Το υπόστρωμα SOI (Silicon-On-Insulator) είναι μια δομή στην οποία ένα μονωτικό στρώμα οξειδίου του πυριτίου (SiO2) εισάγεται μεταξύ ενός ανώτερου στρώματος πυριτίου και ενόςυπόστρωμα πυριτίου, και τα ολοκληρωμένα κυκλώματα κατασκευάζονται στο επάνω λεπτό στρώμα πυριτίου. Αυτή η τεχνολογία χρήσης υλικών SOI για την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων ονομάζεται τεχνολογία SOI.
1. Διαχωρισμός με εμφυτευμένο οξυγόνο (SIMOX)
2. Συγκόλληση και χαλάρωση SOI (BESOI)
3. Τεχνολογία έξυπνης κοπής.
1. Χαμηλό ρεύμα διαρροής υποστρώματος
Η παρουσία ενός μονωτικού στρώματος SiO2 απομονώνει αποτελεσματικά το τρανζίστορ από το υποκείμενο υπόστρωμα πυριτίου. Αυτή η απομόνωση μειώνει το ανεπιθύμητο ρεύμα από το ενεργό στρώμα στο υπόστρωμα. Το ρεύμα διαρροής αυξάνεται με τη θερμοκρασία, βελτιώνοντας έτσι σημαντικά την αξιοπιστία του τσιπ σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας.
2. Μειωμένη παρασιτική χωρητικότητα
Λόγω της ύπαρξης παρασιτικής χωρητικότητας, οι πρόσθετες καθυστερήσεις αναπόφευκτα προκύπτουν στη μετάδοση του σήματος. Η χρήση υλικών SOI για τη μείωση αυτών των παρασιτικών χωρητικοτήτων είναι κοινή πρακτική σε τσιπ υψηλής ταχύτητας ή χαμηλής ισχύος. Σε σύγκριση με τα συμβατικά τσιπ που κατασκευάζονται με διαδικασίες CMOS, τα τσιπ SOI μπορούν να επιτύχουν 15% υψηλότερη ταχύτητα και 20% χαμηλότερη κατανάλωση ενέργειας.
3. Απομόνωση θορύβου
Σε εφαρμογές μικτού σήματος, ο ηλεκτρικός θόρυβος που δημιουργείται από ψηφιακά κυκλώματα μπορεί να επηρεάσει τα κυκλώματα αναλογικών ή ραδιοσυχνοτήτων (RF), γεγονός που θα οδηγήσει σε μείωση της συνολικής απόδοσης του συστήματος. Το μονωτικό στρώμα SiO2 στη δομή SOI απομονώνει το στρώμα ενεργού πυριτίου από το υπόστρωμα, παρέχοντας έτσι μια εγγενή απομόνωση θορύβου. Αυτό σημαίνει ότι ο θόρυβος που δημιουργείται από τα ψηφιακά κυκλώματα μπορεί να αποτραπεί αποτελεσματικά από τη διάδοση μέσω του υποστρώματος σε ευαίσθητα αναλογικά κυκλώματα.
1. Τομέας ηλεκτρονικών ειδών ευρείας κατανάλωσης
ΑπόΥποστρώματα SOIμπορεί να βελτιώσει σημαντικά την απόδοση συσκευών όπως φίλτρα ραδιοσυχνοτήτων και ενισχυτές ισχύος και να επιτύχει ταχύτερη μετάδοση σήματος και χαμηλότερη κατανάλωση ενέργειας. Χρησιμοποιούνται ευρέως στην κατασκευή τσιπ για έξυπνες φορητές συσκευές, όπως έξυπνα ρολόγια και συσκευές παρακολούθησης της υγείας, και RF μπροστινές μονάδες κινητών τηλεφώνων και tablet.
2. Ηλεκτρονικά αυτοκινήτων
Χάρη στην εξαιρετική απόδοση αντοχής σε περίπλοκες ηλεκτρομαγνητικές συνθήκες, τα υποστρώματα SOI είναι κατάλληλα για την κατασκευή τσιπ διαχείρισης ισχύος αυτοκινήτου και εφαρμογές στα συστήματα αυτόνομης οδήγησης.
3. Τομείς αεροδιαστημικής και άμυνας
Τα υποστρώματα SOI προσφέρουν αξιοσημείωτη αξιοπιστία και αντοχή σε παρεμβολές ακτινοβολίας και είναι σε θέση να ανταποκριθούν στις αυστηρές απαιτήσεις του εξοπλισμού δορυφορικής επικοινωνίας και των στρατιωτικών ηλεκτρονικών συστημάτων για υψηλή ακρίβεια και υψηλή αξιοπιστία.
4. Διαδίκτυο των πραγμάτων (IoT)
Με την αύξηση του όγκου δεδομένων IoT, η ζήτηση για λειτουργία χαμηλού κόστους και υψηλής ακρίβειας αυξάνεται. Επωφελούμενοι από τη χαμηλή κατανάλωση ενέργειας και τα πλεονεκτήματα υψηλής απόδοσης, τα υποστρώματα SOI ευθυγραμμίζονται απόλυτα με τις απαιτήσεις του IoT και υιοθετούνται εκτενώς στην κατασκευή τσιπ κόμβων αισθητήρων και τσιπ υπολογιστικών άκρων.
5. Εμφυτεύσιμες Ιατρικές Συσκευές στον τομέα της Ιατρικής Ηλεκτρονικής
Συσκευές όπως βηματοδότες και νευροδιεγέρτες έχουν εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις για χαμηλή κατανάλωση ενέργειας και βιοσυμβατότητα. Η χαμηλή κατανάλωση ενέργειας και η σταθερότητα των υποστρωμάτων SOI μπορούν να εξασφαλίσουν τη μακροπρόθεσμη ασφαλή λειτουργία των εμφυτεύσιμων συσκευών, ελαχιστοποιώντας ταυτόχρονα τις επιπτώσεις στο σώμα του ασθενούς.