Διάφορες εφαρμογές του χαλαζία στην κατασκευή ημιαγωγών

Με την πρώτη ματιά,υλικό χαλαζία (SiO2).μοιάζει πολύ με το γυαλί, αλλά το ιδιαίτερο είναι ότι το συνηθισμένο γυαλί αποτελείται από πολλά συστατικά (όπως χαλαζιακή άμμος, βόρακας, βορικό οξύ, βαρίτης, ανθρακικό βάριο, ασβεστόλιθος, άστριος, ανθρακικό σόδα κ.λπ.), ενώ ο χαλαζίας περιέχει μόνο SiO2, και η μικροδομή του είναι ένα απλό δίκτυο που αποτελείται από τετραεδρικές δομικές μονάδες διοξειδίου του πυριτίου.

Επειδή η ποσότητα των μεταλλικών ακαθαρσιών που περιέχονται σεχαλαζίαςείναι πολύ μικρό και η καθαρότητά του είναι εξαιρετικά υψηλή, ο ίδιος ο χαλαζίας έχει χαρακτηριστικά και πλεονεκτήματα που άλλα γυαλιά δεν μπορούν να δείξουν, και είναι γνωστός ως το «στεφάνι» των γυάλινων υλικών. Για παράδειγμα, όσον αφορά την αντοχή στη θερμότητα, ο χαλαζίας δεν θα εκραγεί ακόμα κι αν τοποθετηθεί αμέσως στο νερό αφού καεί κόκκινο στη φωτιά. Πιο συγκεκριμένα πλεονεκτήματα είναι τα εξής:

1. Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία. Το σημείο μαλάκυνσης του γυαλιού χαλαζία είναι περίπου 1730℃ και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για μεγάλο χρονικό διάστημα στους 1150℃ και η μέγιστη θερμοκρασία μπορεί να φτάσει τους 1450℃ για σύντομο χρονικό διάστημα.

2. Αντοχή στη διάβρωση. Εκτός από το υδροφθορικό οξύ, ο χαλαζίας υψηλής καθαρότητας δεν έχει σχεδόν καμία χημική αντίδραση με άλλες όξινες ουσίες. Σε υψηλές θερμοκρασίες, μπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση από θειικό οξύ, νιτρικό οξύ, υδροχλωρικό οξύ, aqua regia, ουδέτερα άλατα, άνθρακα και θείο. Η αντοχή του στα οξέα είναι 30 φορές μεγαλύτερη από αυτή των κεραμικών και 150 φορές μεγαλύτερη από αυτή του ανοξείδωτου χάλυβα. Ειδικά η χημική του σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες είναι απαράμιλλη από οποιοδήποτε άλλο υλικό μηχανικής.

3. Καλή θερμική σταθερότητα. Ο χαλαζίας υψηλής καθαρότητας έχει πολύ μικρό συντελεστή θερμικής διαστολής και μπορεί να αντέξει δραστικές αλλαγές θερμοκρασίας. Όταν ο χαλαζίας υψηλής καθαρότητας θερμαίνεται στους 1100°C περίπου, δεν θα εκραγεί όταν τοποθετηθεί σε νερό σε θερμοκρασία δωματίου.

4. Καλή μετάδοση φωτός. Ο χαλαζίας υψηλής καθαρότητας έχει καλή διαπερατότητα φωτός σε ολόκληρο το φάσμα από το υπεριώδες έως το υπέρυθρο και η μετάδοση του ορατού φωτός είναι πάνω από 93%, ειδικά στην περιοχή του υπεριώδους φάσματος, η μέγιστη διαπερατότητα μπορεί να φτάσει περισσότερο από 80%.

5. Καλή απόδοση ηλεκτρικής μόνωσης. Η τιμή αντίστασης του χαλαζία υψηλής καθαρότητας είναι ισοδύναμη με 10.000 φορές αυτή του συνηθισμένου γυαλιού χαλαζία. Είναι ένα εξαιρετικό ηλεκτρομονωτικό υλικό και έχει καλές ηλεκτρικές ιδιότητες ακόμα και σε υψηλές θερμοκρασίες.

Χάρη σε αυτές τις εξαιρετικές φυσικές και χημικές ιδιότητες, τα υλικά χαλαζία υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιούνται ευρέως στη σύγχρονη ηλεκτρονική τεχνολογία, ημιαγωγούς, επικοινωνίες, πηγές ηλεκτρικού φωτός, ηλιακή ενέργεια, όργανα μέτρησης εθνικής άμυνας υψηλής ακρίβειας, εργαστηριακά φυσικά και χημικά όργανα, πυρηνική ενέργεια, νανοβιομηχανία, κ.λπ. Ειδικότερα, στην ταχέως αναπτυσσόμενη βιομηχανία ημιαγωγών, η κλίμακα των πλακών πυριτίου έχει αυξηθεί, έτσι οι κατασκευαστές τσιπ έχουν μεγάλη ζήτηση για διάφορα εξαρτήματα χαλαζία. Ωστόσο, πρέπει επίσης να σημειωθεί ότι για την αποφυγή μόλυνσης κατά τη διαδικασία επεξεργασίας, πρέπει να διασφαλίζεται η υψηλή καθαρότητα του υλικού χαλαζία κατά τη χρήση.

Στη βιομηχανία ημιαγωγών,χαλαζίαςχρησιμοποιείται ευρέως και τα προϊόντα χαλαζία υψηλής καθαρότητας είναι σημαντικά αναλώσιμα στην παραγωγή γκοφρέτας. Τα μέρη χαλαζία, όπως χωνευτήρια, κρυστάλλινα σκάφη και σωλήνες πυρήνα κλιβάνου διάχυσης που χρησιμοποιούνται για την παραγωγή μονοκρυστάλλων πυριτίου, πρέπει να χρησιμοποιούν προϊόντα από γυαλί χαλαζία υψηλής καθαρότητας. Η κύρια εφαρμογή στην αγορά-στόχο των εξαρτημάτων χαλαζία στον τομέα των ημιαγωγών είναι η διαδικασία διάχυσης και χάραξης στο χυτήριο γκοφρετών. Μπορούν να χωριστούν σε δύο κατηγορίες: συσκευές ζώνης υψηλής θερμοκρασίας και συσκευές ζώνης χαμηλής θερμοκρασίας. Οι κύριες συσκευές που χρησιμοποιούνται είναι οι εξής:

1. Οι συσκευές ζώνης υψηλής θερμοκρασίας είναι κυρίως σωλήνες κλιβάνου, γυάλινες βάρκες κ.λπ. που χρησιμοποιούνται στην οξείδωση διάχυσης και σε άλλους συνδέσμους, οι οποίοι πρέπει να έρχονται άμεσα ή έμμεσα σε επαφή με πλακίδια πυριτίου σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας. αγοράζονται κυρίως υλικά από λιωμένο γυαλί χαλαζία και παράγονται μέσω θερμικής επεξεργασίας.

2. Οι συσκευές ζώνης χαμηλής θερμοκρασίας περιλαμβάνουν κυρίως δακτυλίους χαλαζία που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία χάραξης, καθώς και καλάθια λουλουδιών και δεξαμενές καθαρισμού που χρησιμοποιούνται στη διαδικασία καθαρισμού. Χρησιμοποιούνται κυρίως σε περιβάλλοντα χαμηλής θερμοκρασίας. Αγοράζουν κυρίως γυαλί χαλαζία διυλισμένο με αέριο και παράγονται με ψυχρή επεξεργασία.

Το Semicorex προσφέρει υψηλή ποιότηταμέρη χαλαζίασε επίπεδο ημιαγωγών. Εάν έχετε οποιαδήποτε απορία ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com