθούμε μόνο το πεδίο θερμοκρασίας μεταξύ διαφορετικών σωματιδίων γραφίτη, αλλά και την επιφάνεια και την εσωτερική θερμοκρασία κάθε μεμονωμένου κομματιού γραφίτη, ελέγχοντάς το εντός ±3°C. Παρακολουθούμε 8 σημεία θερμοκρασίας σε κάθε φούρνο ενανθράκωσης.

Δεύτερον, κατά τη διαδικασία γραφιτοποίησης, λαμβάνοντας ως παράδειγμα μια παρτίδα 500 kg, παρακολουθούμε επίσης 8 σημεία θερμοκρασίας. Μετά τη γραφιτοποίηση, λαμβάνουμε τυχαία δειγματοληψία και δοκιμάζουμε καταστροφικά 24 σημεία κατά μήκος των αξόνων X, Y και Z για να διασφαλίσουμε την ομοιομορφία. Οι περισσότερες εταιρείες του κλάδου δοκιμάζουν μόνο τον άξονα X ή το πολύ τον άξονα XY, με τους τυπικούς κατασκευαστές να δοκιμάζουν μόνο 6-8 σημεία και με τις καλύτερες δοκιμάζουν 12 σημεία. Δοκιμάζουμε 24 βαθμούς.

Στο θερμικό πεδίο ημιαγωγών, το ηλεκτρόδιο γραφίτη είναι ένα κρίσιμο μέρος του συγκροτήματος θέρμανσης, κατευθύνοντας ηλεκτρικό ρεύμα στη ζώνη θέρμανσης και επιτρέποντας την ελεγχόμενη κατανομή της θερμοκρασίας σε μια συγκεκριμένη διαδικασία, όπως οξείδωση, διάχυση, LPCVD ή επιταξία. Το ηλεκτρόδιο γραφίτη πρέπει να έχει αξιόπιστο λειτουργικό ρόλο σε θερμοκρασίες άνω των 2000°C και να το κάνει ενώ ανθίσταται στην οξείδωση, τη στρέβλωση ή τη μόλυνση της θέσης θέρμανσης.

Τα ηλεκτρόδια γραφίτη Semicorex έχουν εξαιρετική ηλεκτρική αγωγιμότητα, η οποία διευκολύνει την αποτελεσματική παροχή ισχύος με ελάχιστες απώλειες και διαθέτουν εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, επιτρέποντας γρήγορη ομοιόμορφη μεταφορά θερμότητας στον κλίβανο. Ο συνδυασμός χαμηλής θερμικής διαστολής και υψηλής μηχανικής αντοχής μειώνει την παραμόρφωση και το ράγισμα κατά τη διάρκεια του θερμικού κύκλου, αποδίδοντας σταθερή συμπεριφορά για μεγάλες διάρκειες ζωής. Κάθε ηλεκτρόδιο είναι κατεργασμένο με αυστηρές ανοχές διαστάσεων και λεπτό φινίρισμα επιφάνειας για να εξασφαλίζεται σταθερή επαφή και αμελητέα ηλεκτρική αντίσταση στην επιφάνεια επαφής.

Έχοντας υπόψη τις ειδικές απαιτήσεις των διεργασιών ημιαγωγών, η Semicorex μπορεί να κατασκευάσει προσαρμοσμένα σχέδια ηλεκτροδίων για να ταιριάζουν σε οποιαδήποτε διαμόρφωση κλιβάνου και προδιαγραφές ισχύος. Μπορούν να διατεθούν διαφορετικές διαμέτρους, μήκη, τύποι συνδέσεων ή φινιρίσματα επιφανειών. Όταν είναι απαραίτητο, υλικά επικάλυψης, όπως SiC ή πυρολυτικό άνθρακα, μπορούν να εφαρμοστούν για να υποστηρίξουν την αντίσταση στην οξείδωση και τη διάρκεια ζωής σε περιβάλλοντα υψηλής περιεκτικότητας σε οξυγόνο ή αντιδρώντων αερίων.

Η υψηλή καθαρότητα τουυλικό γραφίτηχρησιμεύει για τη διασφάλιση απίστευτα χαμηλών επιπέδων μεταλλικών ακαθαρσιών (και αέριων ακαθαρσιών), συχνά περισσότερο από 99,999% άνθρακα. Τέτοια χαμηλά επίπεδα ακαθαρσιών βοηθούν στην αποφυγή μόλυνσης των γκοφρετών ημιαγωγών κατά τη θερμική επεξεργασία. Σε συνδυασμό με το σημαντικό βάθος κατεργασίας και το γυαλισμένο φινίρισμα της επιφάνειας, τα ηλεκτρόδια γραφίτη Semicorex πληρούν τόσο τη μηχανική όσο και τη χημική σταθερότητα των τεχνολογιών κατασκευής πλακιδίων αιχμής.

Είτε χρησιμοποιείται σε φούρνους διάχυσης, επιταξιακούς αντιδραστήρες ή εξοπλισμό επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας, το ηλεκτρόδιο γραφίτη Semicorex παρέχει απαράμιλλη απόδοση στα πιο απαιτητικά θερμικά περιβάλλοντα. Συνδυάζοντας υψηλή καθαρότητα, ακριβή γεωμετρία και προηγμένη επεξεργασία υλικών, η Semicorex παρέχει μια λύση ηλεκτροδίων που εξασφαλίζει σταθερή αγωγιμότητα ρεύματος, σταθερή θέρμανση και μακροπρόθεσμη αξιοπιστία λειτουργίας, απαραίτητη για την κατασκευή ημιαγωγών επόμενης γενιάς.