Σκάφος γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου

Στην κατασκευή ημιαγωγών, η οξείδωση περιλαμβάνει την τοποθέτηση της γκοφρέτας σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας όπου το οξυγόνο ρέει στην επιφάνεια του πλακιδίου για να σχηματίσει ένα στρώμα οξειδίου. Αυτό προστατεύει τη γκοφρέτα από χημικές ακαθαρσίες, αποτρέπει την είσοδο ρεύματος διαρροής στο κύκλωμα, αποτρέπει τη διάχυση κατά την εμφύτευση ιόντων και αποτρέπει την ολίσθηση της γκοφρέτας κατά τη χάραξη, σχηματίζοντας μια προστατευτική μεμβράνη στην επιφάνεια του πλακιδίου. Ο εξοπλισμός που χρησιμοποιείται σε αυτό το βήμα είναι ένας κλίβανος οξείδωσης. Τα κύρια εξαρτήματα εντός του θαλάμου αντίδρασης περιλαμβάνουν ένα σκάφος γκοφρέτας, βάση, σωλήνες επένδυσης κλιβάνου, εσωτερικούς σωλήνες κλιβάνου και διαφράγματα θερμομόνωσης. Λόγω της υψηλής θερμοκρασίας λειτουργίας, οι απαιτήσεις απόδοσης για τα εξαρτήματα εντός του θαλάμου αντίδρασης είναι επίσης υψηλές.

Οβάρκα γκοφρέταχρησιμοποιείται ως φορέας για τη μεταφορά και την επεξεργασία γκοφρέτας. Θα πρέπει να διαθέτει πλεονεκτήματα όπως υψηλή ενσωμάτωση, υψηλή αξιοπιστία, αντιστατικές ιδιότητες, αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχή στη φθορά, αντοχή στην παραμόρφωση, καλή σταθερότητα και μεγάλη διάρκεια ζωής. Δεδομένου ότι η θερμοκρασία οξείδωσης της γκοφρέτας είναι περίπου μεταξύ 800℃ και 1300℃ και οι απαιτήσεις για την περιεκτικότητα σε μεταλλικές ακαθαρσίες στο περιβάλλον είναι εξαιρετικά αυστηρές, βασικά συστατικά όπως το σκάφος γκοφρέτας πρέπει όχι μόνο να έχουν εξαιρετικές θερμικές, μηχανικές και χημικές ιδιότητες, αλλά και εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε μεταλλικές ακαθαρσίες. Ανάλογα με το υπόστρωμα, μπορούν να χωριστούν σε βάρκες από χαλαζία, κεραμικές βάρκες με καρβίδιο πυριτίου κ.λπ. Ωστόσο, με την ανάπτυξη των κόμβων επεξεργασίας κάτω από 7 nm και την επέκταση των παραθύρων διεργασίας υψηλής θερμοκρασίας, τα παραδοσιακά σκάφη χαλαζία γίνονται σταδιακά ανεπαρκή όσον αφορά τη θερμική σταθερότητα, τη διαχείριση χρόνου σωματιδίων και τη διάρκεια ζωής. Τα σκάφη καρβιδίου του πυριτίου (SiC) αντικαθιστούν σταδιακά τις παραδοσιακές λύσεις χαλαζία.

1. Βιομηχανία Ημιαγωγών

Σε διαδικασίες κατασκευής τσιπ υψηλής θερμοκρασίας, όπως οξείδωση, διάχυση, εναπόθεση χημικών ατμών (CVD) και εμφύτευση ιόντων, τα σκάφη SiC χρησιμοποιούνται για να υποστηρίζουν πλακίδια πυριτίου, διασφαλίζοντας ότι τα γκοφρέτες παραμένουν επίπεδες σε υψηλές θερμοκρασίες και αποτρέποντας την κακή ευθυγράμμιση ή την παραμόρφωση του πλέγματος που προκαλείται από το τσιπ.

2. Φωτοβολταϊκή Βιομηχανία

Τα κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου διαθέτουν εξαιρετική μηχανική αντοχή, θερμική σταθερότητα, αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντίσταση στην οξείδωση, αντοχή σε θερμικό σοκ και αντοχή στη χημική διάβρωση και χρησιμοποιούνται ευρέως σε δημοφιλείς τομείς όπως η μεταλλουργία, τα μηχανήματα, η νέα ενέργεια και οι χημικές ουσίες οικοδομικών υλικών. Η απόδοσή του είναι επίσης επαρκής για θερμικές διεργασίες στην κατασκευή φωτοβολταϊκών, όπως διάχυση, LPCVD (χαμηλής πίεσης χημική εναπόθεση ατμών) και PECVD (απόθεση χημικών ατμών πλάσματος) για κυψέλες TOPcon. Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά υλικά χαλαζία, τα κεραμικά υλικά καρβιδίου του πυριτίου που χρησιμοποιούνται για την κατασκευή στηριγμάτων σκαφών, μικρών σκαφών και σωληνωτών προϊόντων προσφέρουν υψηλότερη αντοχή, καλύτερη θερμική σταθερότητα και καμία παραμόρφωση σε υψηλές θερμοκρασίες. Η διάρκεια ζωής τους είναι επίσης μεγαλύτερη από πέντε φορές εκείνη του χαλαζία, μειώνοντας σημαντικά το λειτουργικό κόστος και τις απώλειες ενέργειας λόγω του χρόνου διακοπής συντήρησης. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα ένα σαφές πλεονέκτημα κόστους και οι πρώτες ύλες είναι ευρέως διαθέσιμες.

3. Βιομηχανία ημιαγωγών τρίτης γενιάς

Στους θαλάμους αντίδρασης μετάλλου-οργανικού χημικού ατμού (MOCVD), βάρκες καρβιδίου του πυριτίου χρησιμοποιούνται για τη στήριξη υποστρωμάτων ζαφείρι, που αντέχουν σε διαβρωτικά περιβάλλοντα αερίου όπως η αμμωνία (NH3), υποστηρίζοντας την επιταξιακή ανάπτυξη ημιαγωγών τρίτης γενιάς, όπως το νιτρίδιο του γαλλίου (GaN). Στην ανάπτυξη μονοκρυστάλλου καρβιδίου του πυριτίου, τα σκάφη καρβιδίου του πυριτίου χρησιμεύουν ως στηρίγματα κρυστάλλων σποράς σε κλιβάνους ανάπτυξης μονοκρυστάλλου καρβιδίου του πυριτίου, αντέχουν στο διαβρωτικό περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας του τηγμένου πυριτίου, παρέχοντας σταθερή υποστήριξη για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου και προάγοντας την παρασκευή μονού καρβιδίου του πυριτίου υψηλής ποιότητας.

Η Semicorex παρέχει υψηλής ποιότητας κεραμικό SiCβάρκες γκοφρέτας. Τα προϊόντα μας έχουν σχεδιαστεί για να παρέχουν ανώτερη θερμική σταθερότητα, εκτεταμένη διάρκεια ζωής και εξαιρετική συνέπεια στη διαδικασία. Για προσαρμοσμένες λύσεις ή πρόσθετες τεχνικές πληροφορίες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε με την ομάδα μηχανικών μας.

Τηλέφωνο: +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com