Κεραμικοί δακτύλιοι εστίασης για ημιαγωγούς

Semicorex κεραμικόδαχτυλίδι εστίασηςΤα s για ημιαγωγούς είναι οι ιδανικές λύσεις προσαρμοσμένες στις σκληρές συνθήκες λειτουργίας χάραξης πλάσματος. Κατά τη διάρκεια της εξελιγμένης διαδικασίας χάραξης ημιαγωγών, είναι σημαντικό να ελέγχεται με ακρίβεια η κατανομή του πλάσματος, η οποία μπορεί να διασφαλίσει τη σταθερότητα του θαλάμου χάραξης και τη συνεπή ομοιομορφία χάραξης ημιαγωγών. Ως τα απαραίτητα εξαρτήματα που χρησιμοποιούνται στον προηγμένο εξοπλισμό χάραξης, οι δακτύλιοι εστίασης συνήθως τοποθετούνται γύρω από τις γκοφρέτες ημιαγωγών και έρχονται σε άμεση επαφή μαζί τους. Η απόδοση των δακτυλίων εστίασης ασκεί άμεσο αντίκτυπο στην επαναληψιμότητα της διαδικασίας, την απόδοση του προϊόντος και το χρόνο λειτουργίας του εξοπλισμού.

Πλεονεκτήματα των κεραμικών δακτυλίων εστίασης Semicorex για ημιαγωγούς

1. Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα υλικού

Η αγνότητα μαςCVD SiCυλικό υπερβαίνει το 99,9995%. Αυτό μπορεί να αποτρέψει αποτελεσματικά τη μόλυνση του θαλάμου χάραξης και των πλακιδίων ημιαγωγών που προκαλείται από ανεπαρκή καθαρότητα υλικού.

2.Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση

Οι κεραμικοί δακτύλιοι εστίασης Semicorex για ημιαγωγούς είναι κατασκευασμένοι από CVD SiC, με εξαιρετική αντοχή στην οξείδωση, τη διάβρωση και τη χημική διάβρωση, και είναι ιδιαίτερα αποτελεσματικοί έναντι των αερίων διεργασίας όπως το HF και το HCI, καθώς και το αέριο πλάσματος.

3. Ανώτερη απόδοση αντίστασης

Η ομοιομορφία αντίστασης των κεραμικών δακτυλίων εστίασης Semicorex για ημιαγωγούς είναι μικρότερη από 5%.

Εύρος αντίστασης: Low Res. (<0,02 Ω·cm), Middle Res. (0,2–25 Ω·cm), High Res. (>100 Ω·cm).

Λειτουργίες κεραμικών δακτυλίων εστίασης Semicorex για ημιαγωγούς

1.Έλεγχος και ομοιομορφία του ηλεκτρικού πεδίου και της κατανομής πλάσματος

Οι κεραμικοί δακτύλιοι εστίασης Semicorex για ημιαγωγούς μπορούν να ελέγξουν την κατανομή του ηλεκτρικού πεδίου μέσα στο θάλαμο χάραξης και να επιτύχουν ένα πιο ομοιόμορφο περίβλημα πλάσματος γύρω από τις γκοφρέτες ημιαγωγών, επιτρέποντας στο πλάσμα να προσκρούει στην επιφάνεια του πλακιδίου με κατακόρυφο και ομοιόμορφο τρόπο. Με αυτόν τον τρόπο, το αποτέλεσμα της ακμής χάραξης μπορεί να μειωθεί σημαντικά και η ακρίβεια χάραξης μπορεί να βελτιωθεί σημαντικά.

2.Προστατέψτε το ηλεκτροστατικό τσοκ

Χωρίς την προστασία των δακτυλίων εστίασης στη διαδικασία χάραξης, το ηλεκτροστατικό τσοκ θα εκτεθεί στον βομβαρδισμό και τη διάβρωση του πλάσματος υψηλής ενέργειας. Τα ηλεκτροστατικά τσοκ είναι κατασκευασμένα από υλικά υψηλού κόστους με εξαιρετικά υψηλό κόστος αντικατάστασης. Η χρήση δακτυλίων εστίασης μπορεί να μειώσει αποτελεσματικά τη διάβρωση πλάσματος στο ηλεκτροστατικό τσοκ και να ελαχιστοποιήσει το κόστος συντήρησης και αντικατάστασης του ηλεκτροστατικού τσοκ.