Σχετικά με τα θερμαντικά στοιχεία ημιαγωγών

Η θερμική επεξεργασία είναι μια από τις βασικές και σημαντικές διαδικασίες στη διαδικασία των ημιαγωγών. Θερμική διαδικασία είναι η διαδικασία εφαρμογής θερμικής ενέργειας σε μια γκοφρέτα τοποθετώντας την σε περιβάλλον γεμάτο με ένα συγκεκριμένο αέριο, συμπεριλαμβανομένης της οξείδωσης/διάχυσης/ανόπτησης κ.λπ.

Ο εξοπλισμός θερμικής επεξεργασίας χρησιμοποιείται κυρίως σε τέσσερις τύπους διεργασιών οξείδωσης, διάχυσης, ανόπτησης και κράματος.

Οξείδωσητοποθετείται στη γκοφρέτα πυριτίου στην ατμόσφαιρα οξυγόνου ή υδρατμών και άλλων οξειδωτικών για θερμική επεξεργασία υψηλής θερμοκρασίας, η χημική αντίδραση στην επιφάνεια της γκοφρέτας για να σχηματιστεί μια διεργασία μεμβράνης οξειδίου, είναι μία από τις πιο ευρέως χρησιμοποιούμενες στη διαδικασία ολοκληρωμένου κυκλώματος της βασικής διαδικασίας. Η μεμβράνη οξείδωσης έχει ένα ευρύ φάσμα χρήσεων, μπορεί να χρησιμοποιηθεί ως στρώμα αποκλεισμού για έγχυση ιόντων και στρώμα διείσδυσης έγχυσης (στρώμα ρυθμιστή βλάβης), παθητικοποίηση επιφανειών, μονωτικά υλικά πύλης και στρώμα προστασίας συσκευής, στρώμα απομόνωσης, δομή συσκευής του διηλεκτρικού στρώματος και ούτω καθεξής.

Διάχυσηείναι σε συνθήκες υψηλής θερμοκρασίας, η χρήση της αρχής της θερμικής διάχυσης των στοιχείων ακαθαρσίας σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας ντοπάρεται στο υπόστρωμα πυριτίου, έτσι ώστε να έχει μια συγκεκριμένη κατανομή συγκέντρωσης, για να αλλάξει τα ηλεκτρικά χαρακτηριστικά του υλικού, ο σχηματισμός της δομής της συσκευής ημιαγωγών. Στη διαδικασία ολοκληρωμένου κυκλώματος πυριτίου, η διαδικασία διάχυσης χρησιμοποιείται για τη δημιουργία συνδέσεων PN ή για τη δημιουργία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων στην αντίσταση, την χωρητικότητα, την καλωδίωση διασύνδεσης, τις διόδους και τα τρανζίστορ και άλλες συσκευές.

Ξεπυρώνω, επίσης γνωστή ως θερμική ανόπτηση, διαδικασία ολοκληρωμένου κυκλώματος, όλα σε άζωτο και άλλη ανενεργή ατμόσφαιρα στη διαδικασία θερμικής επεξεργασίας μπορεί να ονομαστεί ανόπτηση, ο ρόλος του είναι κυρίως να εξαλείψει τα ελαττώματα του πλέγματος και να εξαλείψει τη ζημιά του πλέγματος στη δομή του πυριτίου.

Κράμαείναι μια θερμική επεξεργασία χαμηλής θερμοκρασίας που συνήθως απαιτείται για την τοποθέτηση πλακών πυριτίου σε ατμόσφαιρα αδρανούς αερίου ή αργού προκειμένου να σχηματιστεί μια καλή βάση για τα μέταλλα (Al και Cu) και το υπόστρωμα πυριτίου, καθώς και για τη σταθεροποίηση της κρυσταλλικής δομής της καλωδίωσης Cu και την αφαίρεση ακαθαρσιών, βελτιώνοντας έτσι την αξιοπιστία της καλωδίωσης.

Σύμφωνα με τη φόρμα εξοπλισμού, ο εξοπλισμός θερμικής επεξεργασίας μπορεί να χωριστεί σε κατακόρυφο φούρνο, οριζόντιο φούρνο και κλίβανο ταχείας θερμικής επεξεργασίας (Rapid Thermal Processing, RTP).

Κάθετος Κλίβανος:Το κύριο σύστημα ελέγχου του κάθετου κλιβάνου χωρίζεται σε πέντε μέρη: σωλήνας κλιβάνου, σύστημα μεταφοράς πλακιδίων, σύστημα διανομής αερίου, σύστημα εξάτμισης, σύστημα ελέγχου. Ο σωλήνας φούρνου είναι ο χώρος για τη θέρμανση πλακών πυριτίου, ο οποίος αποτελείται από κάθετες φυσούνες χαλαζία, καλώδια αντιστάσεων θέρμανσης πολλαπλών ζωνών και χιτώνια σωλήνων θέρμανσης. Η κύρια λειτουργία του συστήματος μεταφοράς πλακιδίων είναι να φορτώνει και να ξεφορτώνει πλακίδια στο σωλήνα του κλιβάνου. Η φόρτωση και η εκφόρτωση των γκοφρετών πραγματοποιείται με αυτόματα μηχανήματα, τα οποία κινούνται μεταξύ του τραπεζιού σχάρα γκοφρέτας, του τραπεζιού φούρνου, του τραπεζιού φόρτωσης γκοφρέτας και του τραπεζιού ψύξης. Το σύστημα διανομής αερίου μεταφέρει τη σωστή ροή αερίου στον σωλήνα του κλιβάνου και διατηρεί την ατμόσφαιρα μέσα στον κλίβανο. Το σύστημα αερίου ουράς βρίσκεται σε μια διαμπερή οπή στο ένα άκρο του σωλήνα του κλιβάνου και χρησιμοποιείται για την πλήρη αφαίρεση του αερίου και των παραπροϊόντων του. Το σύστημα ελέγχου (μικροελεγκτής) ελέγχει όλες τις λειτουργίες του κλιβάνου, συμπεριλαμβανομένου του χρόνου διεργασίας και του ελέγχου θερμοκρασίας, της ακολουθίας βημάτων διεργασίας, του τύπου αερίου, του ρυθμού ροής αερίου, του ρυθμού αύξησης και πτώσης θερμοκρασίας, φόρτωσης και εκφόρτωσης πλακιδίων κ.λπ. Κάθε μικροελεγκτής διασυνδέεται με έναν κεντρικό υπολογιστή. Σε σύγκριση με τους οριζόντιους φούρνους, οι κάθετοι φούρνοι μειώνουν το αποτύπωμα και επιτρέπουν καλύτερο έλεγχο της θερμοκρασίας και ομοιομορφία.

Οριζόντιος φούρνος:Ο σωλήνας χαλαζία του τοποθετείται οριζόντια για να τοποθετήσει και να θερμάνει τις γκοφρέτες πυριτίου. Το κύριο σύστημα ελέγχου του χωρίζεται σε 5 τμήματα όπως ο κάθετος φούρνος.

Φούρνος ταχείας θερμικής επεξεργασίας (RTP): Ο φούρνος ταχείας αύξησης θερμοκρασίας (RTP) είναι ένα μικρό σύστημα ταχείας θέρμανσης που χρησιμοποιεί λάμπες υπερύθρων αλογόνου ως πηγή θερμότητας για γρήγορη αύξηση της θερμοκρασίας του πλακιδίου στη θερμοκρασία επεξεργασίας, μειώνοντας τον χρόνο που απαιτείται για τη σταθεροποίηση της διαδικασίας και την γρήγορη ψύξη του πλακιδίου στο τέλος της διαδικασίας. Σε σύγκριση με τους παραδοσιακούς κατακόρυφους φούρνους, το RTP είναι πιο προηγμένο στον έλεγχο θερμοκρασίας, με τις κύριες διαφορές του να είναι τα στοιχεία γρήγορης θέρμανσης, οι ειδικές συσκευές φόρτωσης πλακιδίων, η εξαναγκασμένη ψύξη του αέρα και οι καλύτεροι ελεγκτές θερμοκρασίας. -Οι κλίβανοι επεξεργασίας (RTP) χρησιμοποιούν αρθρωτούς ελέγχους θερμοκρασίας που επιτρέπουν τον έλεγχο της ατομικής θέρμανσης και ψύξης των πλακών, αντί να ελέγχουν απλώς την ατμόσφαιρα μέσα στον κλίβανο. Επιπλέον, υπάρχει αντιστάθμιση μεταξύ υψηλών όγκων πλακιδίων (150-200 γκοφρέτες) και ρυθμών ράμπας, και το RTP είναι κατάλληλο για μικρότερες παρτίδες, επειδή οι γκοφρέτες αυξάνονται από 50 έως 10. και αυτό το μικρότερο μέγεθος παρτίδας βελτιώνει επίσης την τοπική ροή αέρα στη διαδικασία.

Η Semicorex ειδικεύεται σεΜέρη SiC με επιστρώσεις CVD SiCγια διεργασίες ημιαγωγών, όπως σωλήνας, κουπιά προβόλου, βάρκες γκοφρέτας, θήκη γκοφρέτας κ.λπ. Εάν έχετε οποιεσδήποτε ερωτήσεις ή χρειάζεστε περισσότερες πληροφορίες, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μας.

Τηλέφωνο επικοινωνίας #+86-13567891907

ΗΛΕΚΤΡΟΝΙΚΗ ΔΙΕΥΘΥΝΣΗ:sales@semicorex.com