Σχετικά με ελαττώματα κρυστάλλων SiC - Micropipe

Το υπόστρωμα SiC μπορεί να έχει μικροσκοπικά ελαττώματα, όπως εξάρθρωση βίδας σπειρώματος (TSD), εξάρθρωση ακμών σπειρώματος (TED), εξάρθρωση επιπέδου βάσης (BPD) και άλλα. Αυτά τα ελαττώματα προκαλούνται από αποκλίσεις στη διάταξη των ατόμων σε ατομικό επίπεδο. Οι κρύσταλλοι SiC μπορεί επίσης να έχουν μακροσκοπικές εξαρθρώσεις, όπως εγκλείσματα Si ή C, μικροσωλήνες, εξαγωνικά κενά, πολύμορφα κ.λπ. Αυτά τα εξαρθρήματα είναι τυπικά μεγάλα σε μέγεθος.

Ένα από τα σημαντικότερα ζητήματα στην κατασκευή συσκευών SiC είναι οι τρισδιάστατες μικροδομές γνωστές ως "μικροσωλήνες" ή "pinholes", οι οποίες έχουν συνήθως μέγεθος 30-40um και 0,1-5um αντίστοιχα. Αυτοί οι μικροσωλήνες έχουν πυκνότητα 10-10³/cm² και μπορούν να διεισδύσουν στην επιταξιακή στιβάδα, με αποτέλεσμα ελαττώματα της συσκευής-δολοφονίας. Προκαλούνται κυρίως από τη ομαδοποίηση των σπειροειδών εξαρθρώσεων και θεωρούνται το κύριο εμπόδιο στην ανάπτυξη συσκευών SiC.

Microtubule defects on the substrate are the source of other defects formed in the epitaxial layer during the growth process, such as voids, inclusions of various polymorphs, twins, etc. Therefore, the most important thing to do during the growth process of the substrate material for high-voltage and high-power SiC devices is to reduce the formation of microtubule defects in bulk SiC crystals and to prevent them from entering the epitaxial layer.

Ο μικροσωλήνας μπορεί να θεωρηθεί ως μικρά κοιλώματα και βελτιστοποιώντας τις συνθήκες της διαδικασίας μπορούμε να "γεμίσουμε τα κοιλώματα" για να μειώσουμε την πυκνότητα του μικροσωλήνα. Αρκετές μελέτες στη βιβλιογραφία και πειραματικά δεδομένα έχουν δείξει ότι η επιταξία εξάτμισης, η ανάπτυξη CVD και η επιταξία υγρής φάσης μπορούν να γεμίσουν τον μικροσωλήνα και να μειώσουν το σχηματισμό μικροσωλήνων και εξαρθρώσεων.

Το Semicorex χρησιμοποιεί την τεχνική MOCVD για τη δημιουργία επικαλύψεων SiC που μειώνουν αποτελεσματικά την πυκνότητα των μικροσωλήνων, με αποτέλεσμα προϊόντα κορυφαίας ποιότητας. Εάν έχετε οποιαδήποτε απορία ή χρειάζεστε πρόσθετες λεπτομέρειες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com