Γυαλώδης επίστρωση άνθρακα αισθητή

Η ημι -υαλώδη επικάλυψη άνθρακα αισθάνεται ως ένα εσωτερικό στρώμα μόνωσης σε επιταξιακούς αντιδραστήρες καρβιδίου πυριτίου. Πρόκειται για ένα υλικό μόνωσης υψηλής απόδοσης που έχει σχεδιαστεί για προχωρημένα θερμικά περιβάλλοντα. Αυτό το προϊόν ξεπερνά τις τυπικές προκλήσεις παραγωγής υψηλής θερμοκρασίας ημιαγωγών, προσφέροντας ανώτερες λύσεις λόγω των ελαφρών και εξαιρετικών θερμομονωτικών ιδιοτήτων τουΓραφίτη, σε συνδυασμό με την ακεραιότητα της επιφάνειας και τη χημική αδράνεια που μεταδίδεται από μια υαλώδη επικάλυψη άνθρακα.

Το βασικό υλικό είναι υψηλή καθαρότηταΓραφίτηΕπιλέξτε για τη σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας χαμηλής θερμικής αγωγιμότητας και ελαφρύ βάρος. Ο κανονικός γραφίτης που αισθάνεται συνήθως έχει επιφανειακή απόρριψη ινών και παραγωγή σωματιδίων σε αυξημένες θερμοκρασίες που μπορούν να μολύνουν το περιβάλλον διεργασίας σε ευαίσθητα επιταξιακά συστήματα. Για να μετριαστεί αυτό το ζήτημα, η επιφάνεια του γραφίτη αισθητή είναι ομοιόμορφα επικαλυμμένη με ένα στρώμα από υαλώδη άνθρακα-μια πυκνή, μη πορώδη μορφή άνθρακα που είναι γνωστή για τη χημική του αδράνεια, τη χαμηλή διαπερατότητα αερίου και την εξαιρετική θερμική σταθερότητα.

Ο υαλώδης άνθρακας είναι ένας μη γραφιμενικός άνθρακας που συνδυάζει τις ιδιότητες του γυαλιού και της κεραμικής. Σε αντίθεση με τον κρυσταλλικό γραφίτη, είναι ένα άμορφο, σχεδόν 100% υβριδοποιημένο υλικό άνθρακα, το οποίο σχηματίζεται με πυροσυσσωμάτωση υψηλής θερμοκρασίας πολυμερισμένων οργανικών προδρόμων, όπως φαινολική ρητίνη, ρητίνη φουρφουυλικής αλκοόλ κ.λπ. Επειδή είναι μαύρο σε όλη τη διάρκεια και έχει μια ομαλή επιφάνεια παρόμοια με το γυαλί, ονομάζεται Glassy Carbon.

Η υαλώδη επικάλυψη άνθρακα μπορεί να εξαλείψει τη δημιουργία σωματιδίων του κλιβάνου, να παρέχει σφραγισμένους επιφανειακούς πόρους, να έχει εξαιρετικές ιδιότητες αποσύνθεσης και να μειώνει τη διαπερατότητα, καθιστώντας αυτό το υλικό πολύ κατάλληλο για συνεχείς καλούπια και προϊόντα στη βιομηχανία ημιαγωγών. Αυτό το υλικό έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών στη βιομηχανία ημιαγωγών, ειδικά σε εξαρτήματα γραφίτη, όπως τα εξαρτήματα εξοπλισμού τραβών πυριτίου ενός κρυστάλλου, τα συστατικά της επιταξιακής ανάπτυξης, τα συνεχόμενα καλούπια χύτευσης, τα jigs από γυαλί κλπ.

Ο υαλώδης άνθρακας έχει υψηλή αντοχή στη θερμοκρασία μέχρι 3000 ° C σε αδρανές αέριο ή κενό και σε αντίθεση με όλα τα άλλα κεραμικά και μεταλλικά υλικά υψηλής θερμοκρασίας, η αντοχή του υαλώδους άνθρακα αυξάνεται με την αύξηση της θερμοκρασίας μέχρι τα 2700k και δεν γίνεται εύθραυστη και έχει εξαιρετικά υψηλή θερμική αντοχή, επομένως οι σύντομοι χρόνοι θέρμανσης και ψύξης δεν αποτελούν πρόβλημα. Επιπλέον, ο υαλώδης άνθρακας έχει χαμηλή μάζα, χαμηλή απορρόφηση θερμότητας και χαμηλή θερμική διαστολή, επομένως είναι κατάλληλη για όλες σχεδόν τις εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας.

Η υαλώδη επικάλυψη άνθρακα διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο στη σφράγιση των επιφανειακών πόρων του γραφίτη που αισθάνεται, μειώνοντας σημαντικά την απελευθέρωση σωματιδίων και σκόνης άνθρακα κατά τη διάρκεια της λειτουργίας. Αυτό είναι ιδιαίτερα κρίσιμο στις διαδικασίες επιταξιακής ανάπτυξης SIC, όπου ακόμη και η ελάχιστη μόλυνση μπορεί να θέσει σε κίνδυνο την ποιότητα και την απόδοση των συσκευών. Με την ενθυλάκωση της πορώδους δομής του αισθητήρα με ένα ομαλό, σκληρό γυαλιστερό κέλυφος άνθρακα, η επικάλυψη εξασφαλίζει ένα καθαρό και σταθερό θερμικό περιβάλλον μέσα στον θάλαμο αντίδρασης.

Βασικά πλεονεκτήματα της υαλώδους επικάλυψης άνθρακα που αισθάνονται περιλαμβάνουν:

Μειωμένη απόρριψη σωματιδίων: Η πυκνή επικάλυψη κλειδώνει αποτελεσματικά σε χαλαρές ίνες και σωματίδια, εμποδίζοντας τη μόλυνση των πλακιδίων και των συστατικών του αντιδραστήρα.

Υψηλή θερμική σταθερότητα: Τόσο ο γραφίτης όσο και ο υαλώδης άνθρακας μπορούν να αντέξουν τις θερμοκρασίες που υπερβαίνουν τους 2000 ° C σε ατμόσφαιρες αδρανείς ή κενού, καθιστώντας το προϊόν ιδανικό για διαδικασίες SIC υψηλής θερμοκρασίας.

Χημική αδράνεια: Η γυάλινη επιφάνεια του άνθρακα είναι ανθεκτική στα περισσότερα οξέα και τα διαβρωτικά αέρια, επεκτείνοντας την επιχειρησιακή διάρκεια ζωής του στρώματος μόνωσης υπό σκληρές συνθήκες.

Βελτιωμένη συνέπεια της διαδικασίας: Η παραγωγή ελαχιστοποιημένης σωματιδίων συμβάλλει σε ένα πιο σταθερό και επαναλαμβανόμενο περιβάλλον επιταξιακής ανάπτυξης, το οποίο είναι απαραίτητο για την παραγωγή υψηλής ποιότητας SIC Gea.

Οι εφαρμογές της υαλώδους επικάλυψης άνθρακα που αισθάνονται κυρίως σε φούρνους επιταξιακής ανάπτυξης SIC, όπου χρησιμοποιείται ως στρώμα θερμικής μόνωσης μέσα στην καυτή ζώνη. Το προϊόν είναι συνήθως εγκατεστημένο ως υλικό επένδυσης στις ανώτερες ή χαμηλότερες στοίβες μόνωσης, όπου παρέχει τόσο τη θερμική προστασία όσο και τη διασφάλιση της καθαριότητας.