Γραφίτη

Τα Semicorex Graphite Crucibles είναι κρίσιμα συστατικά στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, ιδιαίτερα κατά τη διάρκεια του σταδίου ανάπτυξης κρυστάλλων. Αυτά τα δοχεία υψηλής απόδοσης είναι κατασκευασμένα ώστε να αντέχουν στις ακραίες συνθήκες που απαιτούνται για την παραγωγή πυριτίου υψηλής καθαρότητας ή κρυστάλλων ημιαγωγών μέσω μεθόδων όπως η διαδικασία Czochralski (CZ) ή η τεχνική Float Zone (FZ).

Μια σημαντική συνάρτηση των χωνευτηρίων γραφίτη είναι να αντέχουν και να υποστηρίζουν εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες, συνήθως πάνω από 2000 ° C, όπου συχνά συντίθενται υλικά ημιαγωγού τρίτης γενιάς όπως καρβίδιο πυριτίου και νιτρίδιο του γαλλίου. Τα χωνευτήρια που κατασκευάζονται από γραφίτη υψηλής καθαρότητας παρουσιάζουν εξαιρετική αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες που διατηρούν τις φυσικές και χημικές καταστάσεις τους σε τέτοια ακραία επίπεδα χωρίς καμία μορφή αποσύνθεσης ή ακόμη και μεταμόρφωσης. Η καλή θερμική αγωγιμότητα από τους γραφίτη Cruces σημαίνει ότι όχι μόνο θα διεξάγουν θερμότητα ομοιόμορφα αλλά και θα δημιουργήσουν ένα σταθερό πεδίο θερμοκρασίας. Αυτό τίθεται σε ισχύ κατά τη διάρκεια των διεργασιών τήξης και κρυστάλλωσης, καθώς η ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας θα επιτρέψει το υλικό ανάπτυξης κάτω από περισσότερο ή λιγότερο ισοδύναμες συνθήκες, μειώνοντας έτσι τα κρυσταλλικά ελαττώματα και επιτρέποντας τους κρυστάλλους ημιαγωγού ποιότητας.

Σε διεργασίες ανάπτυξης κρυστάλλων νιτριδίου ή γάλλου (όπως η επιταξία φάσης ατμών ή η φυσική μεταφορά ατμών PVT) χρησιμοποιούνται, οι γραφίτες που χρησιμοποιούνται για τη συγκράτηση των πρώτων υλών και την παροχή ελεγχόμενου περιβάλλοντος ανάπτυξης. Η χημική αδράνεια του Crucible εξασφαλίζει ότι δεν αντιδρά χημικά με το υλικό ημιαγωγού σε υψηλές θερμοκρασίες, διατηρώντας έτσι την υψηλή καθαρότητα του υλικού. Ταυτόχρονα, η καλή θερμική αγωγιμότητα του γραφίτη Crucible βοηθά στη δημιουργία μιας ομοιόμορφης κλίσης θερμοκρασίας, παρέχοντας ιδανικές συνθήκες για την ανάπτυξη των κρυστάλλων και τη μείωση των ακαθαρσιών και των διαρθρωτικών ελαττωμάτων.

Η χημική αδράνεια του γραφίτη είναι ένα βασικό χαρακτηριστικό στον καθαρισμό των υλικών ημιαγωγών. Το υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας μπορεί να απομονώσει την εξωτερική ρύπανση και να αποτρέψει την είσοδο των ακαθαρσιών στο υλικό τετηγμένου ημιαγωγού. Η επιφάνεια του χωνευτηρίου γραφίτη μπορεί επίσης να επικαλυφθεί (όπως επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου) για να ενισχύσει την αντοχή της οξείδωσης και την αντοχή στη διάβρωση, εξασφαλίζοντας περαιτέρω την υψηλή καθαρότητα και την υψηλή σταθερότητα της παραγωγικής διαδικασίας.