Μια σύντομη εισαγωγή στα Dummy Wafers

Η προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών αποτελείται από πολλαπλά στάδια διαδικασίας, συμπεριλαμβανομένης της εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης, της φωτολιθογραφίας, της χάραξης, της εμφύτευσης ιόντων, της χημικής μηχανικής στίλβωσης. Κατά τη διάρκεια αυτής της διαδικασίας, ακόμη και μικροσκοπικά ελαττώματα στη διαδικασία μπορεί να έχουν αρνητικές επιπτώσεις στην απόδοση και την αξιοπιστία των τελικών τσιπ ημιαγωγών. Ως εκ τούτου, αποτελεί σημαντική πρόκληση η διατήρηση της σταθερότητας και της συνέπειας της διαδικασίας, καθώς και η αποτελεσματική παρακολούθηση του εξοπλισμού. Οι εικονικές γκοφρέτες είναι ζωτικής σημασίας εργαλεία που βοηθούν στην αντιμετώπιση αυτών των προκλήσεων.

Οι εικονικές γκοφρέτες είναι γκοφρέτες που δεν φέρουν πραγματικό κύκλωμα και δεν χρησιμοποιούνται στην τελική διαδικασία παραγωγής τσιπ. Αυτοίγκοφρέτεςμπορεί να είναι ολοκαίνουργιες, χαμηλότερης ποιότητας δοκιμαστικές γκοφρέτες ή ανακυκλωμένες γκοφρέτες. Διαφορετικά από τα ακριβά πλακίδια προϊόντων που χρησιμοποιούνται για την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, χρησιμοποιούνται συνήθως για διάφορα μη σχετιζόμενα με την παραγωγή που είναι απαραίτητα για την παραγωγή ημιαγωγών.

Εφαρμογές Dummy Wafers

1.Διαδικασία Προσόντων & Συντονισμού

Οι εικονικές γκοφρέτες χρησιμοποιούνται συνήθως για δοκιμές πριν από αυτές τις καταστάσεις για να διασφαλιστεί η σταθερότητα της διαδικασίας και η συμμόρφωση με την απόδοση του εξοπλισμού, όπως πριν από τη θέση σε λειτουργία νέου εξοπλισμού διεργασίας, μετά από συντήρηση ή αντικατάσταση εξαρτημάτων υπάρχοντος εξοπλισμού και κατά την ανάπτυξη νέων συνταγών διεργασιών. Η επαλήθευση απόδοσης του εξοπλισμού και η ακριβής προσαρμογή των παραμέτρων της διαδικασίας μπορούν να ολοκληρωθούν με επιτυχία μέσω της ανάλυσης των αποτελεσμάτων επεξεργασίας στις εικονικές γκοφρέτες, γεγονός που μειώνει αποτελεσματικά την απώλεια γκοφρετών προϊόντων και μειώνει το κόστος παραγωγής για τις επιχειρήσεις.

2.Κλιματισμός & Προθέρμανση Εξοπλισμού

Το περιβάλλον θαλάμου πολλών εξοπλισμών διεργασίας ημιαγωγών (π.χ., εξοπλισμός εναπόθεσης χημικών ατμών (CVD), εξοπλισμός φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD) και μηχανές χάραξης) έχει σημαντικό αντίκτυπο στα αποτελέσματα της επεξεργασίας. Για παράδειγμα, η κατάσταση επίστρωσης και η κατανομή θερμοκρασίας στα εσωτερικά τοιχώματα του θαλάμου πρέπει να φτάσουν σε μια σταθερή κατάσταση. Οι εικονικές γκοφρέτες χρησιμοποιούνται συχνά για τη ρύθμιση των θαλάμων διεργασίας και τη σταθεροποίηση του εσωτερικού περιβάλλοντος (π.χ. θερμοκρασία, χημική ατμόσφαιρα και κατάσταση επιφάνειας) των θαλάμων, γεγονός που αποτρέπει αποτελεσματικά τις αποκλίσεις ή τα ελαττώματα στην πρώτη παρτίδα γκοφρετών προϊόντος που προκαλούνται από τη μη λειτουργία του εξοπλισμού στη βέλτιστη κατάσταση.

3.Παρακολούθηση σωματιδίων & έλεγχος μόλυνσης

Η κατασκευή ημιαγωγών έχει εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις καθαριότητας. Ακόμη και η μόλυνση μικροσκοπικών σωματιδίων μπορεί να οδηγήσει σε αστοχία του τσιπ. Μέσω της εξέτασης των σωματιδίων που προσκολλώνται στην επιφάνεια των εικονικών πλακών που τροφοδοτούνται στον εξοπλισμό, μπορεί να αξιολογηθεί η καθαρότητα του εξοπλισμού. Έτσι, οι γκοφρέτες προϊόντων μπορούν να προστατευθούν με επιτυχία από μόλυνση εντοπίζοντας έγκαιρα πιθανές πηγές μόλυνσης και εφαρμόζοντας διαδικασίες καθαρισμού ή συντήρησης.

4.Γέμισμα θυρίδας για ομοιομορφία παρτίδας

Για την επίτευξη της ροής αερίου, της κατανομής θερμοκρασίας και της συγκέντρωσης του αντιδρώντος στο θάλαμο διεργασίας, η λειτουργία πλήρους φορτίου είναι η κοινή πρακτική στον εξοπλισμό επεξεργασίας παρτίδων, όπως φούρνοι διάχυσης, κλίβανοι οξείδωσης ή δεξαμενές υγρού καθαρισμού. Οι εικονικές γκοφρέτες χρησιμοποιούνται για την πλήρωση των κενών υποδοχών στο σκάφος γκοφρέτας που δεν έχουν επαρκή αριθμό γκοφρετών προϊόντων, γεγονός που μπορεί να μειώσει το αποτέλεσμα των άκρων και να εξασφαλίσει συνεπείς συνθήκες επεξεργασίας για όλα τα γκοφρέτα προϊόντων, ιδιαίτερα για εκείνα που βρίσκονται στις άκρες του σκάφους γκοφρέτας.

5.Σταθεροποίηση Διαδικασιών Χημικής Μηχανικής Στίλβωσης (CMP).

Οι εικονικές γκοφρέτες μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν στο στάδιο προεπεξεργασίας της διαδικασίας CMP για τη διατήρηση της σταθερότητας της διαδικασίας. Οι δοκιμές πριν από την εκτέλεση με εικονικές γκοφρέτες βελτιστοποιούν την τραχύτητα και το πορώδες του στιλβωτικού μαξιλαριού, ελαχιστοποιούν τις αβεβαιότητες της διαδικασίας κατά τη φάση σταθεροποίησης εκκίνησης ή τη φάση μετάβασης πριν από το κλείσιμο και μειώνουν τις γρατσουνιές και τα ελαττώματα της πλακέτας που προκαλούνται από μη φυσιολογική παροχή πολτού και φθορά του διαφράγματος κεφαλής.

Το Semicorex προσφέρει οικονομικά αποδοτικόΟμοίωμα γκοφρέτες SiC. Εάν έχετε οποιαδήποτε απορία ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com