Ρομπότ αλουμίνας

Το Semicorex Alumina ρομπότ ARM είναι ένα κεραμικό τμήμα υψηλής απόδοσης σχεδιασμένο για εργασίες χειρισμού και μεταφοράς πλακιδίων στην παραγωγή ημιαγωγών. Κατασκευασμένο από κεραμικό αλουμίνας υψηλής καθαρότητας (al₂o₃), αυτός ο ρομποτικός βραχίονας προσφέρει ευελιξία, ακρίβεια, αξιοπιστία και ανθεκτικότητα σε καθαριστικά.

Αυτό που ξεχωρίζει υπέρ του βραχίονα ρομπότ αλουμίνας είναι οι ιδιότητες τουαλουμίνα κεραμικόΜηχανική δύναμη και σκληρότητα. Ωςαλουμίναγίνεται πιο καθαρή, η αλουμίνα διατηρεί μια καλύτερη δομική ακεραιότητα και την καθιστά πιο ανθεκτική στη μηχανική φθορά και παραμόρφωση. Ως υλικό, η αλουμίνα είναι μια εξαιρετική επιλογή για ρομποτικά μέρη που χρησιμοποιούνται σε ευαίσθητα και επαναλαμβανόμενα καθήκοντα χειρισμού πλακιδίων, δηλαδή όταν ένας βραχίονας ρομπότ πρέπει να εκτελέσει την ίδια λειτουργία και να έρθει σε επαφή με τα πλακίδια, η μικρή παραμόρφωση που εφαρμόζεται στο δίσκο από τον βραχίονα ρομπότ μπορεί να κοστίσει απώλειες εγκατάστασης. Η υψηλή σκληρότητα, δηλαδή οι άκαμπτες επιφάνειες, μπορεί να βοηθήσει με την λειαντική αντίσταση και τη λειτουργική ζωή, δηλαδή την επέκταση της ζωής και της διάρκειας της υπηρεσίας/ αντικατάστασης σε ένα ρομποτικό συστατικό.

Πέρα από τη μηχανική ανθεκτικότητα του, ο βραχίονας ρομπότ αλουμίνας είναι επίσης ένας εξαιρετικός ηλεκτρικός μονωτής. Η αντίσταση είναι έως και 10⁵ ω · cm και η αντοχή μόνωσης είναι έως 15 kV/mm σε θερμοκρασία δωματίου, παρέχοντας ένα πολύ πιο ασφαλές περιβάλλον για να λειτουργήσει, ειδικά όταν παρεμβαίνει ηλεκτρικά σήματα πρέπει να μειωθεί στον εξοπλισμό επεξεργασίας. Αυτό γίνεται σημαντικό όταν προστατεύεται τα ευαίσθητα συστατικά ημιαγωγών που μεταφέρονται μεταξύ διαδικασιών με ελάχιστο κίνδυνο ζημιάς ηλεκτροστατικής εκκένωσης (ESD).

Το κεραμικό αλουμίνα είναι εξαιρετικό για τη διατήρηση της σταθερότητας σε πολύ υψηλές θερμοκρασίες. Το σημείο τήξης είναι περίπου 2050 ° C και θα αντέξει υψηλές θερμοκρασίες σε θερμική επεξεργασία ημιαγωγών χωρίς στρέβλωση ή ακρίβεια διαστάσεων. Η υψηλή αντοχή στη θερμότητα επιτρέπει τη χρήση του βραχίονα σε διεργασίες όπως η ταχεία θερμική ανόπτηση (RTA) ή η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD), όπου η ευθυγράμμιση ακριβείας και η θερμική σταθερότητα είναι κρίσιμες.

Ένα από τα άλλα σημαντικά οφέλη του βραχίονα ρομπότ αλουμίνας είναι η αδράνεια του. Η επιφάνεια του είναι αδρανής στους περισσότερους παράγοντες καθαρισμού και τα αέρια επεξεργασίας που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών. Ως εκ τούτου, θα παραμείνει χωρίς μόλυνση και δεν θα συμβάλει στη μόλυνση της επιφάνειας των πλακιδίων. Αυτή η χημική αδράνεια είναι το κλειδί για την επίτευξη εξαιρετικά καθαρών συνθηκών παραγωγής και την παροχή σταθερής απόδοσης της συσκευής.

Αλουμίνα κεραμικόείναι επίσης μια προσιτή επιλογή για εργαλεία ημιαγωγών. Είναι άμεσα διαθέσιμο ως πρώτη ύλη και οι διαδικασίες κατεργασίας των κεραμικών αλουμίνας είναι καλά κατανοητά και εύκολα κλιμακούμενα. Αυτό επιτρέπει την παραγωγή αναπαραγώγιμων και συνεπών ανοχών για την παραγωγή εξαρτημάτων υψηλής ποιότητας σε ανταγωνιστική τιμή. Ο συνδυασμός της απόδοσης και της οικονομικής προσιτότητας καθιστά το βραχίονα ρομπότ αλουμίνας ιδανικό για τα FABs OEM και Semiconductor, όπου χρειάζεστε αξιόπιστα εξαρτήματα αυτοματισμού που δεν σπάνε την τράπεζα.

Συνοπτικά, ο βραχίονας ρομπότ Alumina παρέχει υψηλές μηχανικές επιδόσεις, υψηλή διηλεκτρική απόδοση, υψηλή θερμική αντίσταση, υψηλή χημική απόδοση, όλα με αποδεδειγμένη παραγωγή σε οικονομική τιμή. Συλλογικά, αυτά τα χαρακτηριστικά απόδοσης καθιστούν αξιόπιστη και αποτελεσματική για εφαρμογές χειρισμού δισκίων ακριβείας στην κατασκευή ημιαγωγών, επιτρέποντας τη βελτίωση της απόδοσης, ενδεχομένως τη μείωση του κινδύνου μόλυνσης και τη βελτίωση της συνολικής αποτελεσματικότητας του εξοπλισμού.