Στη διαδικασία Front-end (FEOL) της παραγωγής ημιαγωγών, το δίσκο πρέπει να υποβληθεί σε διάφορες επεξεργασίες επεξεργασίας, ειδικά το δίσκο πρέπει να θερμαίνεται σε μια ορισμένη θερμοκρασία και υπάρχουν αυστηρές απαιτήσεις, επειδή η ομοιομορφία της θερμοκρασίας έχει πολύ σημαντική επίδραση στην από......
Διαβάστε περισσότερα