Συντηγμένο βάθρο χαλαζία

Στην κατασκευή ημιαγωγών, το Fused Quartz Pedestal χρησιμεύει ως δομή στήριξης για το σκάφος χαλαζία, το οποίο συγκρατεί τις γκοφρέτες. Διατηρώντας μια σταθερή θερμοκρασία, βοηθά στην επίτευξη ομοιόμορφης εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης, κρίσιμο παράγοντα για την απόδοση και την αξιοπιστία των συσκευών ημιαγωγών. Το βάθρο διασφαλίζει ότι η κατανομή θερμότητας και φωτός εντός του θαλάμου διεργασίας είναι ομοιόμορφη, βελτιώνοντας έτσι τη συνολική ποιότητα της διαδικασίας εναπόθεσης.

Πλεονεκτήματα του Τετηγμένου Υλικού Χαλαζία

1. Αντίσταση σε υψηλή θερμοκρασία

Το Fused Quartz Pedestal διαθέτει σημείο μαλακώματος περίπου 1730°C, επιτρέποντάς του να αντέχει την παρατεταμένη χρήση σε θερμοκρασίες που κυμαίνονται από 1100°C έως 1250°C. Επιπλέον, μπορεί να αντέξει βραχυπρόθεσμη έκθεση σε θερμοκρασίες έως και 1450°C.

2.Αντοχή στη διάβρωση

Το Fused Quartz Pedestal είναι χημικά αδρανές στα περισσότερα οξέα, με εξαίρεση το υδροφθορικό οξύ. Η αντοχή του στα οξέα ξεπερνά κατά 30 φορές αυτή των κεραμικών και 150 φορές από τον ανοξείδωτο χάλυβα. Σε υψηλές θερμοκρασίες, κανένα άλλο υλικό δεν μπορεί να ανταποκριθεί στη χημική σταθερότητα του λιωμένου χαλαζία, καθιστώντας τον ιδανική επιλογή για σκληρά χημικά περιβάλλοντα.

3. Θερμική σταθερότητα

Ένα από τα χαρακτηριστικά του Fused Quartz Pedestal είναι ο ελάχιστος συντελεστής θερμικής διαστολής του. Αυτή η ιδιότητα του επιτρέπει να αντέχει σε σοβαρές αλλαγές θερμοκρασίας χωρίς ρωγμές. Για παράδειγμα, μπορεί να θερμανθεί γρήγορα στους 1100°C και στη συνέχεια να βυθιστεί σε νερό σε θερμοκρασία δωματίου χωρίς να υποστεί ζημιά—ένα βασικό χαρακτηριστικό για διαδικασίες παραγωγής υψηλής πίεσης.

Διαδικασία Παραγωγής

Η διαδικασία κατασκευής για το Fused Quartz Pedestal ελέγχεται σχολαστικά για να διασφαλιστούν τα υψηλότερα πρότυπα ποιότητας. Τα βάθρα παράγονται μέσω διαδικασιών θερμοδιαμόρφωσης και συγκόλλησης που διεξάγονται σε περιβάλλοντα καθαρού δωματίου κατηγορίας 10.000 και άνω. Επακόλουθος καθαρισμός με υπερκαθαρό νερό (18 MΩ)διασφαλίζει περαιτέρω την καθαρότητα και την απόδοση του προϊόντος. Κάθε Fused Quartz Pedestal υποβάλλεται σε αυστηρή επιθεώρηση, καθαρισμό και συσκευασία σε καθαρό δωμάτιο κατηγορίας 1.000 ή υψηλότερο για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις της κατασκευής ημιαγωγών.

Αδιαφανές υλικό χαλαζία υψηλής καθαρότητας

Για να μπλοκάρει αποτελεσματικά τη θερμότητα και το φως, το Fused Quartz Pedestal χρησιμοποιεί αδιαφανές υλικό χαλαζία υψηλής καθαρότητας. Οι μοναδικές ιδιότητες αυτού του υλικού ενισχύουν την ικανότητα του βάθρου να διατηρεί σταθερή και ομοιόμορφη θερμοκρασία εντός του θαλάμου διεργασίας, διασφαλίζοντας έτσι τη σταθερή ποιότητα της εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης σε γκοφρέτες.

Ευρύ φάσμα εφαρμογών

Οι εξαιρετικές ιδιότητες του Fused Quartz Pedestal το καθιστούν κατάλληλο για ποικίλες εφαρμογές στη βιομηχανία ημιαγωγών. Στις διαδικασίες ALD, υποστηρίζει τον ακριβή έλεγχο της ανάπτυξης λεπτής μεμβράνης σε ατομικό επίπεδο, απαραίτητο για την παραγωγή προηγμένων συσκευών ημιαγωγών. Κατά τη διάρκεια των διαδικασιών LPCVD, η θερμική σταθερότητα του βάθρου και οι δυνατότητες αποκλεισμού φωτός συμβάλλουν στην ομοιόμορφη εναπόθεση του φιλμ, βελτιώνοντας την απόδοση και την απόδοση της συσκευής.

Στις διαδικασίες διάχυσης, η αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία και η χημική αδράνεια του Fused Quartz Pedestal εξασφαλίζουν αξιόπιστο και σταθερό ντόπινγκ των ημιαγωγών υλικών. Αυτές οι διαδικασίες είναι κρίσιμες για τον καθορισμό των ηλεκτρικών ιδιοτήτων των συσκευών ημιαγωγών και η χρήση υλικών υψηλής ποιότητας όπως ο λιωμένος χαλαζίας είναι απαραίτητη για την επίτευξη βέλτιστων αποτελεσμάτων.