Εξοπλισμός LPE

Στον τομέα της κατασκευής συσκευών ημιαγωγών, ο ακριβής έλεγχος της ανάπτυξης κρυστάλλων είναι πρωταρχικής σημασίας για την επίτευξη υψηλής ποιότητας και αξιόπιστων συσκευών. Μια τεχνική που έχει παίξει καθοριστικό ρόλο σε αυτόν τον τομέα είναι η Επιταξία Υγρής Φάσης (LPE).

Θεμελιώδεις αρχές του LPE:

Η επιταξία, γενικά, αναφέρεται στην ανάπτυξη ενός κρυσταλλικού στρώματος σε ένα υπόστρωμα με παρόμοια δομή πλέγματος. Το LPE, μια αξιοσημείωτη επιταξιακή τεχνική, περιλαμβάνει τη χρήση ενός υπερκορεσμένου διαλύματος του υλικού που πρόκειται να αναπτυχθεί. Το υπόστρωμα, συνήθως μονοκρυσταλλικό, έρχεται σε επαφή με αυτό το διάλυμα για συγκεκριμένη διάρκεια. Όταν οι σταθερές του πλέγματος του υποστρώματος και του υλικού που πρόκειται να αναπτυχθεί ταιριάζουν στενά, το υλικό κατακρημνίζεται πάνω στο υπόστρωμα ενώ διατηρεί την κρυσταλλική ποιότητα. Αυτή η διαδικασία έχει ως αποτέλεσμα το σχηματισμό ενός επιταξιακού στρώματος που ταιριάζει με πλέγμα.

Εξοπλισμός LPE:

Έχουν αναπτυχθεί αρκετοί τύποι συσκευών ανάπτυξης για LPE, καθένας από τους οποίους προσφέρει μοναδικά πλεονεκτήματα για συγκεκριμένες εφαρμογές:

Ανατρεπόμενος φούρνος:

Το υπόστρωμα τοποθετείται στο ένα άκρο ενός σκάφους γραφίτη μέσα σε ένα σωλήνα χαλαζία.

Η λύση βρίσκεται στην άλλη άκρη του σκάφους γραφίτη.

Ένα θερμοστοιχείο που συνδέεται με το σκάφος ελέγχει τη θερμοκρασία του κλιβάνου.

Η ροή του υδρογόνου μέσω του συστήματος αποτρέπει την οξείδωση.

Ο κλίβανος ανατρέπεται αργά για να φέρει το διάλυμα σε επαφή με το υπόστρωμα.

Μετά την επίτευξη της επιθυμητής θερμοκρασίας και την ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος, ο κλίβανος ανατρέπεται στην αρχική του θέση.

Κάθετος Φούρνος:

Σε αυτή τη διαμόρφωση, το υπόστρωμα βυθίζεται στο διάλυμα.

Αυτή η μέθοδος παρέχει μια εναλλακτική προσέγγιση στον κλίβανο ανατροπής, επιτυγχάνοντας την απαραίτητη επαφή μεταξύ του υποστρώματος και του διαλύματος.

Φούρνος Multibin:

Πολλαπλά διαλύματα φυλάσσονται σε διαδοχικούς κάδους σε αυτή τη συσκευή.

Το υπόστρωμα μπορεί να έρθει σε επαφή με διαφορετικά διαλύματα, επιτρέποντας τη διαδοχική ανάπτυξη πολλών επιταξιακών στρωμάτων.

Αυτός ο τύπος κλιβάνου χρησιμοποιείται ευρέως για την κατασκευή πολύπλοκων κατασκευών όπως αυτές που χρειάζονται για συσκευές λέιζερ.

Εφαρμογές LPE:

Από την αρχική του επίδειξη το 1963, το LPE έχει χρησιμοποιηθεί με επιτυχία στην κατασκευή διαφόρων σύνθετων συσκευών ημιαγωγών III-V. Αυτά περιλαμβάνουν λέιζερ έγχυσης, διόδους εκπομπής φωτός, φωτοανιχνευτές, ηλιακά κύτταρα, διπολικά τρανζίστορ και τρανζίστορ φαινομένου πεδίου. Η ευελιξία και η ικανότητά του να παράγει επιταξιακά στρώματα υψηλής ποιότητας που ταιριάζουν με πλέγμα καθιστούν το LPE ακρογωνιαίο λίθο στην ανάπτυξη προηγμένων τεχνολογιών ημιαγωγών.

Το Liquid-Phase Epitaxy αποτελεί απόδειξη της ευρηματικότητας και της ακρίβειας που απαιτείται στην κατασκευή συσκευών ημιαγωγών. Κατανοώντας τις αρχές της κρυσταλλικής ανάπτυξης και αξιοποιώντας τις δυνατότητες της συσκευής LPE, οι ερευνητές και οι μηχανικοί μπόρεσαν να δημιουργήσουν εξελιγμένες συσκευές ημιαγωγών με εφαρμογές που κυμαίνονται από τις τηλεπικοινωνίες έως τις ανανεώσιμες πηγές ενέργειας. Καθώς η τεχνολογία συνεχίζει να προοδεύει, το LPE παραμένει ένα ζωτικό εργαλείο στο οπλοστάσιο των τεχνικών που διαμορφώνουν το μέλλον της τεχνολογίας ημιαγωγών.

Το Semicorex προσφέρει υψηλή ποιότηταΑνταλλακτικά CVD SiC για LPEμε προσαρμοσμένη υπηρεσία. Εάν έχετε οποιαδήποτε απορία ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com