2024-12-03
Μία από τις μοναδικές ιδιότητες των ημιαγωγών υλικών είναι ότι η αγωγιμότητά τους, καθώς και ο τύπος αγωγιμότητάς τους (τύπου N ή P-τύπου), μπορούν να δημιουργηθούν και να ελεγχθούν μέσω μιας διαδικασίας που ονομάζεται ντόπινγκ. Αυτό περιλαμβάνει την εισαγωγή εξειδικευμένων ακαθαρσιών, γνωστών ως προσμείξεων, στο υλικό για να σχηματιστούν συνδέσεις στην επιφάνεια της γκοφρέτας. Η βιομηχανία χρησιμοποιεί δύο κύριες τεχνικές ντόπινγκ: τη θερμική διάχυση και την εμφύτευση ιόντων.
Στη θερμική διάχυση, τα υλικά πρόσμιξης εισάγονται στην εκτεθειμένη επιφάνεια του ανώτερου στρώματος του πλακιδίου, τυπικά χρησιμοποιώντας ανοίγματα στο στρώμα διοξειδίου του πυριτίου. Εφαρμόζοντας θερμότητα, αυτά τα προσμείξεις διαχέονται στο σώμα της γκοφρέτας. Η ποσότητα και το βάθος αυτής της διάχυσης ρυθμίζονται από συγκεκριμένους κανόνες που προέρχονται από χημικές αρχές, οι οποίες υπαγορεύουν τον τρόπο με τον οποίο οι προσμείξεις κινούνται εντός της γκοφρέτας σε υψηλές θερμοκρασίες.
Αντίθετα, η εμφύτευση ιόντων περιλαμβάνει την έγχυση προσμίξεων απευθείας στην επιφάνεια του πλακιδίου. Τα περισσότερα από τα άτομα πρόσμιξης που εισάγονται παραμένουν ακίνητα κάτω από το επιφανειακό στρώμα. Παρόμοια με τη θερμική διάχυση, η κίνηση αυτών των εμφυτευμένων ατόμων ελέγχεται επίσης από κανόνες διάχυσης. Η εμφύτευση ιόντων έχει αντικαταστήσει σε μεγάλο βαθμό την παλαιότερη τεχνική θερμικής διάχυσης και είναι πλέον απαραίτητη για την παραγωγή μικρότερων και πιο περίπλοκων συσκευών.
Κοινές διαδικασίες και αιτήσεις ντόπινγκ
1. Ντόπινγκ διάχυσης: Σε αυτή τη μέθοδο, τα άτομα ακαθαρσίας διαχέονται σε ένα πλακίδιο πυριτίου χρησιμοποιώντας έναν κλίβανο διάχυσης υψηλής θερμοκρασίας, ο οποίος σχηματίζει ένα στρώμα διάχυσης. Αυτή η τεχνική χρησιμοποιείται κυρίως για την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και μικροεπεξεργαστών μεγάλης κλίμακας.
2. Ντόπινγκ εμφύτευσης ιόντων: Αυτή η διαδικασία περιλαμβάνει απευθείας έγχυση ιόντων ακαθαρσίας στη γκοφρέτα πυριτίου με εμφυτευτή ιόντων, δημιουργώντας ένα στρώμα εμφύτευσης ιόντων. Επιτρέπει υψηλή συγκέντρωση ντόπινγκ και ακριβή έλεγχο, καθιστώντας το κατάλληλο για την παραγωγή τσιπ υψηλής ενσωμάτωσης και υψηλής απόδοσης.
3. Ντόπινγκ από χημική εναπόθεση ατμών: Σε αυτή την τεχνική, ένα ντοπαρισμένο φιλμ, όπως το νιτρίδιο του πυριτίου, σχηματίζεται στην επιφάνεια του πλακιδίου πυριτίου μέσω χημικής εναπόθεσης ατμών. Αυτή η μέθοδος προσφέρει εξαιρετική ομοιομορφία και επαναληψιμότητα, καθιστώντας την ιδανική για την κατασκευή εξειδικευμένων τσιπ.
4. Επιταξιακό ντόπινγκ: Αυτή η προσέγγιση περιλαμβάνει την ανάπτυξη ενός ντοπαρισμένου στρώματος μονοκρυστάλλου, όπως το γυαλί πυριτίου με πρόσμειξη φωσφόρου, επιταξιακά σε ένα μόνο κρυσταλλικό υπόστρωμα. Είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για τη δημιουργία αισθητήρων υψηλής ευαισθησίας και υψηλής σταθερότητας.
5. Μέθοδος διαλύματος: Η μέθοδος διαλύματος επιτρέπει τη μεταβολή των συγκεντρώσεων ντόπινγκ ελέγχοντας τη σύνθεση του διαλύματος και το χρόνο βύθισης. Αυτή η τεχνική είναι εφαρμόσιμη σε πολλά υλικά, ειδικά σε αυτά με πορώδεις δομές.
6. Μέθοδος εναπόθεσης ατμών: Αυτή η μέθοδος περιλαμβάνει το σχηματισμό νέων ενώσεων αντιδρώντας εξωτερικά άτομα ή μόρια με αυτά στην επιφάνεια του υλικού, ελέγχοντας έτσι τα υλικά ντόπινγκ. Είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για ντόπινγκ λεπτών μεμβρανών και νανοϋλικών.
Κάθε τύπος διαδικασίας ντόπινγκ έχει τα μοναδικά χαρακτηριστικά και το εύρος των εφαρμογών του. Σε πρακτικές χρήσεις, είναι σημαντικό να επιλέγεται η κατάλληλη διαδικασία ντόπινγκ με βάση συγκεκριμένες ανάγκες και ιδιότητες υλικού για να επιτευχθούν βέλτιστα αποτελέσματα ντόπινγκ.
Η τεχνολογία ντόπινγκ έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών σε διάφορους τομείς:
Ως κρίσιμη τεχνική τροποποίησης υλικού, η τεχνολογία ντόπινγκ είναι αναπόσπαστο κομμάτι σε πολλαπλά πεδία. Η συνεχής βελτίωση και βελτίωση της διαδικασίας ντόπινγκ είναι απαραίτητη για την επίτευξη υλικών και συσκευών υψηλής απόδοσης.
Προσφορές Semicorexυψηλής ποιότητας λύσεις SiCγια τη διαδικασία διάχυσης ημιαγωγών. Εάν έχετε οποιαδήποτε απορία ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.
Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907
Email: sales@semicorex.com