Η ξηρή χάραξη είναι μια κύρια τεχνολογία στις διαδικασίες κατασκευής μικροηλεκτρομηχανικών συστημάτων. Η απόδοση της διαδικασίας ξηρής χάραξης ασκεί άμεση επίδραση στη δομική ακρίβεια και στη λειτουργική απόδοση των συσκευών ημιαγωγών. Για τον ακριβή έλεγχο της διαδικασίας χάραξης, πρέπει να δοθεί μ......
Διαβάστε περισσότεραΗ ξηρή χάραξη είναι συνήθως μια διαδικασία που συνδυάζει φυσικές και χημικές δράσεις, με τον βομβαρδισμό ιόντων να είναι μια κρίσιμη τεχνική φυσικής χάραξης. Κατά τη χάραξη, η γωνία πρόσπτωσης και η κατανομή ενέργειας των ιόντων μπορεί να είναι άνιση.
Διαβάστε περισσότεραΤο αεροστατικό slideway καρβιδίου του πυριτίου είναι ένα προηγμένο σύστημα οδηγών που συνδυάζει τις ιδιότητες υλικού του καρβιδίου του πυριτίου και την αεροστατική τεχνολογία. Ως η βέλτιστη λύση για συστήματα υψηλής ακρίβειας, υψηλής αξιοπιστίας και μακροπρόθεσμης κίνησης, η αεροστατική ολίσθηση καρ......
Διαβάστε περισσότεραΗ κύρια μέθοδος για την παρασκευή μονοκρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου είναι η μέθοδος φυσικής μεταφοράς ατμών (PVT). Αυτή η μέθοδος αποτελείται κυρίως από μια κοιλότητα σωλήνα χαλαζία, ένα θερμαντικό στοιχείο (επαγωγικό πηνίο ή θερμαντήρα γραφίτη), μονωτικό υλικό από τσόχα γραφίτη, ένα χωνευτήριο ......
Διαβάστε περισσότεραΤο SOI, συντομογραφία του Silicon-On-Insulator, είναι μια διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών που βασίζεται σε ειδικά υλικά υποστρώματος. Από την εκβιομηχάνισή της στη δεκαετία του 1980, αυτή η τεχνολογία έχει γίνει ένας σημαντικός κλάδος των προηγμένων διαδικασιών παραγωγής ημιαγωγών. Διακρίνεται για ......
Διαβάστε περισσότεραΤο ηλεκτροστατικό τσοκ αναλαμβάνει πολλαπλές λειτουργίες όπως ομοιόμορφη ηλεκτροστατική εκφόρτιση, αγωγιμότητα θερμότητας και προσρόφηση και στερέωση πλακιδίων στον τομέα της κατασκευής ημιαγωγών. Μία από τις βασικές λειτουργίες του ESC είναι η σταθερή απορρόφηση γκοφρετών υπό ακραίες συνθήκες λειτο......
Διαβάστε περισσότερα