Δακτυλίοι άκρων

Οι δακτύλιοι άκρων ημι -ακουστικών αποτελούν κρίσιμο μέρος της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών, ιδιαίτερα για εφαρμογές επεξεργασίας πλακιδίων, συμπεριλαμβανομένης της χάραξης πλάσματος και της εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD). Οι δακτύλιοι άκρων έχουν σχεδιαστεί για να περιβάλλουν την εξωτερική περίμετρο ενός δισκίου ημιαγωγού προκειμένου να διανείμει ομοιόμορφα την ενέργεια, ενώ βελτιώνει τη σταθερότητα της διαδικασίας, την απόδοση των δισκίων και την αξιοπιστία των συσκευών. Οι δακτύλιοι άκρων μας είναι κατασκευασμένα από καρβίδιο πυριτίου χημικών ατμών υψηλής καθαρότητας (CVD SIC) και είναι κατασκευασμένα για απαιτητικά περιβάλλοντα διεργασιών.

Τα ζητήματα προκύπτουν κατά τη διάρκεια διαδικασιών που βασίζονται σε πλάσμα, όπου η μη ομοιομορφία ενέργειας και η παραμόρφωση του πλάσματος στην άκρη του δίσκου δημιουργούν κίνδυνο για ελαττώματα, μετατόπιση της διαδικασίας ή απώλεια απόδοσης. Οι δακτύλιοι άκρων ελαχιστοποιούν αυτόν τον κίνδυνο εστιάζοντας και διαμορφώνοντας το ενεργειακό πεδίο γύρω από την εξωτερική περίμετρο του δίσκου. Οι δακτύλιοι άκρων κάθονται ακριβώς έξω από την εξωτερική άκρη του δίσκου και δρουν ως φραγμοί διεργασιών και οδηγοί ενέργειας που ελαχιστοποιούν τα αποτελέσματα των άκρων, προστατεύουν την άκρη των δισκίων από την υπερβολική εκσκαφή και παρέχουν ουσιαστική πρόσθετη ομοιομορφία σε όλη την επιφάνεια του δίσκου.

Υλικά οφέλη της CVD SIC:

Οι δακτύλιοι άκρων μας κατασκευάζονται από το CVD SIC υψηλής καθαρότητας, το οποίο είναι μοναδικά σχεδιασμένο και κατασκευασμένο για σκληρά περιβάλλοντα διαδικασιών. Το CVD SIC χαρακτηρίζεται από εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, υψηλή μηχανική αντοχή και εξαιρετική χημική αντίσταση - όλα τα χαρακτηριστικά που καθιστούν το CVD το υλικό επιλογής για εφαρμογές ημιαγωγών που απαιτούν ανθεκτικότητα, σταθερότητα και χαμηλά ζητήματα μόλυνσης.

Υψηλή καθαρότητα: Η CVD SIC έχει σχεδόν μηδενικές ακαθαρσίες που σημαίνει ότι δεν θα παράγονται ελάχιστα ή καθόλου σωματίδια και δεν υπάρχει μόλυνση μετάλλων που να είναι ζωτικής σημασίας σε προχωρημένους ημιαγωγούς κόμβου.

Θερμική σταθερότητα: Το υλικό διατηρεί τη σταθερότητα των διαστάσεων σε αυξημένες θερμοκρασίες, η οποία είναι ζωτικής σημασίας για την κατάλληλη τοποθέτηση δισκίων στη θέση του στο πλάσμα.

Χημική αδράνεια: Είναι αδρανές σε διαβρωτικά αέρια όπως εκείνα που περιέχουν φθόριο ή χλώριο που χρησιμοποιούνται συνήθως σε περιβάλλον χάραξης πλάσματος καθώς και διαδικασίες CVD.

Μηχανική αντοχή: Η CVD SIC μπορεί να αντέξει τη ρωγμή και τη διάβρωση σε χρονικές περιόδους εκτεταμένης κύκλου εξασφαλίζοντας τη μέγιστη διάρκεια ζωής και την ελαχιστοποίηση του κόστους συντήρησης.

Κάθε δακτύλιος άκρου είναι προσαρμοσμένος για να φιλοξενήσει τις γεωμετρικές διαστάσεις του θαλάμου διεργασίας και το μέγεθος του δίσκου. Συνήθως 200mm ή 300mm. Οι ανοχές σχεδιασμού λαμβάνονται πολύ σφιχτά για να εξασφαλιστεί ότι ο δακτύλιος ακμής μπορεί να χρησιμοποιηθεί στην υπάρχουσα μονάδα διεργασίας χωρίς να χρειάζεται τροποποίηση. Οι προσαρμοσμένες γεωμετρίες και τα επιφανειακά τελειώματα είναι διαθέσιμα για την εκπλήρωση μοναδικών απαιτήσεων OEM ή διαμορφώσεων εργαλείων.