Τσοκ κενού Al2O3

Εφαρμογές στην Κατασκευή Ημιαγωγών

Το Semicorex Al2O3 Vacuum Chuck είναι ένα ευέλικτο εργαλείο που χρησιμοποιείται σε πολλαπλά στάδια παραγωγής ημιαγωγών:

Αραίωση: Κατά τη διαδικασία αραίωσης της γκοφρέτας, το τσοκ κενού Al2O3 παρέχει σταθερή και ομοιόμορφη στήριξη, εξασφαλίζοντας μείωση του υποστρώματος υψηλής ακρίβειας. Αυτό είναι ζωτικής σημασίας για τη βελτίωση της απαγωγής θερμότητας των τσιπ και τη βελτίωση της απόδοσης της συσκευής.

Κύβος σε κύβους: Στο στάδιο της κοπής σε κύβους, όπου οι γκοφρέτες κόβονται σε μεμονωμένα τσιπ, το τσοκ κενού Al2O3 προσφέρει ασφαλή και σταθερή προσρόφηση, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο ζημιάς και εξασφαλίζοντας καθαρές κοπές.

Καθαρισμός: Η λεία και ομοιόμορφη επιφάνεια προσρόφησης του τσοκ κενού Al2O3 το καθιστά κατάλληλο για διαδικασίες καθαρισμού γκοφρέτας, διασφαλίζοντας ότι οι ρύποι απομακρύνονται αποτελεσματικά χωρίς να καταστρέφονται οι γκοφρέτες.

Μεταφορά: Κατά το χειρισμό και τη μεταφορά της γκοφρέτας, το τσοκ κενού Al2O3 παρέχει αξιόπιστη και ασφαλή υποστήριξη, μειώνοντας τον κίνδυνο ζημιάς και μόλυνσης.

SemicorexΚενόΤσακ Ροή

Πλεονεκτήματα του τσοκ κενού Semicorex Al2O3

1. Ομοιόμορφη μικροπορώδης κεραμική τεχνολογία

Το τσοκ κενού Al2O3 είναι κατασκευασμένο με χρήση μικροπορώδους κεραμικής τεχνολογίας, η οποία περιλαμβάνει τη χρήση νανοσκονών ομοιόμορφου μεγέθους. Αυτή η τεχνολογία διασφαλίζει ότι οι πόροι είναι ομοιόμορφα κατανεμημένοι και διασυνδεδεμένοι, με αποτέλεσμα υψηλό πορώδες και ομοιόμορφα πυκνή δομή. Αυτή η ομοιομορφία ενισχύει την απόδοση του τσοκ κενού, παρέχοντας σταθερή και αξιόπιστη υποστήριξη γκοφρέτας.

2. Εξαιρετικές Υλικές Ιδιότητες

Η εξαιρετικά καθαρή αλουμίνα 99,99% (Al2O3) που χρησιμοποιείται στο τσοκ κενού Al2O3 προσφέρει μια σειρά από εξαιρετικές ιδιότητες:

Θερμικές ιδιότητες: Με υψηλή αντοχή στη θερμότητα και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, το τσοκ κενού Al2O3 μπορεί να αντέξει τις υψηλές θερμοκρασίες που συναντώνται συνήθως στην κατασκευή ημιαγωγών.

Μηχανικές ιδιότητες: Η υψηλή αντοχή και σκληρότητα της αλουμίνας διασφαλίζουν ότι το τσοκ κενού Al2O3 είναι ανθεκτικό και ανθεκτικό στη φθορά, παρέχοντας μακροχρόνια απόδοση.

Άλλες ιδιότητες: Η αλουμίνα προσφέρει επίσης υψηλή ηλεκτρική μόνωση και αντοχή στη διάβρωση, καθιστώντας το τσοκ κενού Al2O3 κατάλληλο για ένα ευρύ φάσμα περιβαλλόντων παραγωγής.

3. Ανώτερη Επιπεδότητα και Παραλληλισμός

Ένα από τα βασικά πλεονεκτήματα του τσοκ κενού Al2O3 είναι η υψηλή επιπεδότητα και ο παραλληλισμός του. Αυτές οι ιδιότητες είναι ζωτικής σημασίας για την εξασφάλιση ακριβούς και σταθερού χειρισμού γκοφρέτας, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο ζημιάς και διασφαλίζοντας σταθερά αποτελέσματα επεξεργασίας. Επιπλέον, η καλή διαπερατότητα αέρα και η ομοιόμορφη δύναμη προσρόφησης του τσοκ κενού Al2O3 εξασφαλίζουν ομαλή και αξιόπιστη λειτουργία.

4. Επιλογές προσαρμογής

Στη Semicorex, κατανοούμε ότι κάθε διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών έχει μοναδικές απαιτήσεις. Γι' αυτό προσφέρουμε εξατομικευμένα τσοκ κενού προσαρμοσμένα στις συγκεκριμένες ανάγκες σας. Ανάλογα με την απαιτούμενη επιπεδότητα και το κόστος παραγωγής, συνιστούμε διαφορετικά υλικά βάσης, διασφαλίζοντας ότι το βάρος και η απόδοση του τσοκ κενού έχουν βελτιστοποιηθεί για την εφαρμογή σας. Αυτά τα υλικά περιλαμβάνουν τον ανοξείδωτο χάλυβα SUS430, το κράμα αλουμινίου 6061, το πυκνό κεραμικό αλουμίνας (χρώμα ελεφαντόδοντου), τον γρανίτη και το πυκνό κεραμικό καρβιδίου του πυριτίου.

Μέτρηση CMM τσοκ κενού Al2O3