Δομικές διαφορές μεταξύ διαφορετικών τύπων αντιδραστήρων

Με βάση τη διαμόρφωση του θαλάμου αντίδρασης, ο εξοπλισμός θερμικής επεξεργασίας (εξοπλισμός σωλήνων κλιβάνου) χωρίζεται κυρίως σε τρεις κατηγορίες: κάθετους σωλήνες κλιβάνου, οριζόντιους σωλήνες κλιβάνου και κλίβανους ταχείας θερμικής επεξεργασίας (RTP).

Οι κάθετοι σωλήνες κλιβάνου έχουν κατακόρυφα διατεταγμένους σωλήνες χαλαζία, με τις γκοφρέτες τοποθετημένες γύρω από τους σωλήνες για θέρμανση. Τα κύρια πλεονεκτήματά τους είναι η ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας, ο ακριβής έλεγχος της ατμόσφαιρας, ο υψηλός αυτοματισμός, η λιγότερη μόλυνση από σωματίδια, το μικρό αποτύπωμα και η υποστήριξη για επεξεργασία παρτίδων (ειδικά κατάλληλες για γκοφρέτες 12 ιντσών), καθιστώντας τις τον βασικό εξοπλισμό που διατίθεται σήμερα. Το μέγεθος της παγκόσμιας αγοράς έφτασε τα 3,2 δισεκατομμύρια δολάρια το 2024 (στοιχεία SEMI). Τα μειονεκτήματά τους περιλαμβάνουν τον εύκολο διαχωρισμό αερίου-υγρού και την καθοδική ροή του μέσου που δυνητικά προκαλεί την καύση του σωλήνα του κλιβάνου.

Οι οριζόντιοι σωλήνες κλιβάνου έχουν οριζόντια τοποθετημένους σωλήνες χαλαζία, οι οποίοι επεξεργάζονται 100-200 γκοφρέτες τη φορά. Τα πλεονεκτήματά τους περιλαμβάνουν ομοιόμορφη ροή αερίου-υγρού εντός του σωλήνα του κλιβάνου και πιο ακριβή έλεγχο θερμοκρασίας. Τα μειονεκτήματά τους περιλαμβάνουν μεγαλύτερο αποτύπωμα και υψηλότερη κατανάλωση ενδιάμεσων στηριγμάτων σωλήνων από χάλυβα υψηλής κραματοποίησης. Δομικά, οι οριζόντιοι σωλήνες κλιβάνου τοποθετούν τις γκοφρέτες κατακόρυφα μέσα σε οριζόντιους σωλήνες για επεξεργασία.

Οι κλίβανοι ταχείας θερμικής ανόπτησης (RTP) χρησιμοποιούν λαμπτήρες υπερύθρων αλογόνου για την ταχεία θέρμανση μεμονωμένων πλακιδίων, προσφέροντας γρήγορους ρυθμούς θέρμανσης και ψύξης που αλλάζουν μόνο τη θερμοκρασία του πλακιδίου χωρίς να αλλάζουν τη θερμοκρασία του θαλάμου. Είναι κατάλληλα για ταχεία ανόπτηση σε μικρές παρτίδες αλλά όχι για μαζική παραγωγή.

Στην επεξεργασία πλακιδίων, οι οριζόντιοι σωλήνες κλιβάνου τοποθετούν τη γκοφρέτα σε ένα σκάφος χαλαζία, το οποίο με τη σειρά του στηρίζεται σε ένα πλαίσιο στήριξης καρβιδίου του πυριτίου (SiC). Το πλαίσιο στήριξης στη συνέχεια ωθείται στον σωλήνα του κλιβάνου χαλαζία, όπου η γκοφρέτα υφίσταται την αντίδραση σε μια ζώνη σταθερής θερμοκρασίας. Οι κάθετοι σωλήνες κλιβάνου, από την άλλη πλευρά, τοποθετούν τη γκοφρέτα σε έναν πύργο χαλαζία και την ανεβάζουν αργά στο σωλήνα του κλιβάνου χαλαζία για επεξεργασία. Μετά την αντίδραση, η γκοφρέτα χαμηλώνεται αργά για να αποφευχθεί η κάμψη ή το σπάσιμο.

Η Semicorex παρέχει υψηλής ποιότητας προσαρμοσμένηαντιδραστήρας φούρνου χαλαζία. Τα προϊόντα μας έχουν σχεδιαστεί για να παρέχουν ανώτερη θερμική σταθερότητα, εκτεταμένη διάρκεια ζωής και εξαιρετική συνέπεια στη διαδικασία. Για προσαρμοσμένες λύσεις ή πρόσθετες τεχνικές πληροφορίες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε με την ομάδα μηχανικών μας.

Τηλέφωνο: +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com