Τι είναι ένα σκάφος SiC και ποιες είναι οι διάφορες διαδικασίες κατασκευής του;

1. Οι Διαφορετικές Διαδικασίες Παραγωγής τουSiC Boat

(1) Επικάλυψη μιας στρώσης απόΤαινία SiCστην επιφάνεια του γραφίτηκρυστάλλινα σκάφημέσω CVD

Αυτός ο τύπος σκάφους έχει πυρήνα γραφίτη, ο οποίος είναι επεξεργασμένος σε ένα κομμάτι. Ωστόσο,ο γραφίτης είναι πορώδηςκαι επιρρεπείς στη δημιουργία σωματιδίων, που απαιτούν την εφαρμογή του αΕπικάλυψη μεμβράνης SiCστην επιφάνειά του. Λόγω της αναντιστοιχίας του συντελεστή θερμικής διαστολής (CTE) μεταξύ του σώματος γραφίτη και τουΤαινία SiC, η επίστρωση είναι πιθανό να αποκολληθεί μετά από πολλαπλούς κύκλους θέρμανσης και ψύξης, οδηγώντας σε μόλυνση από σωματίδια. Αυτά τα σκάφη είναι τα φθηνότερα και έχουν διάρκεια ζωής περίπου ένα χρόνο.

(2) Επικάλυψη μιας στρώσης απόΤαινία SiCσε ανακρυσταλλωμένοΚρυστάλλινα σκάφη SiC

Ανακρυσταλλώθηκεβάρκες SiCείναι επίσης πορώδη και μπορούν εύκολα να δημιουργήσουν σωματίδια. Ως εκ τούτου, τα επιμέρους συστατικά του ανακρυσταλλώνονταιβάρκες SiCπρέπει να προ-σχηματιστεί, να πυροσυσσωματωθεί και στη συνέχεια να κατεργαστεί χωριστά. Στη συνέχεια, τα συστατικά συνδέονται μεταξύ τους σε υψηλές θερμοκρασίες χρησιμοποιώντας πάστα Si. Μόλις συναρμολογηθεί σε ένα μόνο σκάφος, αΤαινία SiCεφαρμόζεται μέσω CVD. Αυτό ανακρυσταλλώθηκεΣκάφος SiCέχει τη μεγαλύτερη διαδικασία κατασκευής και είναι δαπανηρή, αλλά η επιφάνειαCVD επίστρωσημπορεί επίσης να καταστραφεί, με διάρκεια ζωής περίπου τριών ετών.

(3)ΜονολιθικόςΚρυστάλλινα σκάφη SiC

Αυτά ταβάρκεςαποτελούνται εξ ολοκλήρου από υλικό SiC. Η σκόνη SiC πρέπει να καλουπωθεί και να πυροσυσσωματωθεί σε σχήμα μονολιθικού σκάφους. Εξαιρετικά δαπανηρά, είναι πολύ ανθεκτικά και λιγότερο πιθανό να δημιουργήσουν σωματίδια. Ωστόσο, αυτά τα σκάφη περιέχουν 10-15% ελεύθερο πυρίτιο, το οποίο είναι ευαίσθητο στη διάβρωση από το φθόριο και το χλώριο, οδηγώντας σε μόλυνση από σωματίδια.

2. Γιατί δεν συνιστάται το στεγνό καθάρισμα;

Συνοπτικά, γιαβάρκες SiCεπικαλυμμένο με αΦιλμ SiC μέσω CVD, η επιφανειακή επίστρωση είναι επιρρεπής σε ξεφλούδισμα κατά το στεγνό καθάρισμα, γεγονός που προκαλεί μόλυνση από σωματίδια. Για μονολιθικόβάρκες SiCπου περιέχουν μικρή ποσότητα ελεύθερου πυριτίου, η έκθεση σε αέρια που περιέχουν φθόριο ή χλώριο μπορεί να οδηγήσει σε διάβρωση και δημιουργία σωματιδίων, προκαλώντας έτσι μόλυνση.**