ΑΛΛΑΜΙΝΑ ΚΕΛΩΝΙΚΟ ΤΕΧΝΟΛΟΓΙΟ

Το κεραμικό τελεστή ημι -αλουμινίου Semicorex είναι ένα βασικό εργαλείο για τα αυτοματοποιημένα συστήματα μεταφοράς πλακιδίων, προσφέροντας απαράμιλλη μηχανική αντοχή, θερμική σταθερότητα και χημική αντίσταση. Κατασκευασμένο με υψηλή καθαρότητααλουμίνα (al₂o₃) κεραμικό, αυτός ο τελικός τελεστής έχει σχεδιαστεί για να ανταποκρίνεται στις αυστηρές απαιτήσεις των περιβαλλόντων επεξεργασίας των πλακιδίων, όπου η ακρίβεια, η καθαριότητα και η ανθεκτικότητα είναι υψίστης σημασίας.

Τα ρομπότ ημιαγωγών είναι ένα από τα σημαντικά μέρη του εξοπλισμού ημιαγωγών. Συνήθως αποτελούνται από ελεγκτές, οδηγούς, όπλα και τελικούς τελεστές. Χαρακτηρίζονται από υψηλή καθαριότητα, υψηλή σταθερότητα, υψηλή ακρίβεια, υψηλή απόδοση και υψηλή αξιοπιστία. Τα ρομπότ ημιαγωγών χρησιμοποιούνται κυρίως στη διαδικασία Front-end της παραγωγής ημιαγωγών για τη μεταφορά, τη μεταφορά και τη θέση ημιαγωγών.

Η κεραμική δομή που έχει περιεκτικότητα σε αλουμίνα συνήθως μεγαλύτερη από 99,5% θα παρέχει ανώτερη σκληρότητα και αντοχή στη φθορά για επαναλαμβανόμενες κινήσεις σε περιβάλλοντα υψηλής ακρίβειας χωρίς υποβάθμιση με την πάροδο του χρόνου. Η υψηλή θερμική αγωγιμότητα και η χαμηλή θερμική επέκταση της αλουμίνας επιτρέπουν τη σταθερότητα διαστάσεων σε περιβάλλοντα με αυξημένη θερμοκρασία, μια αναγκαιότητα στις περισσότερες λειτουργίες καθαρού χώρου σε ημιαγωγούς, όπως σε ένα εργαλείο εικονογράφησης, εναπόθεση, επιθεώρηση ή καθαρισμού.

Οαλουμίνα κεραμικόΤο End τελεστή έχει ένα αξιοσημείωτο χαρακτηριστικό επιφανειακό φινίρισμα που είναι ομαλό και έχει χαμηλό πορώδες, καθιστώντας το κοντά σε μηδενικά σωματίδια που παράγονται και ελαχιστοποίηση ή μηδενική επίδραση στις μολυσματικές ουσίες κατά τη διάρκεια του χειρισμού των πλακιδίων. Επιπλέον, η αλουμίνα είναι χημικά αδρανή. Αυτό σημαίνει ότι δεν θα αντιδράσει με κανένα από τα αέρια διεργασίας και τα υγρά διεργασίας που έρχεται σε επαφή με το δίσκο. Αυτό προστατεύει το δίσκο και οποιαδήποτε μόλυνση στον εαυτό του και τον εξοπλισμό από οτιδήποτε μπορεί να προκαλέσει διάβρωση.

Χρησιμοποιούνται γενικά ως τελικοί τελεστές, ή ένας μηχανισμός σύσφιξης, για ρομποτικά όπλα ή μονάδες μεταφοράς σε εξοπλισμό κατασκευής και εξοπλισμό, όπως ένα εργαλείο εξώθησης ή εναπόθεσης, επιθεώρησης ή συσχέτισης με ακριβείς υποδοχές, αυλακώσεις ή κανάλια κενού που καταγράφουν το πραγματικό μέγεθος των δισκίων είτε πρόκειται για 100 mm, 200 mm ή 300 mm και μεταφορά WAFERS ή καταγραφή για αντικατάσταση. Οι τελικοί τελεστές θα χειρίζονται τυπικά τις ταχύτητες των μεταφορών των πλακιδίων στα 25 cm/δευτερόλεπτο.

Οι επιλογές προσαρμογής υπάρχουν σύμφωνα με τις γραμμές που έχουν σχεδιαστεί για συγκεκριμένες διεπαφές εξοπλισμού ή μεγέθη πλακιδίων. Η δομική ακαμψία της αλουμίνας επιτρέπει τα λεπτά και τα ελαφριά προφίλ που ελαχιστοποιούν τη συνολική μάζα του συστήματος χειρισμού και οδηγούν σε ταχύτερους χρόνους απόκρισης. Ορισμένες διαμορφώσεις μπορούν επίσης να προσθέσουν αντι-στατικά ή μονωτικά συστατικά για να παρέχουν πρόσθετη προστασία στα ευαίσθητα ηλεκτρονικά υποστρώματα.

Συνολικά, ο κεραμικός τελεστήρας της αλουμίνας παρέχει μια αποτελεσματική λύση που προάγει τη βελτίωση της απόδοσης και τη μειωμένη μόλυνση, όπου η επιχειρησιακή αξιοπιστία είναι βασικά στοιχεία για τη γραμμή επεξεργασίας δίσκων. Με τα χαρακτηριστικά της ανθεκτικότητας και της φυσικής απόδοσης, το αποτελεσματικό και οικονομικά αποδοτικό κεραμικό τελεστή End alumina διακρίνεται ως μια δημοφιλής επιλογή μεταξύ των κατασκευαστών και των FAB που απαιτούν αυστηρά πρότυπα παραγωγής σε ένα εξαιρετικά καθαρό περιβάλλον.