Αλουμίνα End Effector

Η επιλογή του υλικού για το Semicorex Alumina End Effector βασίζεται στη μοναδική καταλληλότητα του κεραμικού αλουμίνας υψηλής καθαρότητας για τα σκληρά περιβάλλοντα που συναντώνται στην κατασκευή ημιαγωγών: 

Εξαιρετική καθαρότητα για έλεγχο μόλυνσης: Το Alumina End Effector, που διαθέτει κεραμικά αλουμίνας υψηλής καθαρότητας ως υπόστρωμα, χαρακτηρίζεται από τα εξαιρετικά χαμηλά επίπεδα ακαθαρσιών τους, διασφαλίζοντας ότι δεν θα εισάγει ρύπους που θα μπορούσαν να θέσουν σε κίνδυνο τις ηλεκτρικές ιδιότητες ή την απόδοση των ευαίσθητων συσκευών ημιαγωγών.

Σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία για ευελιξία διεργασιών:Το Alumina End Effector παρουσιάζει εξαιρετική θερμική σταθερότητα, διατηρώντας τη δομική του ακεραιότητα και την ακρίβεια των διαστάσεων του ακόμη και στις υψηλές θερμοκρασίες που συναντώνται σε διαδικασίες όπως η θερμική οξείδωση, η διάχυση και η εναπόθεση χημικών ατμών.

Χημική αδράνεια για σκληρά περιβάλλοντα:Η εγγενής χημική αντίσταση του Alumina End Effector το καθιστά αδιαπέραστο σε ένα ευρύ φάσμα οξέων, βάσεων και διαλυτών που χρησιμοποιούνται συνήθως στην επεξεργασία ημιαγωγών. Αυτή η αδράνεια αποτρέπει τη διάβρωση ή την υποβάθμιση του τελικού τελεστή, διασφαλίζοντας τη μακροπρόθεσμη απόδοσή του και ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο μόλυνσης από σωματίδια.

Ισχυρές μηχανικές ιδιότητες για εκτεταμένη διάρκεια ζωής:Τα κεραμικά αλουμίνας είναι γνωστά για τη σκληρότητά τους, την αντοχή στη φθορά και την ικανότητά τους να αντέχουν σε επαναλαμβανόμενους κύκλους χειρισμού και καθαρισμού χωρίς υποβάθμιση. Αυτή η στιβαρότητα μεταφράζεται σε εκτεταμένη διάρκεια ζωής για το Alumina End Effector, μειώνοντας το κόστος αντικατάστασης και το χρόνο διακοπής λειτουργίας.

Η ακρίβεια, η καθαρότητα και η ανθεκτικότητα του Alumina End Effector το έχουν καταστήσει απαραίτητο συστατικό σε μια σειρά κρίσιμων διαδικασιών κατασκευής ημιαγωγών:

Φωτολιθογραφία:Η ακριβής ευθυγράμμιση και τοποθέτηση πλακιδίων είναι πρωταρχικής σημασίας στη φωτολιθογραφία, όπου ακόμη και μικρές αποκλίσεις μπορεί να οδηγήσουν σε σφάλματα κακής ευθυγράμμισης και αστοχία της συσκευής. Το Alumina End Effector παρέχει την απαραίτητη ακρίβεια και σταθερότητα για αυτό το κρίσιμο βήμα της διαδικασίας.

Χημική μηχανική επιπεδοποίηση (CMP):Η ικανότητα να αντέχει τους χημικά επιθετικούς πολτούς και τις μηχανικές δυνάμεις που εμπλέκονται στη CMP καθιστά το Alumina End Effector ιδανικό για το χειρισμό πλακών κατά τη διάρκεια αυτής της κρίσιμης διαδικασίας, η οποία επιπεδώνει την επιφάνεια του πλακιδίου για επακόλουθη στρώση.

Επιθεώρηση και Μετρολογία Γκοφρέτας:Η μη μολυσματική και μη επιβλαβής φύση του Alumina End Effector το καθιστά ιδανικό για το χειρισμό πλακιδίων κατά τη διάρκεια των διαδικασιών επιθεώρησης και μετρολογίας, διασφαλίζοντας ακριβείς μετρήσεις και ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο εισαγωγής ελαττωμάτων.