Πλάκες διανομής αερίου

Οι πλάκες διανομής αερίου Semicorex διαδραματίζουν κρίσιμο ρόλο στα προχωρημένα συστήματα χάραξης στο πλάσμα, ιδιαίτερα στην κατασκευή ημιαγωγών, όπου είναι υψομετρικοί έλεγχοι ακρίβειας, ομοιομορφίας και μόλυνσης. Η πλάκα διανομής αερίου, κατασκευασμένη από καρβίδιο πυριτίου χημικής απόθεσης υψηλής καθαρότητας (Cvd sic), έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις των σύγχρονων διαδικασιών ξηρής χάραξης.

Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας χάραξης, τα αντιδραστικά αέρια πρέπει να εισαχθούν στον θάλαμο με ελεγχόμενο και ομοιόμορφο τρόπο για να εξασφαλιστεί συνεπής κατανομή στο πλάσμα σε όλη την επιφάνεια του δίσκου. Οι πλάκες διανομής αερίου βρίσκονται στρατηγικά τοποθετημένα πάνω από το δίσκο και εξυπηρετούν μια διπλή λειτουργία: πρώτα προ-διασχίζει τα αέρια της διαδικασίας και στη συνέχεια τα κατευθύνει μέσω μιας σειράς λεπτώς συντονισμένων καναλιών και ανοίγματος προς το σύστημα ηλεκτροδίων. Αυτή η ακριβής παράδοση φυσικού αερίου είναι απαραίτητη για την επίτευξη ομοιόμορφων χαρακτηριστικών του πλάσματος και σταθερών ποσοστών χάραξης σε ολόκληρο το δίσκο.

Η ομοιομορφία χάραξης μπορεί να βελτιωθεί περαιτέρω με τη βελτιστοποίηση της μεθόδου έγχυσης αντιδραστικού αερίου:

• Θάλαμος χάραξης αλουμινίου: Το αντιδραστικό αέριο παραδίδεται συνήθως μέσω ενός ντους που βρίσκεται πάνω από το δίσκο.

• Θάλαμος χάραξης πυριτίου: Αρχικά, το αέριο εγχύθηκε από την περιφέρεια του δισκίου και στη συνέχεια σταδιακά εξελίχθηκε για να εγχυθεί από πάνω από το κέντρο της δίσκου για τη βελτίωση της ομοιομορφίας χάραξης.

Οι πλάκες διανομής αερίου, επίσης γνωστές ως ντους, είναι μια συσκευή διανομής αερίου που χρησιμοποιείται ευρέως σε διαδικασίες παραγωγής ημιαγωγών. Χρησιμοποιείται κυρίως για την ομοιόμορφη διανομή αερίου στον θάλαμο αντίδρασης για να διασφαλιστεί ότι τα υλικά ημιαγωγών μπορούν να επικοινωνήσουν ομοιόμορφα με το αέριο κατά τη διάρκεια της διαδικασίας αντίδρασης, βελτιώνοντας την αποτελεσματικότητα της παραγωγής και την ποιότητα του προϊόντος. Το προϊόν έχει τα χαρακτηριστικά της υψηλής ακρίβειας, της υψηλής καθαριότητας και της επιφανειακής επεξεργασίας πολλαπλών κομματιών (όπως η αμμοβολή/ανοδίωση/βούρτσα νικελίου/ηλεκτρολυτική στίλβωση κλπ.). Οι πλάκες κατανομής αερίου βρίσκονται στο θάλαμο αντίδρασης και παρέχουν ένα ομοιόμορφα εναποτιθέμενο στρώμα φιλμ αερίου για το περιβάλλον αντίδρασης δίσκων. Πρόκειται για ένα βασικό στοιχείο της παραγωγής πλακιδίων.

Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας αντίδρασης δίσκου, η επιφάνεια των πλακών κατανομής αερίου καλύπτεται πυκνά με μικροπόρους (διάφραγμα 0,2-6 mm). Μέσω της δομής των πόρων και της διαδρομής του αερίου, το ειδικό αέριο πρέπει να περάσει από χιλιάδες μικρές τρύπες στην ομοιόμορφη πλάκα αερίου και στη συνέχεια να εναποτίθεται ομοιόμορφα στην επιφάνεια του δίσκου. Τα στρώματα ταινιών σε διαφορετικές περιοχές του δισκίου πρέπει να εξασφαλίσουν υψηλή ομοιομορφία και συνέπεια. Ως εκ τούτου, εκτός από τις εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις για την καθαριότητα και την αντίσταση στη διάβρωση, οι πλάκες διανομής αερίου έχουν αυστηρές απαιτήσεις σχετικά με τη συνοχή του ανοίγματος των μικρών οπών στην ομοιόμορφη πλάκα αερίου και τα burrs στο εσωτερικό τοίχωμα των μικρών οπών. Εάν η τυπική απόκλιση μεγέθους μεγέθους ανοίγματος και η τυπική απόκλιση είναι πολύ μεγάλες ή υπάρχουν burr σε οποιοδήποτε εσωτερικό τοίχωμα, το πάχος του εναποτιθέμενου στρώματος φιλμ θα είναι ασυνεπής, γεγονός που θα επηρεάσει άμεσα την απόδοση της διαδικασίας εξοπλισμού. Στις διαδικασίες με τη βοήθεια στο πλάσμα (όπως η PECVD και η ξηρή χάραξη), η κεφαλή ντους, ως μέρος του ηλεκτροδίου, παράγει ένα ομοιόμορφο ηλεκτρικό πεδίο μέσω τροφοδοσίας RF για την προώθηση της ομοιόμορφης κατανομής του πλάσματος, βελτιώνοντας έτσι την ομοιομορφία της χάραξης ή της εναπόθεσης.

ΜαςCvd sicΟι πλάκες διανομής αερίου είναι κατάλληλες για ένα ευρύ φάσμα πλατφορμών χάραξης πλάσματος που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών, στην επεξεργασία MEMS και στην προηγμένη συσκευασία. Τα προσαρμοσμένα σχέδια μπορούν να αναπτυχθούν για την κάλυψη συγκεκριμένων απαιτήσεων εργαλείων, συμπεριλαμβανομένων των διαστάσεων, των μοτίβων οπών και των επιφανειακών τελειωμάτων.

Οι πλάκες διανομής αερίου ημιτονοειδούς από CVD είναι ένα ζωτικό συστατικό στα σύγχρονα συστήματα χάραξης πλάσματος, προσφέροντας εξαιρετικές επιδόσεις παράδοσης αερίου, εξαιρετική ανθεκτικότητα των υλικών και ελάχιστο κίνδυνο μόλυνσης. Η χρήση του συμβάλλει άμεσα στις υψηλότερες αποδόσεις της διαδικασίας, στη χαμηλότερη ατέλειψη και στον μεγαλύτερο χρόνο λειτουργίας του εργαλείου, καθιστώντας την αξιόπιστη επιλογή για την παραγωγή ημιαγωγών.