Τεχνολογία επιταξίας γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου

Καρβίδιο του πυριτίουχρησιμοποιεί γενικά τη μέθοδο PVT, με θερμοκρασία μεγαλύτερη από 2000 βαθμούς, μακρύ κύκλο επεξεργασίας και χαμηλή απόδοση, επομένως το κόστος των υποστρωμάτων καρβιδίου του πυριτίου είναι πολύ υψηλό. Η επιταξιακή διαδικασία του καρβιδίου του πυριτίου είναι βασικά η ίδια με αυτή του πυριτίου, εκτός από τη σχεδίαση θερμοκρασίας και τη δομική σχεδίαση του εξοπλισμού. Όσον αφορά την προετοιμασία της συσκευής, λόγω της ιδιαιτερότητας του υλικού, η διαδικασία της συσκευής διαφέρει από το πυρίτιο καθώς χρησιμοποιεί διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας, όπως εμφύτευση ιόντων σε υψηλή θερμοκρασία, οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία και διεργασίες ανόπτησης σε υψηλή θερμοκρασία.

Εάν θέλετε να μεγιστοποιήσετε τα χαρακτηριστικά τουΚαρβίδιο του πυριτίουαπό μόνη της, η πιο ιδανική λύση είναι η ανάπτυξη μιας επιταξιακής στρώσης σε ένα μονοκρυσταλλικό υπόστρωμα καρβιδίου πυριτίου. Μια επιταξιακή γκοφρέτα καρβιδίου πυριτίου αναφέρεται σε μια γκοφρέτα καρβιδίου πυριτίου στην οποία αναπτύσσεται ένα λεπτό κρύσταλλο λεπτό φιλμ (επιταξιακό στρώμα) με ορισμένες απαιτήσεις και ο ίδιος κρύσταλλος με το υπόστρωμα σε ένα υπόστρωμα καρβιδίου πυριτίου.

Υπάρχουν τέσσερις μεγάλες εταιρείες στην αγορά για τον κύριο εξοπλισμό τουΕπιταξιακά υλικά καρβιδίου πυριτίου:

[1]Aixtronστη Γερμανία: χαρακτηρίζεται από σχετικά μεγάλη παραγωγική ικανότητα.

[2]LPEστην Ιταλία, ο οποίος είναι ένας μικροϋπολογιστής ενός chip με πολύ υψηλό ρυθμό ανάπτυξης.

[3]ΤΗΛκαιNuflareστην Ιαπωνία, της οποίας ο εξοπλισμός είναι πολύ ακριβός, και δεύτερον, η διπλή κοιλότητα, η οποία έχει κάποια επίδραση στην αύξηση της παραγωγής. Ανάμεσά τους, το Nuflare είναι μια πολύ χαρακτηριστική συσκευή που κυκλοφόρησε τα τελευταία χρόνια. Μπορεί να περιστρέφεται με υψηλή ταχύτητα, έως και 1.000 στροφές το λεπτό, κάτι που είναι πολύ ευεργετικό για την ομοιομορφία της επιταξίας. Ταυτόχρονα, η κατεύθυνση ροής αέρα του είναι διαφορετική από τον άλλο εξοπλισμό, ο οποίος είναι κατακόρυφα προς τα κάτω, ώστε να αποφύγει τη δημιουργία κάποιων σωματιδίων και να μειώσει την πιθανότητα να στάζει πάνω στη γκοφρέτα.

Από την άποψη του επιπέδου εφαρμογής τερματικού, τα υλικά καρβιδίου πυριτίου έχουν ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών σε σιδηροδρομικές γραμμές υψηλής ταχύτητας, ηλεκτρονικά αυτοκινήτων, έξυπνο δίκτυο, φωτοβολταϊκό μετατροπέα, βιομηχανικό ηλεκτρομηχανικό, κέντρο δεδομένων, λευκά είδη, ηλεκτρονικά είδη ευρείας κατανάλωσης, επικοινωνία 5G, επόμενο- προβολής γενιάς και άλλων τομέων, και το δυναμικό της αγοράς είναι τεράστιο.

Το Semicorex προσφέρει υψηλή ποιότηταΑνταλλακτικά επίστρωσης CVD SiCγια την επιταξιακή ανάπτυξη του SiC. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com