Κεραμικά Ηλεκτροστατικά Τσοκ

Τα κεραμικά ηλεκτροστατικά τσοκ Semicorex είναι εξαρτήματα ηλεκτροστατικής προσρόφησης ακριβείας κατασκευασμένα από κεραμικά υψηλής απόδοσης αλουμίνας και νιτριδίου αλουμινίου, τα οποία χρησιμοποιούν την αρχή της ηλεκτροστατικής προσρόφησης για τη σύσφιξη και τη στερέωση γκοφρετών. Χρησιμοποιείται ευρέως στους τομείς της κατασκευής ημιαγωγών. Η Semicorex διαθέτει προηγμένη τεχνολογία, υλικά υψηλής ποιότητας και οικονομικά αποδοτικά προϊόντα. Ανυπομονούμε να γίνουμε ο αξιόπιστος συνεργάτης εφοδιασμού σας στην Κίνα.

Αποστολή Ερώτησης

περιγραφή προϊόντος

Κεραμικά ηλεκτροστατικά τσοκείναι εξαρτήματα ακριβείας που χρησιμοποιούν το ηλεκτροστατικό πεδίο που δημιουργείται μεταξύ των ηλεκτροδίων και των πλακών για τη σύσφιξη και τη στερέωση πλακών. Εφαρμόζονται ευρέως σε τομείς όπως οι ημιαγωγοί, οι επίπεδες οθόνες και η οπτική, και αποτελούν βασικά στοιχεία εξοπλισμού προηγμένης τεχνολογίας όπως συσκευές PVD, μηχανές χάραξης και εμφυτευτές ιόντων.

Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά μηχανικά τσοκ και τα τσοκ κενού, τα κεραμικά ηλεκτροστατικά τσοκ έχουν πολλά πλεονεκτήματα στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών. Αυτό το κεραμικό ηλεκτροστατικό τσοκ χρησιμοποιεί στατικό ηλεκτρισμό για να ισοπεδώνει και να συγκρατεί ομοιόμορφα τις γκοφρέτες στην επιφάνειά του. Αυτή η ομοιόμορφη δύναμη προσρόφησης μπορεί να κρατήσει το προσροφημένο αντικείμενο σχετικά επίπεδο, αποφεύγονταςόστιαπαραμόρφωση ή παραμόρφωση που μπορεί να προκληθεί από παραδοσιακά μηχανικά τσοκ ήτσοκ κενού, και διασφαλίζοντας ότι η γκοφρέτα διατηρεί την ακρίβεια επεξεργασίας κατάλληλη για διεργασίες ημιαγωγών υψηλής ακρίβειας.

Ορισμένα κεραμικά ηλεκτροστατικά τσοκ έχουν ενσωματωμένες λειτουργίες θέρμανσης, οι οποίες μπορούν να ελέγξουν με ακρίβεια τη θερμοκρασία του πλακιδίου μέσω αερίου οπισθοφυσήσεως ή εσωτερικών ηλεκτροδίων θέρμανσης, να προσαρμόζονται στις αυστηρές απαιτήσεις θερμοκρασίας διαφορετικών διεργασιών και να βελτιώσουν τη σταθερότητα της επεξεργασίας.

Σε αντίθεση με τα μηχανικά τσοκ, τα κεραμικά ηλεκτροστατικά τσοκ μειώνουν τα μηχανικά κινούμενα μέρη, μειώνουν την επίδραση των σωματιδιακών ρύπων στην ποιότητα του πλακιδίου, προστατεύουν αποτελεσματικά την καθαριότητα της επιφάνειας του πλακιδίου και βελτιώνουν την απόδοση του προϊόντος.

Τα κεραμικά ηλεκτροστατικά τσοκ προσφέρουν ευρεία συμβατότητα. Μπορούν να φιλοξενήσουν γκοφρέτες διαφόρων μεγεθών και υλικών, συμπεριλαμβανομένου του πυριτίου, του αρσενιδίου του γαλλίου και του καρβιδίου του πυριτίου, καλύπτοντας διαφορετικές ανάγκες κατασκευής ημιαγωγών.

Μπορούν να λειτουργήσουν σταθερά σε περιβάλλοντα υψηλού κενού, όπως εμφύτευση ιόντων και CVD, ξεπερνώντας τον περιορισμό των παραδοσιακών τσοκ κενού που δεν μπορούν να απορροφήσουν γκοφρέτες σε περιβάλλον κενού και ικανοποιώντας τέλεια τις απαιτήσεις της διαδικασίας εμφύτευσης ιόντων, εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD) και άλλων διεργασιών στην κατασκευή ημιαγωγών.