Τι είναι ο φούρνος διάχυσης;

Ένας κλίβανος διάχυσης είναι ένα εξειδικευμένο κομμάτι εξοπλισμού που χρησιμοποιείται για την εισαγωγή ακαθαρσιών σε γκοφρέτες ημιαγωγών με ελεγχόμενο τρόπο. Αυτές οι ακαθαρσίες, που ονομάζονται προσμίξεις, αλλάζουν τις ηλεκτρικές ιδιότητες των ημιαγωγών, επιτρέποντας την κατασκευή διαφορετικών τύπων ηλεκτρονικών εξαρτημάτων. Αυτή η διαδικασία ελεγχόμενης διάχυσης είναι κρίσιμη για την παραγωγή τρανζίστορ, διόδων και ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.

Οι φούρνοι διάχυσης αποτελούνται από πολλά βασικά εξαρτήματα, συμπεριλαμβανομένων των σωλήνων διεργασίας, των θερμαντικών στοιχείων, των μηχανισμών εισαγωγής αέρα και των συστημάτων ελέγχου. Ο σωλήνας διεργασίας λειτουργεί ως θάλαμος όπου τοποθετείται η γκοφρέτα. Αντέχει σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά αέρια, καθιστώντας το ιδανικό υλικό για αυτή την εφαρμογή.

Τα θερμαντικά στοιχεία, παρέχουν την απαραίτητη θερμότητα για να ανεβάσουν τη θερμοκρασία του κλιβάνου στο επιθυμητό επίπεδο. Οι θερμοκρασίες σε κλιβάνους διάχυσης είναι συνήθως υψηλές έως 1200°C. Προκειμένου να εξασφαλιστεί ομοιόμορφη θέρμανση, τα θερμαντικά στοιχεία είναι συχνά διατεταγμένα σε ελικοειδές σχήμα.

Ένας μηχανισμός εισαγωγής αερίου χρησιμοποιείται για την εισαγωγή ρευστοποιητικού αερίου στον κλίβανο. Τα κοινά πρόσθετα περιλαμβάνουν το βόριο, τον φώσφορο και το αρσενικό, ανάλογα με τις επιθυμητές ηλεκτρικές ιδιότητες του τελικού προϊόντος ημιαγωγού. Ένα σύστημα ελέγχου ρυθμίζει τη ροή του ρυπογόνου αερίου, διατηρώντας τον ακριβή έλεγχο της διαδικασίας διάχυσης.

Οι φούρνοι διάχυσης χρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών. Χρησιμοποιούνται στη διαδικασία ντόπινγκ που δημιουργεί συνδέσεις pn σε τρανζίστορ και διόδους. Οι φούρνοι διάχυσης διαδραματίζουν επίσης ζωτικό ρόλο στην κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, όπου πολλαπλά στρώματα διαφορετικών ημιαγωγών στοιβάζονται και διασυνδέονται.

Επιπλέον, οι κλίβανοι διάχυσης είναι απαραίτητες για την κατασκευή προηγμένων συσκευών ημιαγωγών όπως τα power MOSFET (Transistors Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors) και τα Insulated Gate Bipolar Transistors (IGBT). Αυτές οι συσκευές είναι τόσο σημαντικές στην τεχνολογία ηλεκτρονικών ισχύος και ανανεώσιμων πηγών ενέργειας που οι φούρνοι διάχυσης αποτελούν αναπόσπαστο κομμάτι της παραγωγής τους.

Οι φούρνοι διάχυσης είναι κρίσιμα εργαλεία στην κατασκευή ημιαγωγών, επιτρέποντας την ελεγχόμενη εισαγωγή προσμείξεων σε γκοφρέτες ημιαγωγών. Αυτοί οι φούρνοι αποτελούν αναπόσπαστο μέρος της παραγωγής διαφόρων συσκευών ημιαγωγών όπως τρανζίστορ, διόδους και ολοκληρωμένα κυκλώματα. Καθώς η τεχνολογία προχωρά, οι δυνατότητες των κλιβάνων διάχυσης συνεχίζουν να αυξάνονται, επιτρέποντας πιο ακριβείς και αξιόπιστες διαδικασίες παραγωγής. Η βιομηχανία ημιαγωγών βασίζεται σε μεγάλο βαθμό σε αυτούς τους κλιβάνους για να καλύψει την αυξανόμενη ζήτηση για προηγμένο ηλεκτρονικό εξοπλισμό.

Η Semicorex κατασκευάζει προσαρμοσμένα εξαρτήματα SiC για κλιβάνους διάχυσης. Εάν έχετε οποιαδήποτε απορία ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com