2023-06-26
Κατά την επεξεργασία, οι γκοφρέτες ημιαγωγών πρέπει συνήθως να θερμαίνονται σε εξειδικευμένο κλίβανο. Τέτοιοι κλίβανοι αποτελούνται συνήθως από μακρούς, λεπτούς, κυλινδρικούς σωλήνες. Οι γκοφρέτες τοποθετούνται στον κλίβανο και στον αντιδραστήρα με τέτοιο τρόπο ώστε να είναι διατεταγμένες κατά μήκος ενός επιπέδου που ορίζεται από την κυκλική διατομή του κλιβάνου ή του αντιδραστήρα και απέχουν μεταξύ τους σε προκαθορισμένα, συνήθως σε ίση απόσταση, σημεία κατά μήκος του κεντρικού άξονα του φούρνο ή αντιδραστήρα. Για να επιτευχθεί αυτή η τοποθέτηση, οι γκοφρέτες συνήθως τοποθετούνται σε υποδοχές με σχισμή, που ονομάζονται βάρκες γκοφρέτας, οι οποίες τοποθετούν τις γκοφρέτες σε μια διάταξη σε απόσταση ευθυγραμμισμένη κατά μήκος του κεντρικού άξονα.
Μικρές βάρκες που περιέχουν παρτίδες γκοφρέτες προς επεξεργασία τοποθετούνται σε μακριές κουπιά προβόλου μέσω των οποίων μπορούν να εισαχθούν και να αποσυρθούν σωληνοειδείς κλίβανοι και αντιδραστήρες. Τέτοια κουπιά τυπικά περιλαμβάνουν ένα επίπεδο τμήμα φορέα στο οποίο μπορούν να τοποθετηθούν ένα ή περισσότερα μικρά σκάφη, και μια μακριά λαβή, που βρίσκεται στο ένα άκρο του επίπεδου τμήματος φορέα, με το οποίο μπορούν να χειριστούν τα κουπιά. Ένα μεταβατικό τμήμα σχηματίζεται συνήθως μεταξύ της λαβής και του τμήματος φορέα για να γίνουν ένα σύνολο. Επίσης, η λαβή πρέπει να εκτείνεται έξω από τον κλίβανο ή τον αντιδραστήρα, έτσι ώστε να μπορούν να χειριστούν αυτή και το σκάφος γκοφρέτας.
Η τοποθέτηση του πλοίου γκοφρέτας μέσα στον κλίβανο ή τον αντιδραστήρα είναι σημαντική επειδή είναι επιθυμητό να τοποθετείται το κέντρο κάθε πλακιδίου όσο το δυνατόν πλησιέστερα στον κεντρικό άξονα του κλιβάνου ή του αντιδραστήρα για να επιτευχθούν ομοιόμορφες συνθήκες επεξεργασίας στις οποίες υποβάλλονται τα πλακίδια. Επομένως, η κάμψη του κουπιού που προκαλείται από το βάρος του πλοίου που μεταφέρει τις γκοφρέτες πρέπει να λαμβάνεται υπόψη στον σχεδιασμό του κουπιού, ειδικά επειδή το κουπί στηρίζεται μόνο στο ένα άκρο, δηλαδή στο άκρο που προεξέχει από τον θάλαμο του κλιβάνου. Εκτός από την εξέταση του σχεδιασμού του κουπιού που προκύπτει από τις απαιτήσεις λειτουργικού βάρους, πρέπει επίσης να χρησιμοποιηθεί ένα σύνολο σφιγκτήρων σχεδιασμένων να συγκρατούν με ακρίβεια το εκτεταμένο άκρο του κουπιού στη θέση του. Αυτοί οι σφιγκτήρες πρέπει να είναι αρκετά στιβαροί για να διατηρούν το κουπί σε μια ακριβώς επιθυμητή θέση ενώ είναι απλοί στη χρήση και ελαχιστοποιώντας την πιθανότητα ζημιάς στο κουπί κατά τη σύσφιξη.
Ως εκ τούτου, χρειαζόταν ένα κουπί πρόβολου που θα μπορούσε να χρησιμοποιηθεί με βαρύτερο φορτίο, ενώ θα παραμείνει συμβατό με τα υπάρχοντα συστήματα σύσφιξης. Υπήρχε επίσης η ανάγκη για ένα κουπί πρόβολου που να παρουσίαζε αποδεκτά χαρακτηριστικά παραμόρφωσης σε όλο το εύρος φορτίων βάρους με το οποίο θα μπορούσε να χρησιμοποιηθεί.
Το γΤο κουπί αντιμοχλού συνιστάται για τη χρήση ανακρυσταλλωμένου καρβιδίου του πυριτίου με λεπτό στρώμα CVD SiC, το οποίο είναι υψηλής καθαρότητας και η καλύτερη επιλογή για τα εξαρτήματα στην επεξεργασία ημιαγωγών.
Το Semicorex μπορεί να παρέχειυψηλή ποιότητακουπιά προβόλουκαιεξατομικευμένες υπηρεσίες σύμφωνα με τα σχέδια και το εργασιακό περιβάλλον.